铈铽共掺杂锆硼酸盐发光薄膜及其制备方法和电致发光器件的制作方法技术资料下载

技术编号:3785075

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本发明涉及一种铈铽共掺杂锆硼酸盐发光薄膜及其制备方法和电致发光器件,所述发光薄膜的化学通式为MZr4-x-yB10O24xEu3+,yTb3+;其中MZr4B10O24是基质,Eu、Tb是激活元素;x的取值范围为0.02~0.1,y的取值范围为0.01~0.04;M为Ca、Ba或Sr。本发明采用磁控溅射设备制备铈铽共掺杂锆硼酸盐发光薄膜,所述铈铽共掺杂锆硼酸盐发光薄膜在610nm和510nm位置有很强的发光峰,具有良好的发光性能。所述铈铽共掺杂锆硼酸盐发光...
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