喷嘴保管装置以及涂敷装置的制作方法

专利名称：喷嘴保管装置以及涂敷装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种喷嘴保管装置以及涂敷装置，特别涉及一种用于在喷出 液体的喷嘴不喷出液体时保管该喷嘴的喷嘴保管装置以及使用该喷嘴保管装 置的涂敷装置。
背景技术：
一直以来，在对基板等进行涂敷液体的涂敷装置等中，使用对喷出液体
的喷嘴进行清洗的技术。例如，在专利文献l (特开2005 — 3433号公报)中 公开了一种喷嘴清洗装置，该喷嘴清洗装置通过向作为清洗对象的喷嘴供给 清洗液的清洗溶液供给装置，对该喷嘴进行清洗。在该喷嘴清洗装置中，清 洗溶液供给装置设置在喷嘴侧方附近的位置上并形成清洗液液滴，从侧方向 喷嘴供给清洗液液滴。所供给的清洗液液滴由设置在喷嘴附近的吸引装置所 吸引并被回收。
考虑到涂敷装置不运行时对喷嘴进行保管的情况。在对喷嘴进行保管的 情况下，为了防止干燥后的涂敷液堵塞喷嘴孔等，需要将喷嘴前端部分浸泡 在液体中，使得该前端部分不会被干燥。上述专利文献1的清洗装置也能应 用于保管喷嘴的情况，通过该清洗装置，能够防止喷嘴干燥。然而，在上述 专利文献l的清洗装置中，在保管时需要始终供给液体(清洗液)，从而存 在浪费大量的保管用的液体的问题。

发明内容
本发明的目的是提供一种能够有效地使用保管用液体并对喷嘴进行保管 的喷嘴保管装置和涂敷装置。
为了解决上述问题，本发明采用下述结构。也就是本发明的第一方面是 一种用于对从喷出口向下方喷出喷出液的喷嘴进行保管的喷嘴保管装置，该 喷嘴保管装置包括突起部件、供给配管、储存机构、清洗液供给装置。突起 部件配置在设有供给口的上面与喷嘴的喷出口对置的位置上。供给配管将供
给清洗液的供给源和供给口之间进行连通。储存机构连接在供给配管上且在 比突起部件的上面更靠上方的位置上能够存储清洗液。清洗液供给装置从供 给源供给清洗液，使得上述喷嘴保管装置处于如下状态在上述突起部件的 上面上盛满清洗液且在上述储存机构中存储着清洗液的状态。
本发明第二方面的喷嘴保管装置也可以包括通过储存机构从供给配管吸 引清洗液的清洗液吸引装置。
本发明第三方面的喷嘴保管装置也可以包括对存储在储存机构内的清洗 液的液量进行检测的检测装置。此时，清洗液供给装置根据该检测装置所检 测到的液量，从供给源供给清洗液。
本发明第四方面的喷嘴保管装置也可以包括使喷嘴和突起部件中的至少 一个移动，使得喷嘴的下面和突起部件的上面以规定的间隔对置的移动装置。 此时，在对喷嘴进行清洗时，清洗液供给装置向供给口供给清洗液，使得清 洗液在突起部件的上面上涌出。移动装置设定规定的间隔，使得在对喷嘴进 行清洗时，在突起部件的上面上涌出的清洗液仅与喷嘴的下面接触。
本发明第五方面的喷嘴保管装置中，突起部件的上面的直径也可以比喷 嘴下面的直径小。
本发明第六方面的喷嘴保管装置也可以包括从供给口吸引清洗液的清洗 液吸引装置。
本发明第七方面的喷嘴保管装置中，突起部件也可以在上面的周围具有 朝向外周变低的倾斜面。
本发明第八方面的喷嘴保管装置中，喷出液也可以为有机EL
(Electro-Luminescence:电致发光)材料或空穴输送材料，清洗液包含与喷 出液所包含的溶剂相同的溶剂。
本发明提供一种涂敷装置，具有上述第一方面 第八方面的喷嘴保管装 置，通过从喷嘴向基板喷出涂敷液，对基板进行涂敷。
根据本发明第一方面，在保管喷嘴时，在突起部件的上面上处于盛满清 洗液的状态。由此，能够在喷嘴的喷出口与清洗液接触状态下对喷嘴进行保 管，同时由于无需始终供给清洗液，因此能够高效地使用清洗液。此外，根 据本发明第一方面，即使盛满状态的清洗液蒸发，通过将清洗液存储在比突 起部件的上面更靠上方的储存机构，也能够维持盛满状态的清洗液的量。也 就是能够长期维持清洗液盛满在突起部件的上面上的状态，能够更长期地保 管喷嘴。
根据本发明第二方面，通过清洗液吸引装置能够从喷嘴上去除在保管时 付着在喷嘴上的清洗液。此外，由于清洗液吸引装置通过储存机构从供给口 吸引清洗液，因此，无需另设用于进行吸引的吸引口或用于进行吸引的配管， 因而能够简化涂敷装置的结构。
根据本发明第三方面，通过检测装置检测存储在储存机构内的清洗液的 液量，从而能够检测出盛满在突起部件上面上的清洗液的消失(或减少)。 因此，根据检测装置所检测到的液量，供给清洗液，即使盛满在突起部件上 面上的清洗液蒸发，也能够继续保管喷嘴。
根据本发明第四方面，以涌出在突起部件上面上的清洗液仅与喷嘴下面 接触的方式对喷嘴进行清洗。由此，在吸引动作中，由于只需去除付着在喷 嘴下面上的清洗液，因此，与清洗液付着在喷嘴侧面上的情况相比，能够更 容易去除清洗液，从而通过清洗，能够可靠地去除付着在喷嘴上的清洗液。
根据本发明第五方面，由于上面的直径设定得比喷嘴下面的直径小，因 此，即使该上面和该下面的间隔小，从供给口涌出的清洗液也不付着在喷嘴 的侧面上，从而，能够更可靠地防止清洗液付着在喷嘴的侧面上。
另外，在第五方面中，在喷嘴清洗装置还具有第六方面的清洗液吸引装 置的情况下，供给口和喷嘴之间的距离越近，清洗液的吸引动作的效果就越 大。在此情况下，根据第五方面，为了能够充分进行吸引，使供给口和喷嘴 之间的之间充分接近，因此，能够更加可靠地进行通过清洗液吸引装置的清 洗液的去除。
根据本发明第六方面，由清洗液吸引装置，能够去除清洗时付着在喷嘴 上的清洗液。此外，由于清洗液吸引装置从供给口吸引清洗液，无需另设用 于进行吸引的吸引口。从而能够简化涂敷装置的结构。
根据本发明第七方面，由于突起部件为具有倾斜面的形状，因此，突起 部件减少了上面的直径，同时突起部件作为整体能够确保粗细程度，从而能 够确保突起部件的强度。
根据本发明第八方面，喷嘴保管装置能够保管用于涂敷有机EL材料或 空穴输送材料的喷嘴。
在本发明以涂敷装置的方式被提供的情况下，能够将喷嘴保管装置应用 于通过从喷嘴向基板喷出涂敷液来对该基板进行涂敷的涂敷装置中，能够有 效地使用清洗液对该涂敷装置的喷嘴进行保管。
通过参照附图而进行的下面的详细说明，本发明的这些和其它目的、特征、
方面、效果，将变得更加清楚。


图1A和图1B是表示涂敷装置10的结构的俯视图和主视图； 图2是表示涂敷装置10的各个部分和控制部的连接关系的视图； 图3是表示保管部3的结构的立体图； 图4是表示保管部3的A—A'剖视图5是表示与从运行状态向待机状态迁移和从待机状态向运行状态迁移
有关的涂敷装置的动作的流程图6是表示在保管中供给清洗液之后的保管部3的状态的图7是表示在第二实施方式中的涂敷装置的各个部分和控制部之间的连
接关系的图8是表示在第二实施方式中的保管部3的结构的剖视图； 图9是表示在第三实施方式中的涂敷装置的各个部分和控制部的连接关 系的图10是表示在第三实施方式中的涂敷装置的动作流程的流程图11是表示在第三实施方式的变形例中保管部3的结构的立体图12是表示保管部110的结构的立体图13是表示图12所示突起部件111和喷嘴11的图14是表示在第四实施方式中的涂敷装置的清洗动作的流程的流程图15是表示在进行步骤S24的动作时的突起部件111的图16是表示在进行步骤S25的动作时的突起部件111的图17是表示在第四实施方式的变形例中突起部件的结构的图18是表示在第四实施方式的变形例中突起部件的结构的图19是表示其它变形例中突起部件的结构的图20是表示其它变形例中突起部件的结构的图。
具体实施例方式
第一实施方式
