基板处理装置及方法与流程技术资料下载

技术编号:37914131

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本公开涉及基板处理装置及方法,并且更具体地,涉及可以用于制造显示装置的基板处理装置及方法。背景技术、当制造诸如液晶显示(lcd)面板、发光二极管(led)面板或有机电致发光(el)组件的显示装置时,可以利用喷墨设备对透明基板执行印刷工艺。这种喷墨设备采用喷墨头向透明基板上喷出微细墨滴,从而能够对期望的位置进行图案化(例如,rgb图案化)。、喷墨头可以用于对诸如滤色器、有机led(oled)rgb和oled薄膜封装(tfe)的精密涂覆工艺。为此目的,喷墨头需要能够在每个期望的方向上精确地喷出墨...
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