蒸发舟夹紧装置的制作方法

文档序号:37932304发布日期:2024-05-11 00:11阅读:7来源:国知局
蒸发舟夹紧装置的制作方法

本技术涉及蒸发舟夹紧,具体地涉及一种蒸发舟夹紧装置。


背景技术:

1、在真空蒸发镀膜设备中,通常采用夹紧装置将蒸发舟夹紧固定在两个电极之间,借助两个电极对蒸发舟施加电压和电流,使其由于电阻效应而产生高温并将待蒸镀材料熔融,以此进行蒸镀作业。

2、现有适用于蒸发舟的夹紧装置一般采用压簧提供夹紧力,借助压簧的弹性来适应蒸发舟在使用过程中由于热胀冷缩而产生的形变,确保夹紧装置对蒸发舟的可靠夹紧,避免蒸发舟的两端与两个电极之间出现接触不良,进而对蒸发效果造成不良影响的问题。

3、在生产实践中,根据镀膜工艺的不同需要对应采用不同长度尺寸的蒸发舟,例如蒸镀较长的薄膜时,需要选择长度较长的蒸发舟,而蒸镀较短的薄膜时,需要选择长度较短的蒸发舟。然而现有采用压簧的夹紧装置并不能充分适应上述蒸发舟长度的调整需要,例如为了生产需要,将长度较长的蒸发舟更换为长度较短的蒸发舟时,压簧相应伸展,进而导致夹紧力降低,甚至是无法提供有效的夹紧力以实现对蒸发舟的夹紧固定。又如将长度较短的蒸发舟更换为长度较长的蒸发舟时,压簧被迫压缩,虽然能够获得充足的夹紧力以实现对蒸发舟夹紧固定,但是蒸发舟在受热膨胀时推挤压簧的难度增大,即该夹紧装置适应蒸发舟形变的能力变差。由此可见,现有采用压簧的夹紧装置无法适用于不同长度尺寸的蒸发舟。


技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有采用压簧的夹紧装置无法适用于不同长度尺寸的蒸发舟的问题,提供一种蒸发舟夹紧装置,该蒸发舟夹紧装置能够适用于不同长度尺寸的蒸发舟,确保合适的夹紧力以适应蒸发舟在使用过程中由于热胀冷缩而产生的形变。

2、为了实现上述目的,本实用新型提供了一种蒸发舟夹紧装置,包括间隔布置在蒸发源机架上的第一电极和第二电极,所述第二电极远离所述第一电极的一端连接有弹性驱动组件,所述弹性驱动组件具有能够伸缩的弹性件,所述弹性件用于驱动所述第二电极靠近所述第一电极,以使得蒸发舟夹紧固定在所述第二电极和所述第一电极之间,所述弹性驱动组件设置为能够向靠近或远离所述第一电极的方向移动。

3、可选地,所述弹性驱动组件包括支撑杆和固定在所述支撑杆上的挡环,位于所述挡环一侧的所述支撑杆上套设有压簧,所述压簧的一端抵靠在所述挡环上,另一端抵靠在所述第二电极上,所述支撑杆设置为能够沿其杆长方向移动以使得所述挡环靠近或远离所述第一电极。

4、可选地,所述弹性驱动组件还包括支架,所述支撑杆与所述支架螺纹连接,以使得能够通过转动所述支撑杆并带动所述挡环靠近或远离所述第一电极。

5、可选地,所述支撑杆远离所述第二电极的一端设置有旋转把手以用于转动所述支撑杆。

6、可选地,所述弹性驱动组件与所述第二电极之间还设置有导向限位组件,所述导向限位组件包括设置在所述蒸发源机架上的支撑座,所述支撑座上设置有滑块,所述滑块的一侧连接所述弹性驱动组件,另一侧连接所述第二电极,所述支撑座设置为能够对所述滑块导向限位以使所述滑块带动所述第二电极朝向靠近或远离所述第一电极的方向移动。

7、可选地,所述支撑座上设置有导向槽,所述滑块设置在导向槽中并能够沿所述导向槽的长度方向靠近或远离所述第一电极。

8、可选地,所述导向槽为设置在所述支撑座上的开口槽,所述开口槽的开口朝上,所述开口槽的开口处设置有盖板以用于阻挡所述滑块向上移动。

9、可选地,所述导向槽为设置在所述支撑座上的燕尾槽,所述滑块的横截面为与所述燕尾槽相匹配的燕尾形。

10、可选地,所述支撑座上设置有滑轨,所述滑块设置在所述滑轨上并能够沿所述滑轨的长度方向靠近或远离所述第一电极。

11、可选地,所述滑块上设置有上下贯穿的安装槽孔。

12、在本实用新型提供的技术方案中,通过弹性驱动组件的弹性件来驱动第二电极靠近第一电极,使蒸发舟夹紧固定在第二电极与第一电极之间,在具体使用时,所述弹性件能够适应蒸发舟由于热胀冷缩而产生的形变,确保蒸发舟稳定可靠地夹紧固定在第二电极与第一电极之间;由于弹性驱动组件设置为能够向靠近或远离第一电极的方向移动,当需要根据镀膜工艺选择不同长度尺寸的蒸发舟时,通过调节弹性驱动组件靠近或远离第一电极以进行适配,以确保弹性件提供合适的夹紧力,进而适应蒸发舟在使用过程中由于热胀冷缩而产生的形变,确保夹紧装置的可靠性。