(1)涂敷装置的结构 下面，对本发明的第一实施方式的喷嘴保管装置进行说明。在第一实施 方式中，以将喷嘴保管装置构成为涂敷装置的一部分的情况为例进行说明，
该涂敷装置用于制造有机EL (electroluminescence:电致发光)显示装置。 该涂敷装置是通过从喷嘴向载置在载物台上的基板喷出有机EL材料或空穴 输送材料等涂敷液，从而涂敷成规定的图案形状的装置。此外，虽然涂敷装 置能够使用有机EL材料或空穴输送材料等多种涂敷液进行涂敷，但是在下 面，作为这些涂敷液的代表，以使用有机EL材料作为涂敷液为例进行介绍。
首先，参照图1A、图1B以及图2，对涂敷装置的整体结构进行介绍。 图1A以及图1B是表示涂敷装置10的结构的俯视图和主视图。图1A是从上 侧观看涂敷装置10的图，图1B是从侧面沿Y轴正向观看涂敷装置10的图。 图2是表示涂敷装置10的各个部分和控制部的连接关系的图。
如图1所示，涂敷装置10具有喷嘴单元1、喷嘴移动机构2、保管部3a 和3b、液体接受部4R和4L、载物台5、载物台移动机构6。在下文中没有 特别区分两个保管部3a和3b的情况下，简单记载为"保管部3"，在没有 特别区分两个液体接受部4R和4L的情况下，简单记载为"液体接受部"。
另外，如图2所示，涂敷装置10具有控制部7。控制部7与喷嘴单元1、 喷嘴移动机构2、载物台移动机构6、清洗液供给部8和保管部9电连接。
如图1所示，将涂敷处理对象即基板W载置在载物台5上。在基板W 上形成了多个槽，这些槽平行于X轴方向且在X轴方向上保持等间隔。本涂 敷装置10通过对该槽喷出有机EL材料，使得有机EL材料流入上述槽内。 而且虽然未图示，但是在载物台5上设置了加热机构和吸着机构。加热机构 用于在载物台5上对涂敷了有机EL材料后的基板W进行预加热处理。吸着 机构用于将基板W吸着固定在载物台5上。
载物台移动机构6连接与载物台5的下侧上。具体地讲，载物台移动机 构6具有旋转部61、平行移动工作台62、导向件承受部63和导向部件64。 导向部件64以通过喷嘴移动机构2的下方的方式沿着图1所示Y轴方向延 伸并固定。导向件承受部63以能够在导向部件64上滑动的方式设置在导向
部件64上。平行移动工作台62固设在导向件承受部63的上面上。平行移动 工作台62通过来自内部电动机(图中未示)的驱动力，能够向沿着导向部件 64的图示Y轴方向移动。旋转部61固设在平行移动工作台62的上面。旋转 部61通过来自内部电动机(图中未示)的驱动力，能够以Z轴为中心旋转。 上述载物台5固设在旋转部61的上面上。从而载物台5通过载物台移动机构 6能够沿Y轴方向平行移动，同时能够以Z轴为中心旋转(参照图1A中的 箭头)。而且，载物台移动机构6的动作受控制部7的控制。
另外，涂敷机构(喷嘴单元1和喷嘴移动机构2)设置在载物台5的上 方。喷嘴移动机构2具有沿X轴方向(与载物台5的载置面平行的方向)延 伸的导轨21。喷嘴单元1以沿着导轨21能够移动的方式与喷嘴移动机构2 相连。喷嘴单元1是通过从喷嘴喷出涂敷液而对基板进行涂敷的涂敷机构。 例如具有喷出红色有机EL材料的涂敷液的三个喷嘴11、 12和13。喷嘴单元 1的各个喷嘴11 13设置在喷嘴单元1的下侧，使得喷出涂敷液的方向为向 下方向(铅垂)。而且各个喷嘴11 13设置在Y轴方向上稍微错开的位置 上。具体地讲，各个喷嘴11 13在Y轴方向上保持间隔地被设置，此处的 间隔为形成在基板W上的三列槽的长度(Y轴方向的长度)。喷嘴单元l的 移动和从各个喷嘴11 13喷出有机EL材料由控制部7所控制。
导轨21在X轴方向上形成得比基板W长，喷嘴单元l能够在X轴方向 上比基板W的宽度还宽的范围内(参照图1B所示喷嘴移动范围)移动。也 就是在喷嘴单元1从导轨21的一端移动到另一端的情况下，喷嘴单元1的各 个喷嘴11 13横跨基板W地移动。因此，通过喷嘴单元1从导轨21的一端 移动到另一端，能够在X轴方向上将有机EL材料从基板W的一端涂敷到另 一端。但是，在喷嘴单元1从导轨21的一端移动到另一端期间，若从各个喷 嘴11 13喷出有机EL材料，则不仅将有机EL材料涂敷在基板W上，而且 有机EL材料也被喷出到基板W的外侧。为了接受被喷出到基板W外侧的有 机EL材料，设置了液体接受部4和保管部3。液体接受部4和保管部3设置 在喷嘴移动范围(参照图1B)的内侧。
两个液体接受部4设置在X轴方向的基板W的两侧。液体接受部4R具 有上段部41R、连接部42R和下段部43R。上段部41R为在上面具有狭缝44R 的箱状，狭缝44R沿X轴方向延伸。上段部41R配置成从各个喷嘴11 13
喷出的涂敷液通过上述狭缝。在上段部41R底面的最低位置上设置了排出流 路(图中未示)，从而被接受到上段部41R内的涂敷液从该排出流路排出到
下段部43R。在此情况下，从各个喷嘴11 13喷出的涂敷液虽然在刚喷出后 保持液体柱状(涂敷液处于直线棒状)，但是随着喷出后的距离增大，上述 涂敷液被液滴化，再则被雾化(比液滴化更细小的状态)。在本实施方式中， 涂敷液在液滴化和雾化之前，通过上段部41R回收涂敷液。而且即使涂敷液 在上段部41R内被雾化，由于上段部41R具有狭缝44R，因此能够防止雾化 后的涂敷液飞扬到上段部41R的外部。
下段部43R通过连接部R42与上段部41R相连。下段部43R为上面敞 开的箱状。下段部43R不仅对从上段部41R的排出流路排出的涂敷液进行回 收，而且对不能由上段部41R进行屈收的涂敷液进行回收。例如，从上段部 41R和基板W之间的缝隙向下部泄漏的涂敷液被下段部43R所回收。而且， 在下段部43R的底面最低位置上设置了排出流路(图中未示)，回收到下段 部43R内的涂敷液从该排出流路被排出到外部。
此外，液体接受部4L具有和液体接受部4R相同的结构。也就是液体接 受部4L的上段部41L相当于液体接受部4R的上段部41R，液体接受部4L 的下段部43L相当于液体接受部4R的下段部43R。液体接受部4L除了在X 轴方向上的长度与液体接受部4R不同之外，具有与液体接受部4R相同的功 能。
保管部3在涂敷装置10的停止期间(不进行涂敷期间)对各个喷嘴11 13进行保管，从而使得各个喷嘴11 13的前端不干燥。也就是在涂敷装置 IO的停止期间，各个喷嘴11 13配置在保管部3的上方，保管部3向各个 喷嘴11 13的前端供给用于对各个喷嘴11 13进行清洗的清洗液。而且， 例如在涂敷液包含有机溶剂的溶液的情况下，清洗液为包含该有机溶剂的液 体(也可以是该有机溶剂的纯溶剂)。具体地讲，若该涂敷液的溶剂为甲苯， 则可以使用甲苯作为清洗液。
保管部3以基板W为中心，设置在液体接受部4L的外侧。最好保管部 3和液体接受部4L之间无间隙地设置，以便能够全部接受从各个喷嘴11 13 排出的涂敷液。保管部3通过保管部移动机构9，能够沿着Y轴和Z轴方向 平行地移动。此外，在图1中仅显示了保管部3的一部分的结构，保管部3
的详细结构在图3和4中进行显示。
另外，在本实施方式中使用了两个保管部3a和3b。根据作为清洗对象 的涂敷液的种类，分别使用两个保管部3a和3b。也就是在对喷出例如水类 的空穴输送材料的喷嘴进行保管和清洗时使用保管部3a。在对喷出例如溶剂 类的有机EL材料的喷嘴进行保管和清洗时，使用保管部3b。各保管部3a和 3b能够沿着Y轴方向移动。通过沿着Y轴方向移动，将两个保管部中的任 一个配置在各个喷嘴11 13的喷出口的正下方位置(在从喷嘴喷出的涂敷液 喷到的位置上)。而且，图l表示使用保管部3a时的配置。通过如本实施方 式配置多个保管部，能够容易地对应多种涂敷液的情况。
