技术编号:3803776
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在真空室内移动的或可移动的基底上涂覆分离剂层的方 法和装置,其中分离剂将在配备有至少 一个对准基底的喷嘴的蒸发器室的 内室中被蒸发或者可被蒸发。背景技术移动的或可移动的基底通常是带状基底,它将在涂覆设备的真空室中 被涂上金属涂层。在进行涂覆时,基底将经过金属涂覆装置,此时基底通 过辊从开巻滚筒退巻,巻到巻绕滚筒上。分离剂一般可能涉及酯、乙二醇、氟化碳氢化合物和碳氢化合物。优 选全氟聚醚油。基底在被称为空白区的区域内通过涂覆分离剂而具有屏蔽 层,从...
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