一种用于石英晶片的腐蚀机构的制作方法

本发明属于晶片加工，具体是指一种用于石英晶片的腐蚀机构。

背景技术：

1、石英晶片由石英晶体沿一定方向切割再经过磨削、切片、抛光等机械加工工序后得到石英晶片，然而在石英晶片加工后表面上会有损伤层，即加工变质层，为了去除加工变质层，常常对石英晶片采用浸蚀方式，通过将石英晶片放置在浸蚀液体中进行处理。

2、但现有技术中，常利用搅拌装置对浸蚀液进行搅拌，以促进浸蚀液浓度和温度分布的均匀性，但是很容易引起晶片的磕碰损伤。

技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题是现有技术中，常利用搅拌装置对浸蚀液进行搅拌，以促进浸蚀液浓度和温度分布的均匀性，但是很容易引起晶片的磕碰损伤。

2、为了实现上述功能，本发明采取的技术方案如下：一种用于石英晶片的腐蚀机构，包括箱体，所述箱体上设有腐蚀池和清洗池，还包括在箱体上设置的升降转换机构和连接搅拌机构；所述升降转换机构包括齿轮一和电机一，所述齿轮一转动设于箱体的顶壁上，所述齿轮一上设有立杆，所述立杆上设有升降组件，所述电机一嵌设于箱体的顶壁上，所述电机一的输出端设有齿轮二，所述齿轮二与齿轮一啮合；所述连接搅拌机构包括支板和支撑轴，所述支板设于升降组件上，所述支板上设有搅拌组件，所述支撑轴固定设于支板的底壁上，所述支撑轴的底端设有网箱。

3、进一步地，所述升降组件包括调节槽和电机二，所述调节槽设于立杆的侧壁上，所述电机二设于立杆的顶壁上，所述电机二的输出端设有丝杆，所述丝杆在调节槽内转动设置，所述支板与丝杆之间螺纹连接。

4、进一步地，所述搅拌组件包括套管和电机三，所述套管转动设于支撑轴上，所述套管上设有齿圈和搅拌杆，所述电机三设于支板上，所述电机三的输出端设有齿轮三，所述齿轮三与齿圈啮合。

5、进一步地，所述箱体上还设有翻滚曝气机构，所述翻滚曝气机构包括曝气盘和气泵，所述曝气盘设于腐蚀池的底壁上，所述气泵设于箱体的侧壁上，所述气泵上设有气管，所述气管贯穿腐蚀池的侧壁且与曝气盘相连。

6、作为优选地，所述搅拌杆呈l型设置。

7、作为优选地，所述立杆设于腐蚀池与清洗池之间。

8、本发明采取上述结构取得有益效果如下：本发明提供的一种用于石英晶片的腐蚀机构，通过设置齿轮三和齿圈，能够对套管进行驱动，方便带动搅拌杆对网箱周围的液体进行搅拌，以促进浸蚀液浓度和温度分布的均匀性，配合丝杆，便于对支板进行升降，能够对网箱和搅拌杆进行提升，通过设置齿轮一和齿轮二，利用电机一进行驱动，能够对立杆的角度进行调整，便于将网箱转移到清洗池内，操作方便，配合搅拌杆提高对石英晶片的清洗效果；通过设置气泵和曝气盘，能够对腐蚀池内的液体进行曝气，使得腐蚀池内的液体翻滚，配合搅拌杆，进一步提高浸蚀液浓度和温度分布的均匀性，提高石英晶片的腐蚀质量。

技术特征：

1.一种用于石英晶片的腐蚀机构，包括箱体，所述箱体上设有腐蚀池和清洗池，其特征在于：还包括在箱体上设置的升降转换机构和连接搅拌机构；所述升降转换机构包括齿轮一和电机一，所述齿轮一转动设于箱体的顶壁上，所述齿轮一上设有立杆，所述立杆上设有升降组件，所述电机一嵌设于箱体的顶壁上，所述电机一的输出端设有齿轮二，所述齿轮二与齿轮一啮合；所述连接搅拌机构包括支板和支撑轴，所述支板设于升降组件上，所述支板上设有搅拌组件，所述支撑轴固定设于支板的底壁上，所述支撑轴的底端设有网箱。

2.根据权利要求1所述的一种用于石英晶片的腐蚀机构，其特征在于：所述升降组件包括调节槽和电机二，所述调节槽设于立杆的侧壁上，所述电机二设于立杆的顶壁上，所述电机二的输出端设有丝杆，所述丝杆在调节槽内转动设置，所述支板与丝杆之间螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于石英晶片的腐蚀机构，其特征在于：所述搅拌组件包括套管和电机三，所述套管转动设于支撑轴上，所述套管上设有齿圈和搅拌杆，所述电机三设于支板上，所述电机三的输出端设有齿轮三，所述齿轮三与齿圈啮合。

4.根据权利要求3所述的一种用于石英晶片的腐蚀机构，其特征在于：所述箱体上还设有翻滚曝气机构，所述翻滚曝气机构包括曝气盘和气泵，所述曝气盘设于腐蚀池的底壁上，所述气泵设于箱体的侧壁上，所述气泵上设有气管，所述气管贯穿腐蚀池的侧壁且与曝气盘相连。

5.根据权利要求4所述的一种用于石英晶片的腐蚀机构，其特征在于：所述搅拌杆呈l型设置。

6.根据权利要求5所述的一种用于石英晶片的腐蚀机构，其特征在于：所述立杆设于腐蚀池与清洗池之间。

技术总结
本发明公开了一种用于石英晶片的腐蚀机构，包括箱体，所述箱体上设有腐蚀池和清洗池，还包括在箱体上设置的升降转换机构和连接搅拌机构；所述升降转换机构包括齿轮一和电机一，所述齿轮一转动设于箱体的顶壁上，所述齿轮一上设有立杆，所述立杆上设有升降组件，所述电机一嵌设于箱体的顶壁上，所述电机一的输出端设有齿轮二，所述齿轮二与齿轮一啮合；所述连接搅拌机构包括支板和支撑轴，所述支板设于升降组件上，所述支板上设有搅拌组件，所述支撑轴固定设于支板的底壁上，所述支撑轴的底端设有网箱。本发明属于晶片加工技术领域，具体是指一种用于石英晶片的腐蚀机构。

技术研发人员：唐友华,杨小燕,周甜
受保护的技术使用者：珠海东锦石英科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/5/10