图3是表示保管部3的结构的立体图，图4是表示保管部3的A—A，剖 视图。由于保管部3a和3b具有相同的结构，因此在图3和图4中，仅将保 管部3a和3b中的一个作为保管部3来进行显示。如图3所示，保管部3具 有液体回收部30、突起部件31 33、供给配管34 36和储存机构37 39。
液体回收部30是用于对从各个喷嘴11 13喷出的喷出液(涂敷液)、 从突起部件31 33供给的清洗液进行回收的部件。液体回收部30为具有倾 斜的底面的箱状。底面具有沿X轴方向延伸的平坦部分。在该底面的最下位 置设置了未图示的排出口，付着在底面上的涂敷液和清洗液通过倾斜的底面 上，从该排出口排出。
而且，虽然未图示，在液体回收部30的下方具有与液体接受部4L的下 段部43L相同功能的部件。也就是也可以设置用于对从液体回收部30排出的 涂敷液进行回收的同时，对不能由液体回收部30回收的涂敷液进行回收的部 件。该部件为具有底面的箱状，在该底面的最低位置上设置了排出流路。由 此，回收到该部件内的涂敷液从该排出流路被排出到外部。而且在其他实施 方式中，也可以使液体接受部4L的下段部43L向X轴的负方向上增大，从 而通过下段部43L对液体回收部30的下方进行覆盖。
在液体回收部30的底面上设置了三个突起部件31 33。三个突起部件 31 33与三个喷嘴11 13对应，并分别保管所对应的喷嘴。也就是突起部 件31与喷嘴11对应，突起部件32与喷嘴12对应，突起部件33与喷嘴13 对应。各个喷嘴11 13的各个喷出口的高度(Z轴方向上的位置)相同。三 个突起部件31 33的上面31a 33a在Z轴方向上的位置相同。三个突起部
件31 33沿着X轴方向上大致配置成一列，但是与喷嘴11 13相同，在Y
轴方向上稍微错开地配置。
突起部件31具有在保管时以与喷嘴11对置的方式配置的上面31a。另 外，在上面31a上设置了供给口。虽然将在下文详细介绍，但是通过在保管 时从供给口供给清洗液，使清洗液付着在喷嘴11前端上。
供给配管34从供给清洗液的供给源(图中未示)连通到突起部件31的 供给口。在从供给源供给清洗液情况下，清洗液通过该供给配管34供给到供 给口。
储存机构37与供给配管34相连。而且在图3中，为了便于观看图面， 仅显示了储存机构37 39的局部，省略了包含在储存机构内的存储罐的结 构。在本实施方式中，由于储存机构37的配管从供给配管34分路，因此一 旦从供给源供给清洗液，就向供给口供给清洗液的同时，也向储存机构37 供给清洗液。储存机构37为在比突起部件31的上面31a高的位置上能够存 储清洗液的结构。具体地讲，如图4所示，储存机构37具有设置在比突起部 件31的上面31a高的位置上的存储罐37a。而且，在本实施方式中，储存机 构37为具有从供给配管34分路的配管以及与其相连的存储罐37a的结构， 但是在其它实施方式中，也可以为不具有存储罐37a的结构。也就是储存机 构37只要能够在比突起部件31的上面31a高的位置上存储清洗液，就可以 仅由从供给配管34分路的配管构成。
虽然在上文中对突起部件31的结构进行了介绍，但是突起部件32和33 的结构与突起部件31的结构相同。也就是突起部件32和33具有以在保管时 分别与喷嘴12和13对置的方式配置的上面32a和33a。另外，在上面32a 和33a上分别设置了一个供给口 。供给配管35从上述供给源连通到上面32a 的供给口，供给配管36从上述供给源连通到上面33a的供给口。另外，储存 机构38与供给管35相连，储存机构39与供给配管36相连。储存机构38 和39分别在比突起部件32和33的上面32a和33a更高的位置上能够存储清 洗液。具体地讲，具有设置在比上面32a和33a更高位置上的存储罐。另外， 图2所示的清洗液供给部8由分别设置在供给配管34 36上的泵等构成，根 据来自控制部7的指令，从供给源供给清洗液。
另外，如上所述，保管部3通过保管部移动机构9，能够沿着Y轴方向
平行地移动。在本实施方式中，保管部3在进行涂敷动作时，液体回收部30 的底面位于各个喷嘴11 13的正下方的位置，在保管时(涂敷装置10的动
作停止时)，各个突起部件31 33的上面31a 33a分别移动到与对应的喷 嘴11 13的喷出口对置的位置。
此外，在本实施方式中，保管部3也使用于清洗付着在喷嘴11 13上的 涂敷液。也就是由于分别从喷嘴11 13喷出的涂敷液付着在喷出口的附近， 因此，保管部3通过将从各个突起部件31 33的各个供给口涌出的清洗液喷 到各个喷嘴11 13上，从而能够对各个喷嘴11 13进行清洗。 (2)涂敷装置中的涂敷动作
下面，对上述结构的涂敷装置10的动作进行说明。首先，对涂敷装置 10的涂敷动作的概要进行说明。涂敷装置10中的作为涂敷处理对象的基板 W通过未图示的搬送机器人等搬入到涂敷装置10内，并载置在载物台5上。 基板W载置成形成在该基板W上的多个槽在X轴方向上平行。此外，在搬 入到涂敷装置10内的基板W上，已经形成了阳极和空穴输送层。
搬入到涂敷装置10内的基板W —旦被固定在载物台5上，控制部7就 使载物台5和喷嘴单元1向初始位置移动。具体地讲，控制部7按每个基板 W将载物台5移动到预先规定的初始位置上，同时使喷嘴单元1移动到导轨 21的一端。此外，载物台5的初始位置就是喷嘴11 (喷嘴11 13中最位于 Y轴正方向侧的喷嘴)位于排列形成在基板W的沿Y轴方向上的多个槽中， 位于最靠Y轴正方向侧的槽的正上方的位置。如上所述，载物台5和喷嘴单 元1一旦配置到初始位置，控制部7就开始进行涂敷动作。
在涂敷动作中，首先，控制部7对喷嘴单元1和载物台移动机构6进行 控制，从而使喷嘴单元1和载物台移动机构6开始动作。也就是控制部7对 喷嘴单元1在X轴方向的移动和载物台5在Y轴方向的移动进行控制，同时 对喷嘴11 13的有机EL材料的喷出进行控制。由此，之后反复执行喷嘴单 元1在X轴方向的移动动作(第一动作)和载物台5在Y轴方向的移动动作 (第二动作)。
具体地讲，首先，作为第一动作，从喷嘴单元1的各个喷嘴11 13喷出 红色的有机EL材料，同时喷嘴单元1从导轨21的一端向另一端移动。此外， 如上所述，各个喷嘴11 13在Y轴方向上保持间隔地设置，此处的间隔等
于形成在基板W上的三列槽的长度(Y轴方向的长度)。因此，在一次的第 一动作中，对分别相互保持两列间隔的三列槽进行涂敷。由此，结束对形成 在基板W上的三列槽的涂敷。然后作为第二动作，使载物台5在Y轴正方
向上只送进相当于形成在基板W上的9列槽量的长度的节距(pitch)。然后
通过反复进行第一动作和第二动作，每次在基板w上涂敷三列槽的量，因此，
将有机EL材料带状地涂敷在基板W上。
将第一动作和第二动作进行到有机EL材料涂敷到基板W的有效区域 (形成了槽的区域)内为止。此外，在此时，虽然在X轴方向上在基板W的 有效区域外部分也被涂敷有机EL材料，但是涂敷在有效区域外区域的有机 EL材料通过后述的去除处理来去除，通过以上的处理，结束对一个基板W 的涂敷动作。
