技术编号:37932266
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于新材料制备及连接领域,涉及一种al-si/sic复合材料的制备及同步反应连接方法。背景技术、由半导体材料(如硅、氮化镓、碳化硅等)所制成的集成电路是如今广泛使用的现代电子设备的核心,而半导体产业对一个国家的经济增长和国防安全都具有极其重要的影响。碳化硅(sic)材料具有优异的物理化学性能(如高强度、高硬度、耐高温、优异的化学稳定性、高抗氧化性和耐磨性等),同时在加工过程中能有效避免杂质的引入,被广泛用作半导体加工陶瓷部件,在半导体加工部件中占据了较大的比重。目前半导体用sic部件难以...
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