一种防气泡的真空镀膜机的制作方法

本技术涉及真空镀膜机，具体为一种防气泡的真空镀膜机。

背景技术：

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，其中蒸发镀膜一般是加热靶材使面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。

2、现有的可参考公告号为：cn218203011u的中国实用新型专利，其公开了一种防气泡的真空镀膜机，本实用新型包括真空室、镀膜蒸发装置和真空发生组件，所述真空室的顶部安装有外设机仓，所述注液口的两侧设置有提示灯，所述镀膜蒸发装置安装于外设机仓的内部中央，所述真空室的底部连接有底座支架，所述真空发生组件安装于真空室的内部底侧，所述真空室的内壁两侧设置有固定滑槽。该防气泡的真空镀膜机，利用外部除尘装置可以在手机放入真空室之前做预处理，之后配合除尘干燥器可以进一步清除水汽与潮湿气，避免镀膜不完全而出现气泡，而固定滑槽和放置夹板的使用在一方面可以同时处理多部手机，而另一方面也可以将防止夹板从真空室内拆下进行清洗或调整真空室内部空间结构用以处理其他不同体积的物品。

3、真空镀膜机达到对加工工件进行镀膜加工使用，将工件放置在真空镀膜机的内部镀膜过程中，由于真空镀膜机内部结构单一，导致工件在镀膜加工过程中出现晃动的情况，导致镀膜不准确，降低真空镀膜机的实用性，同时工件在加工过程中可能有杂物灰尘等物体飘落在工件上，导致引起镀膜过程中出现气泡的情况，导致降低真空镀膜机的使用效果。

技术实现思路

1、本实用新型提出一种防气泡的真空镀膜机，解决了相关技术中的真空镀膜机结构单一，工件放置在其中可能出现晃动，以及在加工过程中可能引起气泡的情况，降低真空镀膜机使用的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种防气泡的真空镀膜机，包括用于连接真空室整体结构的真空室顶板，真空室顶板的下方固定连接有用于安装配合的立柱杆，所述立柱杆的固定嵌合连接在用于安装连接的卡槽的内部，所述卡槽固定嵌入连接在底板的一侧，所述真空室顶板的上方固定安装有用于支撑的支撑架，所述真空室顶板的内表面上方一侧固定连接有用于镀膜液体蒸发的镀膜蒸发装置，所述底板的上方固定连接有用于工件放置加固的加工台，所述加工台的一侧活动连接有用于安装配合的安装架，所述安装架的一侧固定连接有限位杆，所述加工台的上方活动连接有用于增加辅助功能性使用的夹持垫。

4、在一种优选的实施方式中，所述立柱杆的一侧固定嵌合安装有凹槽，所述底板的上方固定连接有密封槽，所述密封槽的上方固定连接有连接板，所述真空室顶板的上方固定连接有密封套；所述密封套内部活动横穿于其中一个连接板结构配合打开和合并使用。

5、在一种优选的实施方式中，所述支撑架的一侧固定连接有驱动马达，所述驱动马达的一侧固定连接有转轴杆，所述转轴杆的一端固定连接有限位圈，所述限位圈的一侧活动连接有拉索杆；所述驱动马达的输出控制和转轴杆进行配合使用。

6、在一种优选的实施方式中，所述拉索杆固定连接在连接板的上方，所述连接板活动连接在密封套的内表面一侧；所述连接板承担连接真空室四个面连接密封配合使用。

7、在一种优选的实施方式中，所述镀膜蒸发装置的一侧固定连接有镀膜液发器，所述镀膜蒸发装置的另外一侧固定连接有加热器；所述加热器达到对镀膜液体进行一定加热配合蒸发使用。

8、在一种优选的实施方式中，所述镀膜蒸发装置的下方固定连接有雾化发生器，所述雾化发生器的下方固定连接有镀膜喷头；所述镀膜喷头将镀膜进行喷出在工件上。

9、在一种优选的实施方式中，所述限位杆的外表面固定连接有安装圈，所述安装圈的上方固定连接有滑道槽，所述滑道槽的上方固定连接有移动板，所述移动板的上方固定连接有控制器，所述控制器的一侧固定安装有推杆；所述推杆的一侧连接夹持垫结构配合使用。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、1、该新型防气泡的真空镀膜机，通过在真空室内部连接安装架，安装架连接在加工台的两侧配合使用，安装架一侧带动夹持垫，夹持垫便于对加工镀膜工件进行夹持固定辅助性能使用，避免了加工工件在镀膜工作过程中出现晃动的情况，增加了镀膜准确性，同时也增加了该防气泡的真空镀膜机整体结构性，便捷工件镀膜加工使用；