此外，由未图示的搬送机器人从涂敷装置10中搬出在涂敷装置10中结 束了涂敷处理后的基板W。对搬出后的基板W，去除涂敷在基板W的有效 区域以外的区域的有机EL材料。去除处理可采用任何能够去除基板W上的 有机EL材料的方法。例如也可以是由激光烧蚀(laser ablation )将有机EL 材料去除的方法。也可以是预先将胶纸带(maskingtape)粘贴在去除区域内 的方法。对完成去除处理后的基板W进行干燥处理(烘烤处理)。由此，结 束了对于红色有机EL材料的涂敷和干燥处理。然后与红色的情况相同，使 用绿色和蓝色有机EL材料，对基板W进行涂敷和干燥处理。也就是按顺序 进行涂敷绿色有机EL材料的处理，使所涂敷的绿色有机EL材料干燥的处理， 涂敷蓝色有机EL材料的处理，使所涂敷的蓝色有机EL材料干燥的处理。通 过使用红色、绿色和蓝色有机EL材料进行涂敷和干燥处理，形成了有机EL 显示装置的发光层。而且，针对形成了发光层后的基板W，例如由真空蒸镀 法，在发光层上形成了阴极电极，从而制造成有机EL显示装置。 (3)待机状态中的涂敷装置的动作
涂敷装置10在不进行上述涂敷动作时(装置不运行时)时处于待机状态。 在该待机状态下，喷嘴单元1退避到规定的位置，各个喷嘴11 13在与清洗 液接触状态下被保管。下面，对从运行状态向待机状态转变的动作以及从待 机状态向运行状态转变的动作，进行说明。
图5是表示与从运行状态向待机状态迁移和从待机状态向运行状态迁移
有关的涂敷装置10的动作的流程图。在图5所示的流程图中显示了对进行涂 敷动作的涂敷装置10发出停止运行的指示后，涂敷装置10的动作。
首先，在步骤Sl中，控制部7使在涂敷处理时移动的喷嘴单元1停止。
而且，喷嘴单元1停止在喷嘴移动机构2的两端中位于保管部3上方的一端 (图1A所示左侧一端)上。更具体地讲，喷嘴单元1在下述位置停止，即
在各个喷嘴以及与其对应的各个突起部件在x轴方向的位置相同的位置上。
在此，该位置就是喷嘴单元1的退避位置。在后续的步骤S2中，控制部7 向喷嘴单元1发出控制指令，从而使各个喷嘴11 13停止喷出涂敷液。
接着，在步骤S3中，通过控制部7向保管部移动机构9发出控制指令， 以此切换保管部3的位置。具体地讲，控制部7使液体回收部30底面位于各 个喷嘴11 13正下方的保管部3，移动到各个突起部件31 33位于各个喷 嘴11 13的正下方的位置上。
在步骤S3后的步骤S4中，通过控制部7向清洗液供给部8控制指令， 经由各个配管将清洗液从供给源供给到各个突起部件31 33的供给口。此 时，清洗液供给部8供给清洗液，直至清洗液盛满在各个突起部件31 33 的上面31a 33a上。下面，以突起部件31为例，对步骤S4进行详细说明。 虽然下文以三个突起部件31 33中的突起部件31为例进行说明，但是其它 突起部件32和33也同样。
图6是表示在保管中供给清洗液之后的保管部3的状态的视图。虽然在 图6中仅显示了清洗液供给到三个突起部件31 33中的突起部件31的状态， 但是在其它突起部件32和33中，清洗液的状态与图6相同。如图6所示， 在步骤S4中，通过由清洗液供给部8供给清洗液，从而清洗液L盛满在突 起部件31的上面31a上。也就是若以从上面31a的供给口涌出规定量的清洗 液的方式供给清洗液，则清洗液因表面张力而处于对上面31a突出的状态(盛 满状态)。在步骤S4中，清洗液供给部8供给清洗液，直至清洗液L处于 在突起部件31的上面31a上盛满的状态， 一旦处于该状态，则停止供给。具 体地讲，清洗液供给部8供给充足量的清洗液，在清洗液处于在上面31a上 盛满状态后，停止供给。此外，如果供给量过多，则由于由表面张力，盛满 为球面状的状态崩溃， 一些清洗液从上面31a向液体回收部30的底面溢出， 因此，清洗液供给部8最好供给清洗液至盛满状态不崩溃的程度。如上所述，
根据本实施方式，由于无需始终向保管部内供给清洗液，因此能够减少所消 耗的清洗液量，能够有效地使用清洗液。
另外，在步骤S4中，在供给清洗液时，不仅向上面31a的供给口供给清 洗液，而且还向储存机构37供给清洗液。而且，如图6所示，在清洗液L 盛满在上面31a上的情况下，清洗液也处于存储在储存机构37内比上面31a 还高的位置(在图6中，到储存机构37内的高度为止)的状态。在此状态下， 通过储存机构37内清洗液的压力和上面3la上的清洗液L所承受的表面张力
的平衡(某个高度和尺寸)，处于盛满状态。
返回到图5的说明，在步骤S4的下一个步骤S5中，通过控制部7向保 管部移动机构9发出控制指令，使保管部3向上方移动。保管部3以各个突 起部件31 33的上面31a 33a与各自对应的各个喷嘴11 13的喷出口隔开 规定的间隔而对置的方式移动。该规定的间隔被预先设定，具体地讲，为各 个喷嘴11 13的下面至少与盛满在各个突起部件31 33的上面31a 33a上 的清洗液接触的间隔。换句话讲，所设定的规定的间隔比盛满在上面31a 33a上的清洗液的高度还小。而且，除了清洗液的种类或突起部件的材质(使 用PTFE (聚四氟乙烯)等)之外，盛满的清洗液的高度和尺寸还取决于供给 口的尺寸和储存机构37中配管的尺寸等。
此外，在本实施方式中，由于在保管时(与后述的清洗时相同)，各个 喷嘴11 13和各个突起部件31 33不接触，因此，通过各个喷嘴11 13 和各个突起部件31 33接触，不会导致各个喷嘴11 13的位置偏离。也就 是能够防止因各个喷嘴11 13的位置偏离所导致的在涂敷动作中涂敷液不 能涂敷到正确的位置上的问题。
通过上述步骤S5的动作，保管部3的各个突起部件31 33的上面31a 33a配置在与各个喷嘴11 13的喷出口对置的位置上，喷嘴11的喷出口处 于与清洗液接触的状态。从而能够对喷嘴11 13进行保管，使得喷出口不会 干燥。
在此，盛满在上面31a 33a上的清洗液L会蒸发。因而，假如没有补充 清洗液的装置，则随着时间的经过，盛满在上面31a 33a上的清洗液L的量 逐渐减少。 一旦盛满的清洗液L的量少于某个量(储存机构37 39中清洗液 的液面高度低于某个位置)，则喷嘴的喷出口不与清洗液接触。如上所述， 若没有补充清洗液的装置，则出现不能够以喷嘴浸泡在清洗液的状态下进行 保管的问题。为了解决该问题，在第一实施方式中，采用设置了储存机构37
39的结构。也就是在第一实施方式中，由于清洗液存储在储存机构37 39 内且比上面31a 33a还高的位置上，因此如果盛满在上面31a 33a上的清 洗液L的量减少，则因储存机构37 39内清洗液的压力而清洗液被供给到各 个突起部件31 33的供给口。从而，在第一实施方式中，即使清洗液蒸发， 也能维持清洗液盛满在上面31a 33a上的状态，与没有设置储存机构的情况 相比，能够更长时间地保管喷嘴。
返回到图5的说明，在步骤S5后的步骤S6中，控制部7判断用户是否 发出了使涂敷装置IO运行的指示。如果发出了运行指示，控制部7就实施后 述步骤S7的动作。另一方面，如果未发出运行指示，控制部7就再次执行步 骤S6的动作，在接到运行指示之前，以规定的时间间隔反复执行步骤S6的 动作。也就是控制部7待机直至接到运行指示， 一旦接到运行指示，就执行 步骤S7的动作。
如果接到使涂敷装置10运行的指示，则通过执行步骤S7和S8的动作， 涂敷装置10从待机状态变为运行状态。也就是在步骤S7中，通过控制部7 向保管部移动机构9发出控制指令，保管部3返回到下方位置(执行歩骤S5 之前的位置)，从而由于保管部3移动到充分远离喷嘴11 13的位置上，因 此在涂敷处理中，即使喷嘴11 13移动，喷嘴11 13与保管部3也不碰撞。 在随后的步骤S8中，通过控制部7向保管部移动机构9发出控制指令，对保 管部3的位置进行切换。具体地讲，控制部7使突起部件31 33位于喷嘴 11 13正下方的保管部3移动，使得液体回收部30的底面位于各个喷嘴11 13正下方。由此，在涂敷处理中，即使涂敷液从喷嘴11 13中喷出，也能 抑制保管部3中的涂敷液的飞散。迁移到运行状态之前的涂敷装置10的动作 通过上述步骤S1 S8而结束。在上述动作后，涂敷装置IO再次开始涂敷处 理。
