技术编号：3794348
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种磨粒的制造方法，具备混合含4价金属元素盐的金属盐溶液和碱性液、获得含有所述4价金属元素的氢氧化物的粒子的工序，和加热含有所述4价金属元素的氢氧化物的粒子的工序。专利说明磨粒、悬淳液、研磨液及这些的制造方法 [0001] 本发明涉及。特别地，本发明涉及半导体 元件的制造工序中所使用的磨粒、悬浮液及研磨液，以及这些的制造方法。 背景技术 [0002] 近年来，半导体元件的制造工序中，为实现高密度化及微细化的加工技术的重要 性进一步增加。作为该加工...
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