12、2、该新型防气泡的真空镀膜机，通过将真空室顶板和立柱杆固定连接，立柱杆插入连接在凹槽的内部，真空室顶板和连接板固定连接，连接板固定连接在密封槽的内部，达到增加真空室使用密封性，同时在真空室顶板上方设置有密封套，进一步增加真空室使用密封性，避免了杂物灰尘等结构进入到真空室的内部，便于工件镀膜加工使用，同时也避免了在镀膜过程中程序气泡的情况，便捷真空镀膜机的使用效果。

技术特征：

1.一种防气泡的真空镀膜机，包括真空室顶板(1)，真空室顶板(1)的下方固定连接有立柱杆(11)，所述立柱杆(11)的固定嵌合连接在卡槽(13)的内部，所述卡槽(13)固定嵌入连接在底板(14)的一侧，所述真空室顶板(1)的上方固定安装有支撑架(2)，所述真空室顶板(1)的内表面上方一侧固定连接有镀膜蒸发装置(3)，所述底板(14)的上方固定连接有加工台(4)，其特征在于，所述加工台(4)的一侧活动连接有安装架(41)，所述安装架(41)的一侧固定连接有限位杆(42)，所述加工台(4)的上方活动连接有夹持垫(48)。

2.根据权利要求1所述的一种防气泡的真空镀膜机，其特征在于：所述立柱杆(11)的一侧固定嵌合安装有凹槽(12)，所述底板(14)的上方固定连接有密封槽(15)，所述密封槽(15)的上方固定连接有连接板(16)，所述真空室顶板(1)的上方固定连接有密封套(17)。

3.根据权利要求1所述的一种防气泡的真空镀膜机，其特征在于：所述支撑架(2)的一侧固定连接有驱动马达(21)，所述驱动马达(21)的一侧固定连接有转轴杆(22)，所述转轴杆(22)的一端固定连接有限位圈(23)，所述限位圈(23)的一侧活动连接有拉索杆(24)。

4.根据权利要求3所述的一种防气泡的真空镀膜机，其特征在于：所述拉索杆(24)固定连接在连接板(16)的上方，所述连接板(16)活动连接在密封套(17)的内表面一侧。

5.根据权利要求1所述的一种防气泡的真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜蒸发装置(3)的一侧固定连接有镀膜液发器(31)，所述镀膜蒸发装置(3)的另外一侧固定连接有加热器(32)。

6.根据权利要求1所述的一种防气泡的真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜蒸发装置(3)的下方固定连接有雾化发生器(33)，所述雾化发生器(33)的下方固定连接有镀膜喷头(34)。

7.根据权利要求1所述的一种防气泡的真空镀膜机，其特征在于：所述限位杆(42)的外表面固定连接有安装圈(43)，所述安装圈(43)的上方固定连接有滑道槽(44)，所述滑道槽(44)的上方固定连接有移动板(45)，所述移动板(45)的上方固定连接有控制器(46)，所述控制器(46)的一侧固定安装有推杆(47)。

技术总结
本技术公开了一种防气泡的真空镀膜机，涉及真空镀膜机技术领域，包括：真空室顶板，真空室顶板的下方固定连接有立柱杆，所述立柱杆的固定嵌合连接在卡槽的内部，所述卡槽固定嵌入连接在底板的一侧，所述真空室顶板的上方固定安装有支撑架，所述真空室顶板的内表面上方一侧固定连接有镀膜蒸发装置，所述底板的上方固定连接有加工台，所述加工台的一侧活动连接有安装架，所述安装架的一侧固定连接有限位杆，所述加工台的上方活动连接有夹持垫。该新型防气泡的真空镀膜机，夹持垫便于对加工镀膜工件进行夹持固定辅助性能使用，避免了加工工件在镀膜工作过程中出现晃动的情况，增加了镀膜准确性，便捷工件镀膜加工使用。

技术研发人员：杨桂锋,王飞,段崇军,姚志云,吴俊杰
受保护的技术使用者：桓宇时代（江苏）纳米科技有限公司
技术研发日：20230911
技术公布日：2024/5/10