技术编号:3782628
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的研磨用组合物含有表面具有多个突起的磨粒。研磨用组合物中的磨粒中,粒径比磨粒的体积基准平均粒径大的磨粒的表面具有的突起的高度分别除以同一突起的基部的宽度而得到的值的平均值为0.170以上。此外,粒径比磨粒的体积基准平均粒径大的磨粒的表面具有的突起的平均高度为3.5nm以上。研磨用组合物中所含的有机碱的量相对于研磨用组合物中的磨粒1kg为100mmol以下。专利说明[0001]本发明涉及含有表面具有多个突起的磨粒的研磨用组合物。本发明还涉及使用该研磨用...
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