技术特征:

1.一种蒸发舟夹紧装置,其特征在于,包括间隔布置在蒸发源机架上的第一电极(10)和第二电极(30),所述第二电极(30)远离所述第一电极(10)的一端连接有弹性驱动组件(40),所述弹性驱动组件(40)具有能够伸缩的弹性件,所述弹性件用于驱动所述第二电极(30)靠近所述第一电极(10),以使得蒸发舟(1)夹紧固定在所述第二电极(30)和所述第一电极(10)之间,所述弹性驱动组件(40)设置为能够向靠近或远离所述第一电极(10)的方向移动。

2.根据权利要求1所述的蒸发舟夹紧装置,其特征在于,所述弹性驱动组件(40)包括支撑杆(42)和固定在所述支撑杆(42)上的挡环(43),位于所述挡环(43)一侧的所述支撑杆(42)上套设有压簧(44),所述压簧(44)的一端抵靠在所述挡环(43)上,另一端抵靠在所述第二电极(30)上,所述支撑杆(42)设置为能够沿其杆长方向移动以使得所述挡环(43)靠近或远离所述第一电极(10)。

3.根据权利要求2所述的蒸发舟夹紧装置,其特征在于,所述弹性驱动组件(40)还包括支架(41),所述支撑杆(42)与所述支架(41)螺纹连接,以使得能够通过转动所述支撑杆(42)并带动所述挡环(43)靠近或远离所述第一电极(10)。

4.根据权利要求2所述的蒸发舟夹紧装置,其特征在于,所述支撑杆(42)远离所述第二电极(30)的一端设置有旋转把手(45)以用于转动所述支撑杆(42)。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的蒸发舟夹紧装置,其特征在于,所述弹性驱动组件(40)与所述第二电极(30)之间还设置有导向限位组件,所述导向限位组件包括设置在所述蒸发源机架上的支撑座(20),所述支撑座(20)上设置有滑块(50),所述滑块(50)的一侧连接所述弹性驱动组件(40),另一侧连接所述第二电极(30),所述支撑座(20)设置为能够对所述滑块(50)导向限位以使所述滑块(50)带动所述第二电极(30)朝向靠近或远离所述第一电极(10)的方向移动。

6.根据权利要求5所述的蒸发舟夹紧装置,其特征在于,所述支撑座(20)上设置有导向槽(21),所述滑块(50)设置在导向槽(21)中并能够沿所述导向槽(21)的长度方向靠近或远离所述第一电极(10)。

7.根据权利要求6所述的蒸发舟夹紧装置,其特征在于,所述导向槽(21)为设置在所述支撑座(20)上的开口槽,所述开口槽的开口朝上,所述开口槽的开口处设置有盖板(22)以用于阻挡所述滑块(50)向上移动。

8.根据权利要求6所述的蒸发舟夹紧装置,其特征在于,所述导向槽(21)为设置在所述支撑座(20)上的燕尾槽,所述滑块(50)的横截面为与所述燕尾槽相匹配的燕尾形。

9.根据权利要求5所述的蒸发舟夹紧装置,其特征在于,所述支撑座(20)上设置有滑轨(23),所述滑块(50)设置在所述滑轨(23)上并能够沿所述滑轨(23)的长度方向靠近或远离所述第一电极(10)。

10.根据权利要求5所述的蒸发舟夹紧装置,其特征在于,所述滑块(50)上设置有上下贯穿的安装槽孔(51)。


技术总结
本技术涉及蒸发舟夹紧技术领域,公开了一种蒸发舟夹紧装置,包括间隔布置在蒸发源机架上的第一电极和第二电极,第二电极远离第一电极的一端连接有弹性驱动组件,弹性驱动组件具有能够伸缩的弹性件,弹性件用于驱动第二电极靠近第一电极,以使得蒸发舟夹紧固定在第二电极和第一电极之间,弹性驱动组件设置为能够向靠近或远离第一电极的方向移动;根据本技术提供的蒸发舟夹紧装置,当需要根据镀膜工艺选择不同长度尺寸的蒸发舟时,通过调节弹性驱动组件靠近或远离第一电极以进行适配,以确保弹性件提供合适的夹紧力,进而适应蒸发舟在使用过程中由于热胀冷缩而产生的形变,确保夹紧装置的可靠性。

技术研发人员:李永强,王超,汪振南,段英俊,刘代瑞
受保护的技术使用者:安迈特科技(北京)有限公司
技术研发日:20230911
技术公布日:2024/5/10
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