如上所述，根据第一实施方式，在喷嘴11 13的保管中，将保管部3 的各个突起部件31 33的上面31a 33a设置成分别与喷嘴11 13对置，同 时使得清洗液盛满在上面31a 33a上的状态。由此，能够以各个喷嘴11 13的喷出口与清洗液接触状态，对喷嘴11 13进行保管，同时由于无需始
终供给清洗液，因此能够有效地使用清洗液。此外，根据第一实施方式，通
过设置储存机构37 39，由存储在储存机构37 39内的清洗液和盛满在上 面31a 33a上的清洗液的高度差，能够自动地补充清洗液到上面31a 33a 上。因此能够维持清洗液长期盛满在上面31a 33a上的状态，能够更长时间 地保管各个喷嘴11 13。
此外，对各个喷嘴11 13进行清洗时，使用上述保管部3。具体地讲， 在进行清洗动作时，控制部7首先进行与上述步骤S1 S3相同的动作。然后 通过控制部7向清洗液供给部8发出控制指令，以此向清洗液供给部8供给 清洗液。由此，清洗液供给部8使清洗液从保管部3的各个突起部件31 33 的供给口涌出。此外，清洗动作与保管时不同，始终供给清洗液。接着，控 制部7执行与步骤S5相同的动作。由此，各个突起部件31 33的上面31a 33a配置在与各个喷嘴11 13的喷出口对置的位置，从而喷嘴11的喷出口 处于与清洗液接触状态。其结果，各个喷嘴11 13被清洗液清洗。此外，在 清洗时，从各个突起部件31 33的供给口涌出的清洗液从各个突起部件31 33向液体回收部30的底面流，并从液体回收部30的排出口排出。清洗液在 预定的规定时间涌出，从而结束喷嘴的清洗。结束喷嘴的清洗后，控制部7 通过进行步骤S7和S8的动作，能够执行涂敷动作。而且，清洗处理也可以 在涂敷装置10开始1天的作业之前进行或在结束1天的作业之后进行，清洗 处理也可以在每次结束对规定数量的基板的涂敷处理后进行，清洗处理也可 以隔着规定时间间隔进行。而且，清洗处理也可以根据操作者以手动指示控 制部7来开始，也可以根据规定的条件，由控制部7自动开始。如上所述， 根据本实施方式，也可以使用保管部3进行喷嘴的清洗动作和保管动作。
第二实施方式
下面，对第二实施方式的喷嘴保管装置，进行介绍。在上述第一实施方 式中，在从待机状态向运行状态转换的情况下以及在结束喷嘴的清洗的情况 下，存在清洗液残留付着在各个喷嘴11 13上的可能性。因而，在第一实施 方式中，最好设置用于将残留在各个喷嘴11 13上的清洗液去除的装置。在 第二实施方式中，作为清洗液去除装置，设置了从供给口吸引清洗液的装置。 此外，通过使用上述储存机构37 39来实现清洗液吸引装置，简化了涂敷装 置的结构。下面，以与第一实施方式不同之处为中心，对第二实施方式进行 详细介绍。
图7是表示第二实施方式中涂敷装置的各个部分和控制部的连接关系的 视图。此外，图8是表示第二实施方式中保管部3的结构的剖视图。图8是
与图4所示A-A'剖视图对应的视图。而且，图8表示待机状态下的保管部3 的状态。而且，在图7和8中，与图2和屈4相同的结构要素使用相同的附 图标记表示，省略了详细说明。
如图7所示，在第二实施方式中，涂敷装置(喷嘴保管装置)还具有清 洗液吸引部101。另外，如图8所示，保管部3的储存机构37为具有吸引配 管37b的结构。清洗液吸引部101由吸引泵等构成，其动作由控制部7控制。 吸引配管37b连接存储罐37a和清洗液吸引部101。此外，除了上述点之外， 第二实施方式的涂敷装置的结构与第一实施方式相同。
下面，对第二实施方式中涂敷装置的动作，进行说明。第二实施方式与 第一实施方式相同，在从运行状态向待机状态迁移时，进行图5所示的步骤 S1 S5的动作。通过步骤S1 S5的动作，保管部3的状态变为图8所示状 态。在保管时，以该状态，对喷嘴11 13进行保管。
另外，第二实施方式的动作，在从待机状态向运行状态迁移时，付着在 各个喷嘴11 13上的清洗液被清洗液吸引部101所吸引的这一点上与第一实 施方式不同。若以图8为例进行说明，则在图8所示待机状态下， 一旦接到 来自用户的运行指示，就由清洗液吸引部101对各个储存机构37的清洗液进 行吸引。从而，盛满在上面31a上的清洗液(付着在喷嘴11上的清洗液)L 被吸引到供给口而被回收。此外，在上述中，虽然以三个突起部件31 33 中的突起部件31为例进行了说明，但是其它突起部件32和33进行与突起部 件31相同的动作。如上所述，在第二实施方式中，残留在各个喷嘴11 13 上的清洗液被清洗液吸引部101去除。
具体地讲，在图5所示步骤S6的判断结果为肯定之后，控制部7向清洗 液吸引部101发出控制指令，使清洗液吸引部101进行吸引动作。也就是清 洗液吸引部101通过储存机构37 39从各个供给配管34 36吸引清洗液。 由此，各个上面31a 33a上的清洗液被回收到供给口中。在第二实施方式中， 清洗液吸引部101进行吸引动作后，进行步骤S7的动作。
另外，清洗液吸引部101的吸引动作也在清洗处理后再次开始涂敷动作
之前进行。也就是在清洗处理中，若清洗液涌出预定规定时间，则清洗液供 给部8停止供给清洗液。然后，清洗液吸引部101进行与保管时相同的吸引 动作。通过该吸引动作，能够从各个突起部件31 33的供给口吸引在清洗时 付着在各个喷嘴11 13上的清洗液，从而能够去除清洗时付着在各个喷嘴
11 13上的清洗液。上述吸引动作之后，通过控制部7进行步骤S7和S8的 动作，能够进行涂敷动作。
如上所述，在第二实施方式中，由于能够通过清洗液吸引部101将付着 在各个喷嘴11 13上的清洗液去除，因此在进行涂敷动作时，清洗液不残留 在各个喷嘴11 13上。再有，根据第二实施方式，通过储存机构实现用于由 清洗液吸引部101进行吸引的配管。也就是无需单独设置用于进行吸引的配 管，因此能够简化涂敷装置的结构。
第三实施方式
下面，对第三实施方式的喷嘴保管装置进行介绍。在上述第一实施方式 中，通过盛满在突起部件31 33的上面31a 33a上的清洗液的蒸发，存储 在储存机构37 39内的清洗液的量逐渐减少。其结果，当存储的清洗液的量 低于某个量(如果储存机构中清洗液的液面高度低于某个高度)时，清洗液 不会盛满在上面31a 33a上(通常，若储存机构中清洗液的液面高度与上面 的高度相同，则清洗液不会盛满在上面31a 33a上)。因此在第一实施方式 中，虽然与没有储存机构的结构相比能够长期地对喷嘴进行保管，但是若经 过一定的时间，则不能再对喷嘴进行保管。在第三实施方式中，对存储在储 存机构37 39内的清洗液的量进行检测，在清洗液没有盛满在上面31a 33a 上之前再次供给清洗液。从而，能够无限期地对喷嘴进行保管。下面，以与 第一实施方式不同之处为中心，对第三实施方式进行详细说明。
图9是表示第三实施方式中涂敷装置的各个部分和控制部的连接关系的 视图。此外，在图9中，对与图2相同的结构要素使用与图2相同的附图标 记表示，省略了详细介绍。如图9所示，在第三实施方式中，涂敷装置(喷 嘴保管装置)还包括液量检测部102。液量检测部102设置在各个储存机构 37 39内，对各个储存机构37 39的液量进行检测。具体地讲，检测出存 储在储存机构37 39内的清洗液的量小于规定量(储存机构中清洗液的液面 高度低于某个高度)。将液量检测部102的检测结果通知给控制部7。也就
是当检测出存储在储存机构37 39内的任一种清洗液的量低于规定量时，液
