专利名称：在基底上涂覆分离剂层的方法和装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及在真空室内移动的或可移动的基底上涂覆分离剂层的方 法和装置，其中分离剂将在配备有至少 一个对准基底的喷嘴的蒸发器室的 内室中被蒸发或者可被蒸发。
背景技术：
移动的或可移动的基底通常是带状基底，它将在涂覆设备的真空室中 被涂上金属涂层。在进行涂覆时，基底将经过金属涂覆装置，此时基底通 过辊从开巻滚筒退巻，巻到巻绕滚筒上。
分离剂一般可能涉及酯、乙二醇、氟化碳氢化合物和碳氢化合物。优 选全氟聚醚油。基底在被称为空白区的区域内通过涂覆分离剂而具有屏蔽 层，从而在该区域不会涂上金属。
同 一分离剂可以通过输送管路被送入用于分离剂的蒸发器室的内部。 蒸发器室配备有对准基底的喷嘴或喷嘴板，通过喷嘴或喷嘴板，蒸发器室 与真全室相连。
为了产生空白区，分离剂在蒸发器室的内室中在低真空度下被蒸发， 并且在大多数情况下，分离剂就在涂覆基底之前借助喷嘴从蒸气状态开始 被涂覆到位于真空室内的基底上。
人们对将分离剂涂覆至基底提出 一 个重要要求，即如此调整分离剂. 量，只是精确地蒸发能产生最佳屏蔽的油量，并且只有当需要涂覆分离剂 时，分离剂才会被蒸发。
例如从欧洲专利申请公开号EP1035553A1中公开了 ，为了油的蒸发而 采用一个或多个可加热的块体，该块体被加热到高于油的沸点的温度。大 块的金属意味着，当基底速度变化时，无法做到或者无法足够迅速地做到 通过改变待蒸发分离剂的温度来追踪控制油量。
为了在基底涂覆的开始和结束阶段内防止不必要的分离剂进入并污 染真空室，众所周知地釆用了阀门，可以借助阀门来阻挡分离剂蒸气被送往喷嘴板。不过由于一般必须设有均压孔，所以分离剂蒸气可以在其它地 点进入真空室并且污染真空室。
在当前的分离剂蒸发器中，大量的分离剂在液槽中被加热，只有小部 分的分离剂在设备的涂覆过程中被蒸发，未蒸发的部分将会继续使用，直 至难挥发成分和分解产物无法继续使用并且必须清理蒸发器。在此不利的 是，在分离剂的使用期限内，分离剂性能因难挥发成分以及分解产物的淤 积而緩慢且不可控制地改变。另外，出现了必须排除的分离剂残液，这导 致浪费并且可能危害环境。
发明内容
因此，本发明的任务是提供将分离剂层涂覆到在真空室内移动的或可 移动的基底上的装置和方法，借此来改进现有技术。
为此，本发明提供一种将分离剂层涂覆到在真空室内移动或可移动的 基底上的方法，其中该分离剂在配备有至少 一个对准该基底的喷嘴的蒸发 器室的内室中被蒸发，其特征在于，用于蒸发的液态分离剂被喷入该蒸发 器室的内室中。
本方法规定，用于蒸发的液态分离剂被喷入蒸发器室的内室中。与现 有技术不同，在本发明的方法中，分离剂不是借助金属块和/或从液槽等中 被蒸发出来的，而是在将预定量的分离剂喷入蒸发器室的内室期间或者就 在上述喷入后被蒸发的。金属块的热惰性问题原则上得到解决。此外，由 于省掉了分离剂液槽，所以解决了由緩慢蒸馏导致的分离剂性能改变的问 题。此外，由于分离剂不会因抛弃残液而浪费掉，所以节约了成本。
根据本发明的一个优选实施例，被喷入的分离剂的量对应于在基底的 预定速度下的、在基底上的分离剂预定层厚，从而避免了不必要的分离剂 蒸发，而且尽量减少或至少减少分离剂蒸发进入真空室。这种喷入也允许 无延迟或缩短延迟地开始和/或结束分离剂的涂覆或基底屏蔽层的涂覆，这 是因为只有少量分离剂被送入蒸发器室的内室，这样少的分离剂将相当迅 速地蒸发。无延迟或缩短延迟的开始和/或结束形成屏蔽层防止了输送件例 如辊带走分离剂，由此防止了薄膜质量的随后降低。按照本发明的、将用 于蒸发的分离剂喷入内室的做法还能更好地或者说甚至无延迟地在移动 的或可移动的基底的速度发生变化时调整分离剂的涂覆量，借此获得稳定 的产品质量。
根据本发明的另一个实施例，分离剂通过输送管路从储槽中被送出。 特别优选的是，该储槽处于大气压，这是因为借此通过非常简单的方式就 能实现储槽的填充，无需特殊的填充装置。
送至蒸发器室的输送有利地在高于大气压的压力下进行，这是为了借 助压差来加速蒸发分离剂从蒸发器室内室中通过喷嘴或多个喷嘴被输送 至基底的过程。
分离剂量的可控输送最好借助泵来完成，尤其优选通过容积型泵。
根据本发明的又一个实施例，进行分离剂的闪蒸，在这里，分离剂就 在被喷入蒸发器室的内室后完全蒸发。尤其在蒸发过程中，在蒸发器室中 没有液态分离剂或者只有很少的液态分离剂。
