技术编号:39508
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利摘要一种磁控溅射镀膜真空室温控门,是由温控门、长加热模块、长加热模块正极、长加热模块负极、矩形加热模块、正负极输入输出口、定位器构成;加热的结构及其方法简单,设计科学合理,使用方便、操作容易快捷;确保在大型连续性生产氧化铟锡膜中,通过控制对磁控溅射磁悬浮车靶的各部位的加热温度,使ITO薄膜得到整版均匀性良好的电阻,电阻率达到2×10-4Ω/cm、透过率达到90%以上;明显提高ITO薄膜的产品质量,大大提高工作效率,节约生产成本,延长使用寿命2倍以上,节能环保。专利说明一种磁控溅射镀膜真空室温控门 技术领域 ...
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