量检测部102通知控制部7。
图10是表示第三实施方式中涂敷装置的动作的流程图。而且在图10中， 对于执行与图5所示步骤相同动作的步骤，使用与图5相同的步骤号码，省 略了详细说明。
第三实施方式与第一实施方式相同，在从运行状态向待机状态迁移时， 进行步骤S1 S5的动作。在第三实施方式中，步骤S5的动作之后，进行步 骤S11的动作。也就是在步骤S11中，控制部7判断是否再次供给清洗液。 该判断通过如下方式进行，即，根据存储在储存机构37 39内的任一种清洗 液的量低于预定规定量的通知是否已从液量检测部102发出来进行判断。在 接到来自液量检测部102的通知的情况下，控制部7判断为需要再次供给清 洗液，从而进行步骤S12的动作。另一方面，在未接到来自液量检测部102 的通知的情况下，控制部7判断为不需要再次供给，从而进行步骤S6的动作。
在步骤S12中，通过控制部7向清洗液供给部8发出控制指令，使清洗 液供给部8再次供给清洗液。在步骤S12中，供给的清洗液的量也可以为预 先规定的量。通过该步骤S12，存储在储存机构37 39内的清洗液量比上述 规定量多，能够继续保管喷嘴。步骤S12后，进行步骤S6的动作。
在第三实施方式中，步骤S6的动作与第一实施方式相同。也就是控制部 7判断出用户是否发出了使涂敷装置运行的指示，当接到运行指示时，控制 部7进行后述步骤S7的动作。另一方面，若未接到运行指示，则控制部7 再次进行步骤Sll的动作。因此，在接到运行指示之前，控制部7以规定的 时间间隔反复进行步骤Sll和S6的动作，并根据需要，进行步骤S12的动 作。也就是控制部7待机直至接到运行指示，同时在判断为需要再次供给清 洗液的情况下(步骤S11中为是)，再次供给清洗液。而且步骤S6和S7的 动作与第一实施方式相同。
如上所述，根据第三实施方式，当检测出不能保管喷嘴也就是检测出存 储在储存机构37 39内的清洗液量低于预定规定量时，根据检测结果，再次 供给清洗液。由此，只要供给源的清洗液不中断，就能够继续保管喷嘴。根 据第三实施方式，即使在长期(例如1天)保管喷嘴的情况下，上面上的清 洗液也不会消失。 此外，虽然在第三实施方式中采用了没有设置第二实施方式所示的清洗 液吸引装置的结构，但是，在第三实施方式中也可以设置该清洗液吸引装置。 由此，与第二实施方式相同，能够以简单的结构将付着在各个喷嘴11 13 上的清洗液去除。
另外，在第三实施方式中，也可以单独设置用于将清洗液再次供给到储 存机构37 39内的配管(管道)。图11是表示第三实施方式的变形例中保
管部3的结构的视图。如图11所示，在第三实施方式的变形例中，在供给配 管34和储存机构37的分支部分与供给源之间设置了阀103。另外，设置了 将阀103和供给源之间的配管与存储罐37a相连的再供给配管37c。此外， 阀103的开闭由控制部7控制。此外，在图11中虽然仅显示了与突起部件 31相关的结构，但是对于其它突起部件32和33，也同样设置了与图ll相同 的阀和再供给配管。
在图11所示的变形例中，在上述步骤S4中供给清洗液时，由控制部7 开启阀103。因而，从供给源供给的清洗液通过供给配管34供给到突起部件 31的供给口。另一方面，在上述步骤S12中再次供给清洗液时，由控制部7 关闭阀103。因而，从供给源供给的清洗液通过再供给配管37c供给到存储 罐37a中。如上所述，在保管时再次供给清洗液时，也可以从供给源直接将 清洗液供给到存储罐37a中。此外，在上述内容中虽然仅显示了与突起部件 31相关的动作，但是其它突起部件32和33的动作也和突起部件31的动作 相同。
第四实施方式
下面，对第四实施方式的喷嘴保管装置，进行介绍。在第四实施方式中， 除了上述喷嘴的保管动作之外，涂敷装置(喷嘴保管装置)进行喷嘴的清洗 动作。下面，以与第二实施方式不同之处为中心对第四实施方式进行详细说 明。
除了保管部(更具体地讲，保管部的突起部件)之外，第四实施方式的 涂敷装置的结构与第二实施方式的喷嘴保管装置的结构相同。下面，参照图 12和13，对保管部的结构进行说明。
图12是表示第四实施方式保管部的结构的立体图。而且在第四实施方式 中，与第二实施方式的保管部3a和3b相同，涂敷装置也具有两个保管部，
但是由于两个保管部的结构相同，因此在图12中仅显示了两个保管部中的一 个保管部110。如图12所示，保管部110具有液体回收部30、突起部件111
113、供给配管34 36以及储存机构37 39。此外，在图12中，对与图3 相同的结构要素标上了相同的附图标记，省略了详细介绍。
如图12所示，在第四实施方式中，各个突起部件111 113的形状与第 二实施方式不同。下面，参照图13，以突起部件lll为例，对突起部件的结 构进行说明。
图13是表示图12所示突起部件111和喷嘴11的视图。如图13所示， 突起部件111具有平面状的上面llla。该上面llla以在清洗时(与保管时 相同)与喷嘴ll的下面(设置有喷出口的面)lla对置的方式设置。另外， 在上面llla上设置了供给口。虽然将在下文中进行详述，但是在清洗时，通 过从供给口供给清洗液，将清洗液喷到喷嘴11的前端上。
再，突起部件111具有圆柱状外形，上面llla大致为圆形。另一方面， 喷嘴11为圆柱形状，其下面lla大致为圆形。突起部件111前端的直径比喷 嘴ll的前端直径小。也就是上面llla的直径小l比喷嘴ll的下面lla的直 径小2小。例如，两者的直径比小l:小2设定为3: 5。具体地讲，上面llla 的直径cH设定为ci)l二3毫米，喷嘴11的下面11a的直径4)2设定为c])2二5 毫米。而且突起部件lll在上面llla的周围具有朝向外周变低的倾斜面lllb。 通过具有倾斜面lllb的形状，突起部件111减少了上面llla的直径，同时 突起部件lll作为整体，确保了粗细，从而能够确保强度。
虽然在上面对突起部件111的结构进行了介绍，但是突起部件112和113 的结构，也与图13所示的突起部件111的结构相同。也就是突起部件112 和113具有以在清洗时分别与喷嘴12和13对置的方式配设的上面112a和 113a。分别在上面112a和113a设置了一个供给口。另外，突起部件112在 上面112a的周围具有朝向外周变低的倾斜面112b。突起部件113在上面113a 的周围具有朝向外周变低的倾斜面U3b。
下面，对第四实施方式的涂敷装置(喷嘴保管装置)的动作，进行说明。 第四实施方式中的涂敷动作和保管时的动作与第二实施方式中的动作相同。 在第四实施方式中，涂敷装置除了涂敷动作和保管时的动作之外，还进行对 喷嘴的清洗动作。下面，参照图14，对清洗动作进行说明。 图14是表示第四实施方式中清洗动作的流程图。此外，图14所示的清 洗动作，也可以在涂敷装置开始1天的作业之前进行或在结束1天的作业之
后进行；也可以在每次针对规定数量的基板进行涂敷处理后进行；也可以每
隔规定时间间隔地进行。而且，清洗动作，也可以通过作业者以手动指示控
制部7来开始；也可以根据规定的条件，由控制部7自动地开始。
在图14中，首先在步骤S21中，控制部7停止涂敷处理时移动的喷嘴单 元1。此外，喷嘴单元1停止在喷嘴移动机构2的两端中位于保管部110的 上方一端(图1A所示左侧一端)上。更具体地讲，喷嘴单元1停止在下述 位置上，即，各个喷嘴和与其对应的各个突起部件在X轴方向上的位置相同 的位置上。该位置就是喷嘴单元l的退避位置。在后续的步骤S22中，通过 控制部7向喷嘴单元1发出控制指令，各个喷嘴11 13停止喷出涂敷液。
