喷嘴保管装置以及涂敷装置的制作方法技术资料下载

技术编号:3806871

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本发明涉及一种喷嘴保管装置以及涂敷装置,特别涉及一种用于在喷出 液体的喷嘴不喷出液体时保管该喷嘴的喷嘴保管装置以及使用该喷嘴保管装 置的涂敷装置。背景技术一直以来,在对基板等进行涂敷液体的涂敷装置等中,使用对喷出液体的喷嘴进行清洗的技术。例如,在专利文献l (特开2005 — 3433号公报)中 公开了一种喷嘴清洗装置,该喷嘴清洗装置通过向作为清洗对象的喷嘴供给 清洗液的清洗溶液供给装置,对该喷嘴进行清洗。在该喷嘴清洗装置中,清 洗溶液供给装置设置在喷嘴侧...
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