技术编号:37940545
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本技术属于玻璃强化,具体为一种光刻玻璃浸液强化处理装置。背景技术、玻璃可作为光刻系统的专用基片,在玻璃加工的过程中,可通过化学强化法来加强玻璃的抗拉和抗压强度,从而提高玻璃在后续使用的强度。、目前化学强化法需要将玻璃置于温度为-℃的玻璃强化液中,恒温浸泡-h,浸泡完成后还需水中浸泡-h,然后用去离子清洗、烘干,获得强化玻璃。、申请人发现浸液和水中浸泡的时间近似相同,目前现在的强化处理装置在浸液后需要利用移载设备移动到下一工序设备(清洗)内进行清洗,中间移载的时间...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。