技术编号：3793963
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种金属用研磨液，其用于对具有金属的基板的至少上述金属的一部分进行研磨，该金属用研磨液含有A成分，包含氨基酸的金属溶解剂；B成分，具有苯并三唑骨架的化合物；和C成分，重均分子量为10,000以上的丙烯酸聚合物，且上述B成分与上述C成分的质量比(B成分∶C成分)为1∶1～1∶5。由此，以更高水平兼顾高研磨速度和低蚀刻速度，从而能够形成可靠性更高的埋设图案。专利说明 [0001] 本发明涉及用于化学机械研磨的金属用研磨液的组成及研磨方法。 背...
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