专利名称：一种细缝式涂布装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种细缝式涂布装置，且特别涉及一种挤压式的细缝式涂布装置。
背景技术：
液晶显示器制造技术的不断进步，尤其大尺寸液晶显示器制造技术的进步，使得真空管显示器在许多应用领域被液晶显示器取代。液晶显示器的相关产品也成为近年来的流行产品。
在液晶显示器的制作过程中，光刻工艺(lithography)是一系列重要工艺之一。光刻工艺通过涂布光刻胶、显影、曝光等步骤，图案化液晶显示器中的膜层。在第四代面板上，一般采用旋涂方式(Spin coating)涂布光刻胶。从第五代面板开始，由于面板的尺寸过大，一般采用细缝式涂布法。光刻胶层厚度的均匀与否关系着后续工艺的合格比例。在大尺寸面板上控制光电胶层的厚度和均匀程度，考验着液晶显示器制造商的技术能力。
在现有的细缝式涂布方法中，当涂布材料被挤压出喷嘴时，常有膨胀现象，引起成膜厚度不容易控制的问题。此外，为了容易成膜，喷嘴常会非常接近需要涂布的基板，而使得喷嘴被基板上的异物或凸起刮伤。如图1所示为现有技术中的细缝式涂布方法涂布时的情形。喷嘴104在涂布的基板102上涂布光刻胶100。喷嘴104的一侧常会发生光刻胶膨胀现象。为了解决这个问题，液晶显示器制造商积极创新涂布方法，改进细缝式涂布方法的不足。
发明内容
因此本发明的目的是提供一种细缝式涂布装置，用以控制涂布材料的厚度。
根据本发明目的，提供一种改进的细缝式涂布装置。本装置包含基座、细缝式涂布喷嘴及膜片。细缝式涂布喷嘴位于基座上方。膜片固定在细缝式涂布喷嘴上。膜片由细缝式涂布喷嘴向外延伸，且膜片宽度涵盖细缝式涂布喷嘴的吐出范围。细缝式涂布喷嘴与基座通过相对运动，并挤压涂布材料于基材上时，膜片可增加涂膜时的稳定性。
根据本发明的较佳实施例，膜片固定的位置在细缝式涂布喷嘴开口的内侧或外侧。膜片固定的方式包括接着剂黏接、螺丝锁附或固定柱夹击。还可对膜片表面进行纳米处理使膜片不易沾附涂布材料。
由上述内容可知，使用本发明一种细缝式涂布装置，可使涂布材料被挤压出喷嘴时顺着膜片，涂布在基材上，改善了膨胀现象，进而可增加涂膜时的稳定性。在喷嘴开口增加膜片的设置，可以加大细缝式涂布喷嘴与涂布材料间距的可调整范围，解决喷嘴被基板上的异物或凸起刮伤的问题。
图1现有技术的细缝式涂布方法涂布时示意图；图2A为根据本发明一较佳实施例的一种细缝式涂布装置的侧视图；图2B为根据本发明一较佳实施例的一种细缝式涂布装置的立体图；图3A及3B分别为根据本发明一较佳实施例的一种细缝式涂布装置的膜片的两种固定位置；图4为根据本发明一较佳实施例的一种细缝式涂布装置的经过纳米表面处理后的膜片；图5A、5B及5C分别为根据本发明一较佳实施例的一种细缝式涂布装置的膜片的三种固定方式。
图号说明涂布材料100 基材102 细缝式涂布喷嘴104基座110 涂布材料200 基材202细缝式涂布喷嘴204 细缝开口204a 膜片206奈米涂层206a 接着剂208a 螺丝208b固定柱208c基座210
具体实施例方式
为了解决细缝式涂布法，涂布材料被挤压出喷嘴时的膨胀现象，本发明提供一种细缝式涂布装置。此涂布装置在细缝式涂布喷嘴上设置膜片，使膜片由细缝式涂布喷嘴向外延伸，且膜片的宽度涵盖细缝式涂布喷嘴的吐出范围。涂布材料被挤压出喷嘴时会顺着膜片涂布在基材上，因而改善了涂布材料的膨胀现象，增加涂膜时的稳定性。
如图2A所示为根据本发明一较佳实施例的一种细缝式涂布装置的侧视图。本较佳实施例在一细缝式涂布装置的喷嘴204上设置一膜片206。此膜片由细缝开口204a向外延伸。当执行细缝式涂布时，喷嘴204与基座210相对运动，加上此膜片206可增加涂布材料200的膜厚形成时的稳定性，避免了膨胀情形发生，使涂布材料200在成形初期即可达到控制，并改善均匀度。请参照图2A，膜片206的宽度D需涵盖细缝式涂布喷嘴204的吐出范围，才能达到上述的效果。膜片206的厚度、软硬度、延伸长度及材质可随喷嘴、基板及涂布材料的特性而有不同的设计。
