技术编号:37932386
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及真空镀膜机,具体为一种防气泡的真空镀膜机。背景技术、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积,离子束溅射等很多种,其中蒸发镀膜一般是加热靶材使面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。、现有的可参考公告号为:cnu的中国实用新型专利,其公开了一种防气泡的真空镀膜机,本实用新型包括真空...
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