为了保证快速彻底地蒸发喷入的分离剂，蒸发器室室壁的至少 一部分 被保持在明显高于真空下的分离剂沸点的温度。优选稳定的上述室壁温 度，这是为了能简单地控制分离剂的蒸发。
还有利的是，接触液态分离剂或气态分离剂的其它部分被加热到高于分离剂沸点的温度，如100。C。优选也将喷嘴加热到这样的温度。
如此筒化在喷入时的送入内室的分离剂的快速彻底蒸发，即分离剂被 喷向蒸发室内室中的被加热的蒸发器表面。特别优选以下措施，蒸发器表 面将与室壁无关地被加热，这是因为蒸发器表面的热惰性小于室壁的热惰 性，进而能获得更快速的温度变化。蒸发的油量将通过喷入的油量来调整。 有利的是，蒸发器板被独立加热，这是因为整个炉子被加热到升高温度如200 C会导致变形和安全问题。
就像在本发明的另一个实施例中那样，如果喷入借助超压阀进行，则 在输送管路中可以相对大气压保持一个(例如)低的超压，它防止了在输 送管路中的分离剂气体析出。超压阀最好是可加热的或者将被加热。此夕卜， 超压阀必须具有最低l巴的背压，为了使油在室一旦被抽真空时不会经过 泵被压入室中。
在本发明的另 一个实施例中，喷嘴的内室侧开口借助迷宫式挡板相对 分离剂被喷入的区域被遮挡，这是为了将均匀的蒸气送入喷嘴并使飞賊物 不会賊到薄膜上。
在根据本发明的、将分离剂层涂覆到在真空室内移动的或可移动的基 底上的装置中，真空室具有至少一个金属蒸发器，上述装置具有蒸发器室， 蒸发器室配备有至少 一个对准基底的喷嘴，分离剂能通过输送管路被送入
蒸发器室的内室，其特征是，输送管路与喷入装置相连，用于蒸发的液态 分离剂借助喷入装置可被喷入或者被喷入蒸发器室内室。
与如权利要求书所给出的组合方式无关地，本发明的其它特征、实施
例和优点将从以下结合附图的实施例说明中得到，其中
图1以非常示意的方式表示根据本发明的、将分离剂层涂覆到在真空 室内移动或可移动的基底上的装置。
具体实施例方式
图1所示的蒸发器室11具有内室12,该内室包括相应的但在图中未 用附图标记表示的室壁并且配备有喷嘴60，该喷嘴对准一条移动的带状基 底80。喷嘴60具有内室侧开口，通过该内室内侧开口，蒸发的或者说蒸 气状分离剂将被喷向基底80区域。基底80将通过设置在一台未准确示出 的、配备有金属蒸发器的涂覆设备的真空室内的辊70来运送，在这里， 辊70的转动方向用箭头表示。最好进行铝的涂覆，但这不是唯一的。
在蒸发器室11的内室12中设有蒸发器板15，该蒸发器板可以通过一 个例如4昔助电压源90净皮加热的加热器100 ^皮加热。另外，内室12的室壁 可以被加热。就位置而言，喷嘴60最好布置在蒸发器板15的上方。
蒸发器室11通过输送管路20与分离剂储槽IO相连，分离剂可以涉 及酯、乙二醇、氟化碳氢化合物和碳氢化合物。优选全氟聚醚油。储槽10 中的分离剂可以处于大气压。为了将分离剂送入蒸发器室11，输送管路 20中设有泵30。为了精确计量送入蒸发器室11的分离剂量，泵30可以 按照容积型泵的方式构成。在输送管路20与蒸发器室11内室12相连的 连接区内，设有喷入装置40。喷入装置40优选呈超压阀形式。将分离剂 送入蒸发器室11的输送优选在'高于大气压的压力下完成，以便借此防止 在输送管路20中的分离剂气体析出。就位置来说，超压阀40布置在蒸发 器板15的上方，喷嘴60的下方。
在本发明的装置工作时，喷入装置40将蒸发用液态分离剂喷入蒸发 器室的内室。优选对准蒸发器板15进行喷入，或者至少朝向蒸发器板15 进行喷入。
在蒸发器室11中，保持相当低的例如15毫巴的真空度，而在真空室
中一般存在例如10 — 3毫巴的较高的真空度。蒸发器室11的内室12的室壁 的至少一部分被保持在这样一个温度，即该温度高于在那里的真空度下的 分离剂的沐点。最好蒸发器的所有部分的温度都比沸点高，否则的话，分 离剂在蒸发器中会再冷凝析出。同样，蒸发器板15被保持在一个高于所 述真空度下的分离剂沸点的温度。
为了提高由喷嘴60输送的分离剂的均匀一致性，就位置而言，在发 生液态分离剂蒸发的内室12区域的上方设有迷宫式挡板50，用于遮挡喷 嘴60的内室侧开口。
在本发明装置的工作过程中，容积型泵30将从储槽10中泵送出定量 的分离剂到蒸发器室11中，所述分离剂通过阀40被喷入内室12。内室 12的典型容积介于0.5升至5升。所喷入的分离剂的典型体积流量为0.2 毫升/分钟至5毫升/分钟。
所喷入的分离剂很快速地且尽量彻底地蒸发。优选进行闪蒸，在闪蒸 中，所喷入的分离剂立即完全蒸发。随后，分离剂以气态被送往喷嘴60, 以便将屏蔽层涂覆到基底80区域。
