技术编号:37933996
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术涉及一种半导体设备的通用控制盒,属于工业控制领域,具体而言,涉及一种匹配器监控装置。背景技术、射频电源(rf generator)是用来产生射频电功率的电源。它的输出一般是正弦波或脉冲,频率有mhz、.mhz、.mhz、mhz等规格,输出功率从几十瓦到几十千瓦,输出阻抗一般是欧。它可以用于等离子体发生、感应加热、医疗等多种领域。在半导体行业匹配器的使用非常广泛,匹配器与射频电源搭配使用,用来匹配功率以及消除反射功率。当匹配器发生故障时,需要进行维修,而维修过程是...
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