技术编号：3800857
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种细缝式涂布装置，且特别涉及一种挤压式的细缝式涂布装置。背景技术 液晶显示器制造技术的不断进步，尤其大尺寸液晶显示器制造技术的进步，使得真空管显示器在许多应用领域被液晶显示器取代。液晶显示器的相关产品也成为近年来的流行产品。在液晶显示器的制作过程中，光刻工艺(lithography)是一系列重要工艺之一。光刻工艺通过涂布光刻胶、显影、曝光等步骤，图案化液晶显示器中的膜层。在第四代面板上，一般采用旋涂方式(Spin coating)涂布光刻胶。从...
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