权利要求
1.一种将分离剂层涂覆到在真空室内移动或可移动的基底上的方法，其中该分离剂在配备有至少一个对准该基底的喷嘴的蒸发器室的内室中被蒸发，其特征在于，用于蒸发的液态分离剂被喷入该蒸发器室的内室中。
2. 根据权利要求1所述的方法，其特征在于，被喷入的分离剂的量对应于在该基底的预定速度下的、在该基底上的分离剂预定层厚。
3. 根据权利要求l或2所述的方法，其特征在于，该分离剂通过输送 管路从优选处于大气压的储槽中被送出。
4. 根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，送至该蒸 发器室的输送在高于大气压的压力下进行。
5. 根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其特征在于，进行分离 剂闪蒸。
6. 根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其特征在于，该分离剂 的喷入在该基底开始移动时开始和/或在该基底移动结束时结束。
7. 根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其特征在于，被喷入的 分离剂量根据该基底的速度而变。
8. 根据权利要求1至7中任一项所述的方法，其特征在于，输送借助 优选为容积型的泵进行。
9. 根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其特征在于，喷入借助 优选可被加热的超压阀进行。
10. 根据权利要求1至9中任一项所述的方法，其特征在于，在该蒸 发器室的工作阶段中，该内室被抽真空。
11. 根据权利要求1至10中任一项所述的方法，其特征在于，该内室 的室壁和/或该喷嘴被加热到高于该分离剂的沸点的温度。
12. 根据权利要求1至11中任一项所述的方法，其特征在于，在该蒸 发器室的工作阶段中，在该内室和该真空室之间保持压差不变。
13. 根据权利要求1至12中任一项所述的方法，其特征在于，该分离 剂#皮喷向该内室中的、优选与该内室的室壁无关地净皮加热的表面上。
14. 根据权利要求1至13中任一项所述的方法，其特征在于，该喷嘴 的内室侧开口借助迷宫式挡板相对分离剂被喷入的区域被遮挡。
15. —种将分离剂层涂覆到在真空室内移动或可移动的基底上的装 置，其中该真空室具有至少一个金属蒸发器，该装置具有蒸发器室，该蒸 发器室配备有至少 一个对准该基底的喷嘴，其中分离剂能通过输送管路被 送入该蒸发器室的内室，其特征在于，该输送管路与喷入装置相连，用于 蒸发的液态分离剂借助该喷入装置可被喷入或者被喷入该蒸发器室的内 室。
16. 根据权利要求15所述的装置，其特征在于，该喷入装置优选包括 可被加热的超压阀。
17. 根据权利要求15或16所述的装置，其特征在于，该输送管路与 优选为容积型的泵相连。
18. 根据权利要求15、 16或17所述的装置，其特征在于，在该蒸发 器室的内室中设有优选与室壁无关地可被加热的蒸发器表面。
19. 根据权利要求15至18中任一项所述的装置，其特征在于，该超 压阀设置在该蒸发器表面的上方。
20. 根据权利要求15至19中任一项所述的装置，其特征在于，该喷 嘴具有布置在该超压阀的上方的内室侧开口 。
21. 根据权利要求20所述的装置，其特征在于，在该蒸发器室的内室 中，在该超压阀的上方且在该喷嘴的内室侧开口的下方设有迷宫式挡板。
22. 根据权利要求15至21中任一项所述的装置，其特征在于，该输 送管路与分离剂储槽相连。
全文摘要
在一种将分离剂层涂覆到在真空室内移动或可移动的基底上的方法中，分离剂在配备有至少一个对准该基底的喷嘴的蒸发器室的内室中被蒸发，本方法规定，用于蒸发的液态分离剂被喷入该蒸发器室的内室中。在一种将分离剂层涂覆到在真空室内移动或可移动的基底上的装置中，真空室具有至少一个金属蒸发器，该装置具有蒸发器室，该蒸发器室配备有至少一个对准基底的喷嘴，其中分离剂能通过输送管路被送入该蒸发器室的内室。在这里，输送管路与喷入装置相连，用于蒸发的液态分离剂借助喷入装置可被喷入或者被喷入蒸发器室内室。
文档编号B05B15/04GK101337220SQ20071016430
公开日2009年1月7日 申请日期2007年10月19日 优先权日2007年7月5日
发明者S·库珀 申请人:莱博德光学有限责任公司