此外，膜片206还可加大细缝式涂布喷嘴204与涂布材料200的间距的调整范围。现有的细缝式涂布装置，通常为了避免喷嘴被基板上的异物或凸起刮伤，而不敢将其间距缩小。然而，有时为了容易成膜，需要将间距尽量缩小，而造成喷嘴被基板上的异物或突起刮伤的问题。本实施例上述的解决方法，可将膜片206设计成可拆换式，所以不怕异物损伤。膜片206可以尽可能的接近涂布材料200，增进涂布稳定性，且可减少细缝式涂布喷嘴204损伤的可能性。
如图3A，图3B分别为本发明一较佳实施例的一种细缝式涂布装置之膜片的两种固定位置。在图3A中，膜片206被固定在细缝开口204a内，并向外延伸。在图3B中，膜片206被固定在细缝开口204a外，并向外延伸。
如图4所示为根据本发明一较佳实施例的一种细缝式涂布装置的经纳米表面处理后的膜片。膜片206经过纳米表面处理后形成一纳米涂层206a，使膜片不易沾附涂布材料。
如图5A、图5B及图5C分别表示本发明一较佳实施例的一种细缝式涂布装置的膜片的三种固定方式。在图5A中，在细缝式涂布喷嘴204的细缝开口204a开口外，涂上接着剂208a固定膜片206。在图5B中，在细缝式涂布喷嘴204的细缝开口204a开口外，通过螺丝208b藉以锁附固定膜片206。在图5C中，在细缝式涂布喷嘴204的细缝开口204a开口内，通过固定柱208c夹击固定膜片206。
由上述的本发明较佳实施例可知，使用上述较佳实施例的一种细缝式涂布装置，可使涂布材料被挤压出喷嘴时顺着膜片涂布在基材上，改善涂布材料的膨胀现象，进而增加涂膜时的稳定性。在喷嘴开口增加上膜片的设置，还可加大细缝式涂布喷嘴与涂布材料的间距的可调整范围，改善喷嘴被基板上的异物或凸起刮伤的问题。
虽然本发明已通过较佳实施例说明了本发明的实施过程，然实施例并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，根据本发明实施的各种变化均包括在本发明权利要求书所保护的范围中。
权利要求
1.一种细缝式涂布装置，其特征是所述的细缝式涂布装置至少包含一基座，承载一基材；一细缝式涂布喷嘴，位于基座上方；以及一膜片，固定在所述的细缝式涂布喷嘴上，所述的膜片由所述的细缝式涂布喷嘴向外延伸，且所述的膜片的宽度涵盖所述的细缝式涂布喷嘴的吐出范围，当所述的细缝式涂布喷嘴与所述的基座通过相对运动以挤压涂布材料于所述的基材上时，所述的膜片增加了涂膜时的稳定性。
2.如权利要求1所述的一种细缝式涂布装置，其特征是所述的膜片固定在所述的细缝式涂布喷嘴的内侧。
3.如权利要求1所述的一种细缝式涂布装置，其特征是所述的膜片固定在所述的细缝式涂布喷嘴的外侧。
4.如权利要求1所述的一种细缝式涂布装置，其特征是所述的膜片与所述的细缝式涂布喷嘴为一体成型。
5.如权利要求1所述的一种细缝式涂布装置，其特征是所述的膜片通过接着剂固定在所述的细缝式涂布喷嘴上。
6.如权利要求1所述的细缝式涂布装置，其特征是所述的膜片通过螺丝固定在所述的细缝式涂布喷嘴上。
7.如权利要求1所述的细缝式涂布装置，其特征是所述的膜片通过固定柱夹击固定在所述的细缝式涂布喷嘴上。
8.如权利要求1所述的细缝式涂布装置，其特征是所述的膜片通过固定柱夹击固定在所述的细缝式涂布喷嘴内侧。
9.如权利要求1所述的细缝式涂布装置，其特征是所述的膜片表面为一纳米涂层，使所述的膜片不易沾附涂布材料。
10.如权利要求1所述的细缝式涂布装置，其特征是所述的膜片为一种非金属材料。
全文摘要
一种改进的细缝式涂布装置包含基座、细缝式涂布喷嘴及膜片。细缝式涂布喷嘴位于基座上方。膜片固定在细缝式涂布喷嘴上。膜片由细缝式涂布喷嘴向外延伸，且膜片宽度涵盖细缝式涂布喷嘴的吐出范围。当细缝式涂布喷嘴与基座通过相对运动，并挤压涂布材料于基材上时，膜片增加涂膜的稳定性。
文档编号B05C11/00GK1824392SQ20051000748
公开日2006年8月30日 申请日期2005年2月22日 优先权日2005年2月22日
发明者刘昱庭, 柯山文, 谢秉原, 陈重廷, 顾鸿寿 申请人:展茂光电股份有限公司