光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置制造方法
【专利摘要】本发明涉及半导体匀胶显影设备，具体地说是一种光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置。包括光刻胶喷嘴拾取系统、光刻胶喷嘴装置及光刻胶喷嘴平台，其中光刻胶喷嘴平台上设有定位孔，所述光刻胶喷嘴装置安装在光刻胶喷嘴平台上、并通过光刻胶喷嘴平台上的定位孔定位，所述光刻胶喷嘴拾取系统的定位结构位于光刻胶喷嘴装置的上方，光刻胶喷嘴平台上用于定位光刻胶喷嘴装置的定位中心、光刻胶喷嘴拾取系统的定位中心和光刻胶喷嘴装置的喷胶中心在同一直线上，光刻胶喷嘴拾取系统通过打开或闭合定位结构对光刻胶喷嘴装置进行拾取和定位。本发明通过使光刻胶喷嘴装置的定位中心和光刻胶喷嘴喷涂中心重合来提高定位精度，减少结构件体积，提高成品率和生产效率。
【专利说明】光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体匀胶显影设备，具体地说是一种光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置。
【背景技术】
[0002]目前，半导体晶圆生产过程中，一个匀胶显影设备需要在一个匀胶单元中集成多种光刻胶的喷嘴系统，达到一机多用，降低成本的需要。但是一般的胶嘴更换由于胶种众多，光刻胶供应管路大小不同，就需要自动定位更换。传统的定位结构为定位结构件中心和胶嘴喷涂中心不像匹配，会造成喷涂中心与定位中心产生偏差，影响生产的产品质量和产能，有些时候还由于固定失误，造成影响工艺的结果。
【发明内容】
[0003]针对上述问题，本发明的目的在于提供一种光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置。该光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置通过使光刻胶喷嘴装置的定位中心和光刻胶喷嘴喷涂中心重合来提高定位精度，减少结构件体积，提高成品率和生产效率。
[0004]为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案:
[0005]一种光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置，包括光刻胶喷嘴拾取系统、光刻胶喷嘴装置及光刻胶喷嘴平台，其中光刻胶喷嘴平台上设有定位孔，所述光刻胶喷嘴装置安装在光刻胶喷嘴平台上、并通过光刻胶喷嘴平台上的定位孔定位，所述光刻胶喷嘴拾取系统的定位结构位于光刻胶喷嘴装置的上方，光刻胶喷嘴平台上用于定位光刻胶喷嘴装置的定位中心、光刻胶喷嘴拾取系统的定位中心和光刻胶喷嘴装置的喷胶中心在同一直线上，光刻胶喷嘴拾取系统通过打开或闭合定位结构对光刻胶喷嘴装置进行拾取和定位。
[0006]所述光刻胶喷嘴拾取系统包括气缸托架、气缸及定位爪，其中气缸设置在气缸托架上，所述定位爪与气缸连接、并通过气缸的驱动打开或关闭。所述定位爪包括两个对称的直角三角形，所述两个对称的直角三角闭合后形成正方形。
[0007]所述光刻胶喷嘴装置包括喷嘴和导向固定卡盘，其中导向固定卡盘设置在喷嘴的上方，所述光刻胶喷嘴拾取系统上的定位爪闭合进入导向固定卡盘中，定位爪打开与固定卡盘卡接。所述导向固定卡盘内设有台阶卡槽，所述定位爪卡接在该台阶卡槽内。所述导向固定卡盘设有正方形接口。
[0008]所述光刻胶喷嘴平台上设有多个光刻胶喷嘴装置。
[0009]本发明的优点及有益效果是:
[0010]1.本发明通过使光刻胶喷嘴装置的定位中心和光刻胶喷嘴喷涂中心重合来提高涂胶中心的定位精度。
[0011]2.本发明可以节省有限的单元空间，减少结构件体积，提高成品率和生产效率。
[0012]3.本发明可以实现固定牢固和拾取自如。【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1为本发明的结构示意图；
[0014]图2为本发明中光刻胶拾取系统的结构示意图；
[0015]图3为本发明中光刻胶喷嘴装置的结构示意图。
[0016]其中:1为气缸托架，2为气缸，3为定位爪，4为喷嘴，5为导向固定卡盘，6为喷嘴托架，10为光刻胶拾取系统，20为光刻胶喷嘴装置。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图对本发明作进一步描述。
[0018]如图1所示，本发明包括光刻胶喷嘴拾取系统10、光刻胶喷嘴装置20及光刻胶喷嘴平台，其中光刻胶喷嘴平台上设有定位孔，光刻胶喷嘴装置20安装在光刻胶喷嘴平台上、并通过光刻胶喷嘴平台上的定位孔定位。光刻胶喷嘴拾取系统10的定位结构位于光刻胶喷嘴装置20的上方，光刻胶喷嘴平台上用于定位光刻胶喷嘴装置20的定位中心、光刻胶喷嘴拾取系统10的定位中心和光刻胶喷嘴装置20的喷胶中心在同一直线上，光刻胶喷嘴拾取系统10通过打开或闭合定位结构对光刻胶喷嘴装置20进行拾取和定位。本实施例光刻胶喷嘴平台采用喷嘴托架6。
