一种匹配器监控装置的制作方法

本技术涉及一种半导体设备的通用控制盒，属于工业控制领域，具体而言，涉及一种匹配器监控装置。

背景技术：

1、射频电源(rf generator)是用来产生射频电功率的电源。它的输出一般是正弦波或脉冲，频率有2mhz、13.56mhz、27.12mhz、60mhz等规格，输出功率从几十瓦到几十千瓦，输出阻抗一般是50欧。它可以用于等离子体发生、感应加热、医疗等多种领域。在半导体行业匹配器的使用非常广泛，匹配器与射频电源搭配使用，用来匹配功率以及消除反射功率。当匹配器发生故障时，需要进行维修，而维修过程是将匹配器搬运至专门的车间进行的，在该车间中没有方便使用的对匹配器实现功能控制、数据监测的设备，即如何实现对匹配器功能控制，数据监测是困扰半导体行业设备工程师的一个难题。

技术实现思路

1、本申请提供了一种匹配器监控装置，能够方便快捷的实现匹配器多功能控制以及采样实时数据，以此来判断出被测试匹配器的各功能是否正常。

2、本申请提供了一种匹配器监控装置，包括：壳体和底座，所述壳体固定于底座上，所述壳体上设置有第一拨动开关、第二拨动开关、第三拨动开关、第四拨动开关、显示屏、9针端口；所述壳体内设置有电路板，所述电路板包括单片机，所述单片机与9针端口、显示屏连接，所述单片机通过9针端口与被测试的匹配器连接，所述第一拨动开关与单片机的23号引脚pa0-wkup连接；所述第二拨动开关与单片机的25号引脚pa2连接；所述第三拨动开关与单片机的29号引脚pa4连接；所述第四拨动开关与电路板的主供电电路连接。

3、其中，所述显示屏的1号引脚接地，2号引脚分别与二极管d8的阴极、电容c34的一极连接，电容c34的另一极接地，二极管d8的阳极分别与5v电源、电容c33的一极连接，电容c33的另一极接地；3号引脚oled_sck与单片机的52号引脚pb13连接，4号引脚oled_mosi与单片机的54号引脚pb15连接,5号引脚oled_res与单片机的53号引脚pb14连接，6号引脚oled_d/c与单片机的48号引脚pb11连接，7号引脚oled_cs与单片机的51号引脚pb12连接，8号引脚iic2_scl与单片机的47号引脚pb10连接。

4、其中，单片机的70号引脚pa11与芯片u18的4号引脚io3连接，单片机的71号引脚pa12与芯片u18的6号引脚io4连接，芯片u18的5号引脚vbus连接5v电源，芯片u18的3号引脚与usb1的d-端口连接，2号引脚接地，1号引脚与usb1的d+端口连接。

5、其中，芯片u18为usblc6-2p6。

6、其中，单片机为stm32f103vct6。

7、其中，所述匹配器监控装置还包括供电接口。

8、其中，9针rs232通信端口电路包括芯片max232cwe。

9、其中，主供电电路将21v转为5v。

10、其中，还包括辅助供电电路，该电路将5v转为3.3v。

11、其中，单片机还与接地稳压电路连接。

12、本申请匹配器监控装置具有如下有益效果：

13、本申请能够方便快捷的实现匹配器多功能控制以及采样实时数据，以此来判断出被测试匹配器的各功能是否正常。

技术特征：

1.一种匹配器监控装置，其特征在于，包括：壳体和底座，所述壳体固定于底座上，所述壳体上设置有第一拨动开关、第二拨动开关、第三拨动开关、第四拨动开关、显示屏、9针端口；所述壳体内设置有电路板，所述电路板包括单片机，所述单片机与9针端口、显示屏连接，所述单片机通过9针端口与被测试的匹配器连接，所述第一拨动开关与单片机的23号引脚pa0-wkup连接；所述第二拨动开关与单片机的25号引脚pa2连接；所述第三拨动开关与单片机的29号引脚pa4连接；所述第四拨动开关与电路板的主供电电路连接。

2.根据权利要求1所述匹配器监控装置，其特征在于，所述显示屏的1号引脚接地，2号引脚分别与二极管d8的阴极、电容c34的一极连接，电容c34的另一极接地，二极管d8的阳极分别与5v电源、电容c33的一极连接，电容c33的另一极接地；3号引脚oled_sck与单片机的52号引脚pb13连接，4号引脚oled_mosi与单片机的54号引脚pb15连接,5号引脚oled_res与单片机的53号引脚pb14连接，6号引脚oled_d/c与单片机的48号引脚pb11连接，7号引脚oled_cs与单片机的51号引脚pb12连接，8号引脚iic2_scl与单片机的47号引脚pb10连接。

3.根据权利要求1或2所述匹配器监控装置，其特征在于，单片机的70号引脚pa11与芯片u18的4号引脚io3连接，单片机的71号引脚pa12与芯片u18的6号引脚io4连接，芯片u18的5号引脚vbus连接5v电源，芯片u18的3号引脚与usb1的d-端口连接，2号引脚接地，1号引脚与usb1的d+端口连接。

4.根据权利要求3所述匹配器监控装置，其特征在于，芯片u18为usblc6-2p6。

5.根据权利要求1或2所述匹配器监控装置，其特征在于，单片机为stm32f103vct6。

6.根据权利要求1或2所述匹配器监控装置，其特征在于，所述匹配器监控装置还包括供电接口。

7.根据权利要求1或2所述匹配器监控装置，其特征在于，9针rs232通信端口电路包括芯片max232cwe。

8.根据权利要求1或2所述匹配器监控装置，其特征在于，主供电电路将21v转为5v。

9.根据权利要求1或2所述匹配器监控装置，其特征在于，还包括辅助供电电路，该电路将5v转为3.3v。

10.根据权利要求1或2所述匹配器监控装置，其特征在于，单片机还与接地稳压电路连接。

技术总结
本技术提供了一种匹配器监控装置，包括：壳体和底座，所述壳体固定于底座上，所述壳体上设置有第一拨动开关、第二拨动开关、第三拨动开关、第四拨动开关、显示屏、9针端口；所述壳体内设置有电路板，所述电路板包括单片机，所述单片机与9针端口、显示屏连接，所述单片机通过9针端口与被测试的匹配器连接，所述第一拨动开关与单片机的23号引脚PA0‑WKUP连接；所述第二拨动开关与单片机的25号引脚PA2连接；所述第三拨动开关与单片机的29号引脚PA4连接；所述第四拨动开关与电路板的主供电电路连接。本技术能够方便快捷的实现匹配器多功能控制以及采样实时数据，以此来判断出被测试匹配器的各功能是否正常。

技术研发人员：张利娜,王子杰
受保护的技术使用者：江苏志文半导体科技有限公司
技术研发日：20231027
技术公布日：2024/5/10