一种光刻玻璃浸液强化处理装置的制作方法

本技术属于玻璃强化，具体为一种光刻玻璃浸液强化处理装置。

背景技术：

1、玻璃可作为光刻系统的专用基片，在玻璃加工的过程中，可通过化学强化法来加强玻璃的抗拉和抗压强度，从而提高玻璃在后续使用的强度。

2、目前化学强化法需要将玻璃置于温度为410-430℃的玻璃强化液中，恒温浸泡10-14h，浸泡完成后还需水中浸泡10-14h，然后用去离子清洗、烘干，获得强化玻璃。

3、申请人发现浸液和水中浸泡的时间近似相同，目前现在的强化处理装置在浸液后需要利用移载设备移动到下一工序设备(清洗)内进行清洗，中间移载的时间会影响到整体的工作效率；其次，由于浸泡和清洗时间很长，如何利用这一段时间，来提高整体的工作效率，是目前需要解决的问题。

4、鉴于此，提出了一种光刻玻璃浸液强化处理装置。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于：为了解决上述提出的问题，提供一种光刻玻璃浸液强化处理装置。

2、本实用新型采用的技术方案如下：一种光刻玻璃浸液强化处理装置，包括：

3、强化箱，其两端分别设有浸液室和清洗室；

4、转动组件，其设与所述强化箱的上端中部，所述转动组件包括电动旋转座以及设与所述电动旋转座的旋转部的转杆，所述转杆的上方对称设有连接杆，两个所述连接杆的相离一端分别设有放置组件；

5、所述放置组件包括气缸、上盖板以及可拆安装在上盖板下方的放置篮。

6、在一优选的实施方式中，所述放置篮的侧壁和底壁均匀开设有多个透液孔。

7、在一优选的实施方式中，所述放置篮的上端面周向分布有多个定位块，所述定位块的中心贯穿开设有安装孔；

8、所述上盖板的两端下侧设有竖板，所述竖板的相对面两侧设有安装板，所述安装板的上端凸出成型有满足插入所述安装孔的定位柱。

9、在一优选的实施方式中，所述上盖板与浸液室和清洗室的形状相同，所述上盖板的尺寸大于所述浸液室和清洗室的尺寸。

10、在一优选的实施方式中，所述气缸设在所述连接杆上，所述气缸的伸缩端与所述上盖板上端相连。

11、在一优选的实施方式中，所述浸液室与所述强化箱之间的夹层设有加热盘管。

12、在一优选的实施方式中，所述浸液室和清洗室的底部一侧均设有带有阀门的排废口。

13、综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：将浸液部分和清洗部分集为一体，并在浸液部分和清洗部分的中部设计了旋转移载部分，在浸液的过程中，可以同时对已经强化后的玻璃进行清洗操作，减少整体强化设备的成本和占地面积的同时能够有效的提高工作效率。

技术特征：

1.一种光刻玻璃浸液强化处理装置，包括：

2.如权利要求1所述的一种光刻玻璃浸液强化处理装置，其特征在于：所述放置篮的侧壁和底壁均匀开设有多个透液孔。

3.如权利要求1所述的一种光刻玻璃浸液强化处理装置，其特征在于：所述放置篮的上端面周向分布有多个定位块，所述定位块的中心贯穿开设有安装孔；

4.如权利要求1所述的一种光刻玻璃浸液强化处理装置，其特征在于：所述上盖板与浸液室和清洗室的形状相同，所述上盖板的尺寸大于所述浸液室和清洗室的尺寸。

5.如权利要求1所述的一种光刻玻璃浸液强化处理装置，其特征在于：所述气缸设在所述连接杆上，所述气缸的伸缩端与所述上盖板上端相连。

6.如权利要求1所述的一种光刻玻璃浸液强化处理装置，其特征在于：所述浸液室与所述强化箱之间的夹层设有加热盘管。

7.如权利要求1所述的一种光刻玻璃浸液强化处理装置，其特征在于：所述浸液室和清洗室的底部一侧均设有带有阀门的排废口。

技术总结
本技术公开了一种光刻玻璃浸液强化处理装置，包括：强化箱，其两端分别设有浸液室和清洗室。本装置在使用时，首先在浸液室上方的放置篮上装有需要强化的玻璃，在装入后，利用气缸带动放置篮下落到装入加强液的浸液室内，进行浸液强化操作，在强化完毕后，此时气缸带动放置篮上升，多余的强化液顺着透液孔流出，此时电动旋转座带动强化后的放置篮旋转到清洗室上，并利用气缸带动放置篮下落到清洗室内进行泡水清洗操作，在清洗的过程中，另一侧的放置篮会重新移动到浸液室上方，此时便可重新更换新的放置篮进行浸液操作，能够将浸液和清洗集成在一起，减少整体强化设备的成本和占地面积的同时能够有效的提高工作效率。

技术研发人员：赵瑞昆,高小良
受保护的技术使用者：徐州良萌半导体科技有限公司
技术研发日：20231007
技术公布日：2024/5/10