技术编号:3801307
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及对用于半导体及FPD(Flat Panel Display平板面板显示器)制造装置、印刷电路基板制造装置、生物关连装置(DNA(脱氧核糖核酸)微阵列制作、DNA芯片)、化学反应试验装置等的各种基板(以下简称为“基板”)供给处理液、实施规定的处理的处理装置。背景技术 以前使用喷墨技术,直接向基板上喷出处理液进行图形形成等规定处理的喷墨方式的处理装置为众所周知。如专利文献1中记载的处理装置是把抗蚀剂液作为处理液而供给基板形成保护膜的装置。该装置通过使...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。