在步骤S22的下一个步骤S23中，通过控制部7向保管部移动机构9发 出控制指令，切换保管部110的位置。具体地税，控制部7移动液体回收部 30底面位于各个喷嘴11 13正下方的保管部111，使得各个突起部件111 113位于各个喷嘴11 13的正下方。
在步骤S23的下一个步骤S24中，通过控制部7清洗液供给部8发出控 制指令，从供给源通过各个配管将清洗液供给到各个突起部件111 113的供 给口。图15是表示在进行步骤S24的动作时的突起部件111的视图。此外， 图15是图12所示保管部110的B-B'剖视图。下面，以突起部件lll为例， 对步骤S24进行详细说明。下面，虽然以三个突起部件111 113中的突起部 件111为例进行说明，但是其它突起部件112和113也相同。
如图15所示，通过从供给源向突起部件111的供给口供给清洗液，清洗 液从供给口涌出。此时，清洗液供给部8对供给的清洗液的量进行控制，使 得清洗液L涌至距上面llla规定高度h。此外，涌出的清洗液的高度h取决 于突起部件的材质、清洗液的种类、供给口的尺寸和供给流量等。此时，突 起部件的材质为PTFE (聚四氟乙烯)，喷嘴的材质为聚酰亚胺，清洗液为有 机溶剂(甲苯等)，供给口的直径为2毫米，供给流量为10 25ml/min。在 本实施方式中，由于需要对清洗液的供给量进行控制，使得清洗液涌至合适 的高度，因此，清洗液供给部8最好具有能够对供给量进行微调的流量调整 机构。从供给口涌出的清洗液顺着倾斜面111b流到液体回收部30底面，并
从设置在底面上的排出口排出。
返回到图14的说明，在步骤S24的下一个步骤S25中，通过控制部7 向保管部移动机构9发出控制指令，使保管部110向上方移动。也就是移动 保管部110，使得各个突起部件111 113的上面111a 113a与各自对应的 各个喷嘴11 13的喷出口对置且分别保持规定的间隔d。图16是表示在进 行步骤S25的动作时的突起部件111的视图。而且图16是图12所示保管部 110的B-B'剖视图。下面，以突起部件lll为例，对步骤S25进行详细说明。 此外，虽然在图16中以三个突起部件111 113中的突起部件111为例进行 显示，但是其它突起部件112和113也和突起部件111相同。
在步骤S25中，突起部件111的上面llla以保持规定的间隔d且与喷嘴 11的喷出口对置的方式移动。该规定的间隔d预先被规定，具体地讲，如图 16所示，规定的间隔d就是涌出到上面111 a上的清洗液L与喷嘴11的下面 lla接触的间隔。也就是所设定的规定的间隔d比在上面llla上隆起的清洗 液L的高度h小。例如在清洗液为有机溶剂(例如甲苯)，突起部件lll的 上面11 la的直径cH为3毫米，供给口的孔径为2毫米，喷嘴11的下面1 la 的直径4)2为5毫米，清洗液的供给流量为20ml/min的情况下，规定的间隔 d最好为d《0.5毫米。也就是通过如上所述地设定各条件，在上面11 la l 13a 涌出的清洗液L与喷嘴11的下面1 la接触，从而能够有效地对喷嘴11进行 清洗。
在本实施方式中，上面llla的直径(H比下面lla的直径cl)2小。因而 清洗液仅付着在喷嘴11的下面lla上，从供给口涌出的清洗液L不会付着在 喷嘴11的侧面上。
由上述步骤S25的动作，保管部110的各个突起部件111 113的上面 111a 113a设置在与各个喷嘴ll 13的喷出口对置的位置上，各个喷嘴11 13的喷出口处于与清洗液接触状态(图16)，由此能够由清洗液对各个喷嘴 11 13进行清洗。而且在本实施方式中，由于在清洗时各个喷嘴11 13和 各个突起部件111 113不接触，因此，通过各个喷嘴11 13和各个突起部 件111 113接触，各个喷嘴11 13的位置不偏离。也就是能够防止因各个 喷嘴11 13的位置偏离所导致的在涂敷动作中涂敷液不能涂敷到正确的位 置的问题。此外，清洗液的供给从清洗开始后(结束步骤S25的动作之后)
持续到预先规定时间的期间。之后，进行步骤S26的动作。
返回到图14的说明，在步骤S25的下一个步骤S26中，通过控制部7 向清洗液供给部8发出控制指令，停止从供给源供给清洗液。此外，在随后 的步骤S27中，通过向清洗液吸引部101发出控制指令，使清洗液吸引部101 开始清洗液的吸引。由此，通过储存机构37 39，各个突起部件111 113 的供给口附近的清洗液被吸引，从而去除供给口附近的清洗液。也就是吸引 并去除各个突起部件111 113的上面111a 113a上的清洗液以及付着在各 个喷嘴11 13上的清洗液。此外，如上所述，在本实施方式中，由于清洗液 仅付着在各个喷嘴11 13的下面，因此与清洗液付着在喷嘴11的侧面上的 情况相比，能够轻易并可靠地进行吸引动作。清洗液吸引部101在进行规定 时间的吸引动作之后，结束吸引动作。在上述步骤S27之后，进行步骤S28 的动作。
在步骤S28中，通过控制部7向保管部移动机构9发出控制指令，使保 管部110返回到下方位置(执行步骤S25之前的位置)，由此，由于保管部 110移动到充分远离喷嘴11 13的位置上，因此在涂敷处理中，即使喷嘴11 13移动，喷嘴11 13与保管部110也不碰撞。在随后的步骤S29中，通过 控制部7向保管部移动机构9发出控制指令，切换保管部110的位置。具体 地讲，控制部7移动突起部件111 113位于喷嘴11 13正下方的保管部110， 使得液体回收部30的底面位于各个喷嘴11 13正下方。由此，在涂敷处理 中，即使涂敷液从喷嘴11 13中喷出，也能抑制保管部110中的涂敷液飞散。 涂敷装置的清洗动作通过上述步骤S21 S29而结束。在清洗动作之后，涂 敷装置再次开始涂敷处理。
如上所述，根据本实施方式，涂敷装置将清洗液只喷到喷嘴的下面，从 而进行清洗。由此，在吸引动作中，由于只要将付着在喷嘴下面的清洗液去 除(吸引)就可以，因此与清洗液还付着在喷嘴侧面情况相比，能够可靠和 轻易地进行吸引动作。也就是通过清洗，能够可靠地去除付着在喷嘴上的清 洗液。
再有，在本实施方式中，上面的直径4)1比喷嘴下面的直径小2小。因而 即使上述规定的间隔相当小，从供给口涌出的清洗液也不付着在喷嘴的侧面 上。另一方面，步骤S27中清洗液的吸引动作当供给口和喷嘴的距离越近则
吸引效果越大。根据本实施方式，由于能够使供给口和喷嘴的距离接近，因 此因该理由能够可靠地进行吸引动作。
此外，在第四实施方式中，在如第二实施方式，涂敷装置配备有清洗液 吸引部101的情况下，涂敷装置(喷嘴保管装置)进行清洗动作进行了介绍。 但是即使在如第一 第三实施方式涂敷装置的涂敷装置没有配备清洗液吸引 部101的情况下，涂敷装置也能进行清洗动作。此外，在此情况下，涂敷装
置也可以不执行图14所示的步骤S27 (跳过步骤S27)，执行步骤S26后的 步骤S28。
突起部件的变形例
下面，参照图17 20，对上述第四实施方式中突起部件的变形例的结构 进行说明。此外，在图17 20中，虽然以设置在涂敷装置中的三个突起部件 中的一个突起部件为例进行说明，但是其它两个突起部件具有与图中所示突 起部件相同的结构。