[0019]如图2所示，光刻胶喷嘴拾取系统10包括气缸托架1、气缸2及定位爪3，其中气缸2设置在气缸托架I上，定位爪3与气缸2的推杆连接、并通过气缸2的驱动打开或关闭。定位爪3包括两个对称的直角三角形，两个对称的直角三角闭合后形成正方形。
[0020]如图3所示，光刻胶喷嘴装置20包括喷嘴4和导向固定卡盘5，其中
[0021]导向固定卡盘5设置在喷嘴4的上方,导向固定卡盘5设有正方形接口、并
[0022]接口内设有台阶卡槽,导向固定卡盘5的正方形接口大于定位爪3闭合后形
[0023]成的正方形。
[0024]本发明的工作过程是:
[0025]光刻胶喷嘴拾取系统10上的定位爪3的两个直角三角形闭合进入导向
[0026]固定卡盘5的正方形接口内，通过定位爪3的两个直角三角形打开、并卡在
[0027]导向固定卡盘5的台阶卡槽内，利用定位爪直角边的定位功能实现光刻胶喷
[0028]嘴拾取系统10的拾取中心和导向固定卡盘5的定位中心相重合，而导向固
[0029]定卡盘5的定位中心和喷嘴4的中心在一条直线上，最终实现光刻胶喷嘴平
[0030]台上用于定位光刻胶喷嘴装置20的定位中心、光刻胶喷嘴拾取系统10的定
[0031]位中心和光刻胶喷嘴装置20的喷胶中心在同一直线上。气缸2带动定位爪
[0032]3打开卡住导向固定卡盘5之后，可以带动整个光刻胶喷嘴装置20按照生
[0033]产要求移动。放置光刻胶喷嘴装置20过程与之前相反。
[0034]本发明个工作原理是:
[0035]本发明是在需要更换不同喷嘴4的时候，光刻胶喷嘴装置20放在一个带有定位孔的光刻胶喷嘴平台上，喷嘴4通过定位孔来定位，作用是在放置光刻胶喷嘴装置20的时候起到辅助定位的作用。在放置光刻胶喷嘴装置20的同时，光刻胶喷嘴平台上的光刻胶喷嘴装置20的定位中心、光刻胶喷嘴拾取系统10的定位中心和喷嘴4的喷胶中心在同一直线上。光刻胶喷嘴拾取系统10通过开闭定位结构对光刻胶喷嘴装置20进行拾取和定位，保证了定位精度和强度，最终达到放置、定位和紧固的作用。根据需要光刻胶喷嘴平台上可设置多个光刻胶喷嘴装置20，以提高生产效率。
【权利要求】
1.一种光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置，其特征在于:包括光刻胶喷嘴拾取系统(10)、光刻胶喷嘴装置(20)及光刻胶喷嘴平台，其中光刻胶喷嘴平台上设有定位孔，所述光刻胶喷嘴装置(20)安装在光刻胶喷嘴平台上、并通过光刻胶喷嘴平台上的定位孔定位，所述光刻胶喷嘴拾取系统(10)的定位结构位于光刻胶喷嘴装置(20)的上方，光刻胶喷嘴平台上用于定位光刻胶喷嘴装置(20)的定位中心、光刻胶喷嘴拾取系统(10)的定位中心和光刻胶喷嘴装置(20)的喷胶中心在同一直线上，光刻胶喷嘴拾取系统(10)通过打开或闭合定位结构对光刻胶喷嘴装置(20)进行拾取和定位。
2.按权利要求1所述的光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置，其特征在于:所述光刻胶喷嘴拾取系统(10)包括气缸托架(I)、气缸(2)及定位爪(3)，其中气缸(2)设置在气缸托架(I)上，所述定位爪(3)与气缸(2)连接、并通过气缸(2)的驱动打开或关闭。
3.按权利要求2所述的光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置，其特征在于:所述定位爪(3)包括两个对称的直角三角形，所述两个对称的直角三角闭合后形成正方形。
4.按权利要求2所述的光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置，其特征在于:所述光刻胶喷嘴装置(20)包括喷嘴(4)和导向固定卡盘(5)，其中导向固定卡盘(5)设置在喷嘴(4)的上方，所述光刻胶喷嘴拾取系统(10)上的定位爪(3)闭合进入导向固定卡盘(5)中，定位爪(3)打开与固定卡盘(5)卡接。
5.按权利要求4所述的光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置，其特征在于:所述导向固定卡盘(5)内设有台阶卡槽,所述定位爪(3)卡接在该台阶卡槽内。
6.按权利要求4所述的光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置，其特征在于:所述导向固定卡盘(5)设有正方形接口。
7.按权利要求1-6任一项权利要求所述的光刻胶涂胶喷嘴定位拾取装置，其特征在于:所述光刻胶喷嘴平台上设有多个光刻胶喷嘴装置(20)。
【文档编号】B05C11/10GK103809380SQ201210439549
【公开日】2014年5月21日 申请日期:2012年11月6日 优先权日:2012年11月6日
【发明者】王阳 申请人:沈阳芯源微电子设备有限公司