技术编号:37944253
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于晶片加工,具体是指一种用于石英晶片的腐蚀机构。背景技术、石英晶片由石英晶体沿一定方向切割再经过磨削、切片、抛光等机械加工工序后得到石英晶片,然而在石英晶片加工后表面上会有损伤层,即加工变质层,为了去除加工变质层,常常对石英晶片采用浸蚀方式,通过将石英晶片放置在浸蚀液体中进行处理。、但现有技术中,常利用搅拌装置对浸蚀液进行搅拌,以促进浸蚀液浓度和温度分布的均匀性,但是很容易引起晶片的磕碰损伤。技术实现思路、本发明要解决的技术问题是现有技术中,常利用搅拌装置对浸蚀液进行搅拌,以促进浸...
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