图17和18是表示上述实施方式的变形例中突起部件的结构的视图。在 图17和18中。突起部件121的上面121a的直径比喷嘴11下面lla的直径 大。此外，在本变形例中，设置在上面121a上的供给口的孔径比喷嘴11下 面lla的直径小。在本变形例中，在上述间隔d过小的情况下，如图18所示， 清洗液L与喷嘴11的侧面也接触。因而在清洗时，上面121a和下面lla的 间隔d设定为从设置在上面121a上的供给口涌出的清洗液L仅与下面lla 接触的距离。在此，以水平面(与XY面平行的面)切断从供给口涌出的清 洗液L时的截面形状大致为圆形，上述间隔d也可以设定为例如比距上面 121a的距离d'大，从而使得在距上面121a的距离为d'的水平面中的清洗液L 的截面直径比下面lla的直径小。如上所述，突起部件121的上面121a的直 径也可以比喷嘴11下面lla的直径大。在此情况下，通过使上述间隔d设定 为适合间隔，能够以清洗液不付着在喷嘴11的侧面上的方式进行清洗。
图19和20是表示其它变形例中突起部件的结构的视图。在图19中，突 起部件131的上面131a为凹形曲面。在图20中，突起部件141的上面141a 为凸形曲面。此外，在图19和20中，突起部件131的上面131a的直径比喷 嘴11下面lla的直径大，突起部件141的上面141a的直径比喷嘴11下面 lla的直径大。此外，设置在上面131a或141a上的供给口的孔径比喷嘴11
下面lla的直径小。如图19和20所示，突起部件的上面可以不是平面，而 是曲面。在图19和20所示变形例中，在清洗时的上面131a或141a的供给 口与喷嘴11下面lla之间的间隔d与图17和18所示变形例相同，设定为从 设置在上面131a或141a上的供给口涌出的清洗液L仅与下面lla接触的距 离。例如，上述间隔d也可以设定为比距上面131a或141a的供给口的距离 d，大，从而使得在距上面131a或141a的供给口的距离为d，的水平面中的清 洗液L的截面直径比下面lla的直径小。此外，在图20所示那样的突起部件 141的上面141a为凸形曲面的情况下，盛满在上面141a上的清洗液L的高 度小于突起部件的上面为平面的情况时的高度。因而，由于上述间隔d变小， 因此从供给口吸引清洗液时的吸引效果增大。此外，在如上述第四实施方式 的突起部件111的上面llla的直径比喷嘴11的下面lla的直径小的情况下， 也可以使上面llla为曲面。以此，仍能获得与上述实施方式相同的效果。 其它变形例
此外，在上述第一 第四实施方式中，在对各个喷嘴11 13进行清洗时， 通过移动保管部3 (或IIO)，将各个突起部件31 33 (或111 U3)的上 面31a 33a (或111a 113a)设置在与各个喷嘴11 13的喷出口对置的位 置上。在此，在其它实施方式中，也可以使各个突起部件31 33 (或111 113)相对于各个喷嘴11 13移动，替代移动保管部3 (或IIO)，也可以移 动各个喷嘴11 13 (喷嘴单元l)，也可以移动保管部3 (或IIO)和各个喷 嘴11 13 (喷嘴单元l)双方。
另外，在上述第一 第四实施方式中，涂敷装置是由三个喷嘴11 13 涂敷涂敷液的装置，保管部3具有与各个喷嘴11 13对应的三个突起部件 31 33 (或111 U3)。在此，在其它实施方式中，喷嘴的数量也可以为任 意数量。
在上述实施方式中，以本发明的喷嘴保管装置和涂敷装置构成为一体的 情况为例进行了说明，但是喷嘴保管装置也可以以独立于涂敷装置的方式构 成。而且，在上述实施方式中，作为涂敷液，以采用有机EL材料或空穴输 送材料作为涂敷液的有机EL显示装置的制造装置(涂敷装置)为例进行了 说明，但是本发明的喷嘴保管装置也可以应用于其它涂敷装置中。例如，对 在制造抗蚀剂液、SOG (Spin on Glass)液、PDP (等离子体光显示屏)时所
使用的荧光材进行涂敷的装置中也可以利用本发明的喷嘴保管装置。再有，
对为了彩色显示液晶显示器而在制造构成在液晶壳内的彩色滤光片中使用的
彩色材料进行涂敷的装置也可以利用本喷嘴保管装置。
另外，在涂敷装置以对喷嘴进行清洗为目的而构成的情况下，涂敷装置 也可以如下构成。也就是涂敷装置(喷嘴清洗装置)也可以为配备了突起部 件、清洗液供给装置、移动装置的结构。突起部件在上面设置了供给口。清 洗液供给装置向供给口供给清洗液，使得清洗液在突起部件的上面上涌出。 移动装置移动喷嘴和突起部件中至少一方，使得喷嘴的下面和突起部件的上 面以规定的间隔对置。此外，移动装置设定规定的间隔，使得在突起部件的 上面涌出的清洗液仅与喷嘴的下面接触。
本发明以有效地使用保管用的液体，对喷嘴进行保管为目的，例如也可 以作为使用在制造有机EL显示装置中的涂敷装置来应用。
以上，对本发明进行了详细介绍，但是上述介绍仅示例性地介绍了本发 明，并不限定本发明范围。在不脱离本发明范围内，能够进行各种改进和变 形。
权利要求
1.一种喷嘴保管装置，用于对从喷出口向下方喷出喷出液的喷嘴进行保管，其特征在于，包括突起部件，其配置在设有供给口的上面与上述喷嘴的喷出口对置的位置上；供给配管，其用于将供给清洗液的供给源和上述供给口之间进行连通；储存机构，其连接在上述供给配管上，且在比上述突起部件的上面更靠上方的位置上能够存储清洗液；清洗液供给装置，其用于从上述供给源供给清洗液，使得上述喷嘴保管装置处于如下状态在上述突起部件的上面上盛满清洗液且在上述储存机构中存储着清洗液。
2. 根据权利要求l所述的喷嘴保管装置，其特征在于， 还包括通过上述储存机构从上述供给配管吸引清洗液的清洗液吸引装置。
3. 根据权利要求1所述的喷嘴保管装置，其特征在于， 还包括检测存储在上述储存机构内的清洗液的液量的检测装置， 上述清洗液供给装置根据上述检测装置所检测到的液量，从上述供给源供给清洗液。
4. 根据权利要求1所述的喷嘴保管装置，其特征在于， 还包括移动装置，该移动装置使上述喷嘴和上述突起部件中的至少一个移动，使得上述喷嘴的下面和上述突起部件的上面以规定的间隔对置，上述清洗液供给装置，在对上述喷嘴进行清洗时，向上述供给口供给清洗液，使得清洗液在上述突起部件的上面上涌出；上述移动装置设定上述规定的间隔，使得在对上述喷嘴进行清洗时，在上述突起部件的上面上涌出的清洗液仅与上述喷嘴的下面接触。
5. 根据权利要求4所述的喷嘴保管装置，其特征在于， 上述突起部件的上面的直径比上述喷嘴的下面的直径小。
6. 根据权利要求4或5所述的喷嘴保管装置，其特征在于， 还包括从上述供给口吸引清洗液的清洗液吸引装置。
7. 根据权利要求4所述的喷嘴保管装置，其特征在于， 上述突起部件在上述上面的周围具有朝向外周变低的倾斜面。
8. 根据权利要求l所述的喷嘴保管装置，其特征在于， 上述喷出液为有机EL材料或空穴输送材料， 上述清洗液包含与上述喷出液所包含的溶剂相同的溶剂。
9. 一种涂敷装置，其特征在于，具有权利要求1所述的喷嘴保管装置， 通过从上述喷嘴向基板喷出涂敷液，对基板进行涂敷。
全文摘要
一种喷嘴保管装置以及涂敷装置，该喷嘴保管装置对从喷出口向下方喷出喷出液的喷嘴进行保管。喷嘴保管装置包括突起部件、供给配管、储存机构、清洗液供给装置。突起部件配置在设有供给口的上面与喷嘴的喷出口对置的位置上。供给配管将供给清洗液的供给源和供给口之间进行连通。储存机构连接在供给配管上，且在储存机构的比突起部件的上面更靠上方的位置中能够存储清洗液。清洗液供给装置从供给源供给清洗液，使得上述喷嘴保管装置处于如下状态在突起部件的上面上盛满清洗液且在储存机构中存储着清洗液。
文档编号B05B15/02GK101367070SQ20081014486
公开日2009年2月18日 申请日期2008年7月31日 优先权日2007年8月17日
发明者增市干雄, 川越理史, 松家毅, 相良秀一, 高村幸宏 申请人:大日本网屏制造株式会社