技术编号：3799314
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种抗氧化的抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质山梨醇5-10份，聚丙烯2-8份，水杨酸钠2-6份，醋酸钠20-35份，多聚甲醛4-6份，硫酸镁1-3份，硫酸铜3-8份，硫酸1份，氯化钠5-10份，玻璃质1-9份，焦磷酸钠2-7份，氯化铝1-3份，硼酸钠2-4份，片层结构的云母粉2-3份，空心玻璃微珠1-2份。本发明的化学机械抛光液可抑制低介电材料的抛光速率，而对铜和二氧化硅的去除速率影响不大，同时可减少被抛光材料的表面污染物。专利说明一...
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