技术编号:37932805
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及半导体,特别是涉及一种半导体芯片的清洁装置。背景技术、在对晶圆进行电性测试时,通常需要将晶圆放置于晶圆测试机的测试台上。由于测试时需要的精确度较高,晶圆背面上存在的细小异物都会影响到晶圆平坦度,进而影响晶圆电性测试的结果,严重时甚至会引起晶圆损坏。因此,在进行电性测试时,需要实时保持晶圆背部的洁净度。目前在对晶圆背面的异物进行清洁时,存在无法对异物精确定位的问题,导致清洁效果不理想。因此,存在待改进之处。技术实现思路、鉴于以上所述现有技术的缺点,本实用新型的目的在于提供一种半导体芯...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。