技术编号：4023984
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及粒子计数器推车领域，且特别涉及一种半导体工艺中洁净室用推 车。背景技术随着高科技工业的快速发展，污染物检测和量化要求现已变得很重要。例如，半导 体工业现已发展了用于精确制造微电子器件的技术。为了可靠地制造上述产品，就必须要 对生产设备保持很严格的污染标准。为了控制生产过程中重要阶段的污染程度并将其最小化，经常采用“洁净室”。洁 净室是这样一种房间，其中，规定并控制了其中的空气过滤、空气分布、公用设施、建筑材 料、设备和操作过程，用以控制空气中...
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