热剥离性粘合片及粘附体回收方法技术资料下载

技术编号:3805723

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本发明涉及热剥离性粘合片及使用该粘合片的粘附体回收 方法,更详细地讲,涉及通过加热处理快速且容易地剥离回收 粘附体的方法。还涉及利用该剥离回收方法高效率地剥离回收 半导体零件及电子零件的方法。背景技术近年来,随着半导体零件、电子零件的小型化、薄型化, 不仅这些零件的处理变得很难,而且提高生产率也成为很大的 问题。特别是,高效率且无破坏地将临时固定于粘合片上的小 型且易碎的零件剥离回收的方法是很大的问题。对于小型、薄 型化了的零件的处理,利用能自然剥离的热剥...
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