专利名称：半导体工艺中洁净室用推车的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及粒子计数器推车领域，且特别涉及一种半导体工艺中洁净室用推 车。
背景技术：
随着高科技工业的快速发展，污染物检测和量化要求现已变得很重要。例如，半导 体工业现已发展了用于精确制造微电子器件的技术。为了可靠地制造上述产品，就必须要 对生产设备保持很严格的污染标准。为了控制生产过程中重要阶段的污染程度并将其最小化，经常采用“洁净室”。洁 净室是这样一种房间，其中，规定并控制了其中的空气过滤、空气分布、公用设施、建筑材 料、设备和操作过程，用以控制空气中粒子的浓度，使其满足适当空气中粒子清洁度等级。粒子计数器是一种用于检测晶圆封装环境中粒子数的工具，一个粒子计数器的重 量约为50kg，而且用于装载粒子计数器的手推车的重量也大概有20kg，还包括重量约为 IOOkg的可充电电源(uninterruptible power system，UPS)，加上其他装置，最终的总重量 可能会达到250kg左右。同时，随着晶圆尺寸从8寸增加到12寸，其相关配套装置例如是 晶圆盒、晶圆推车等的尺寸和重量也在不断增加，操作人员每天推着如此重量的相关装置 在晶圆封装洁净室内检测或者搬运需要消耗大量体力，随着越来越多的芯片制造商往亚洲 转移，而多数作业人员为女性，应用于半导体工艺中洁净室内这些装置的重量问题变得更 为明显。
实用新型内容本实用新型提出一种半导体工艺中洁净室用推车，其使用电力驱动推车，减轻了 作业员的劳动强度并且提高了作业效率。为了达到上述目的，本实用新型提出一种半导体工艺中洁净室用推车，包括电机、 电源、主动轮和可调控开关，所述电机和电源电性连接，所述主动轮通过传动装置连接于所 述电机，所述可调控开关电性连接所述电机和电源。可选的，其中所述电源为可充电电源。可选的，其中所述主动轮设置于所述推车前进方向的前侧或者后侧。可选的，其中所述传动装置为传动链条、传动皮带或者齿轮。可选的，所述推车具有手柄，其中所述可调控开关设置于所述推车的手柄上。可选的，其中所述可调控开关具有多个选档连接于所述电源和电机之间。本实用新型提出一种半导体工艺中洁净室用推车，采用可充电电源和电机的配 合，通过传动装置驱动推车的主动轮，从而驱动推车前进，减轻了作业员的劳动强度并且提 高了作业效率。该半导体工艺中洁净室用推车还包括具有多个选档的可调控开关，可以调 节控制推车的前进速度，使得其操作更加灵活方便。
图1所示为本实用新型第一较佳实施例的结构示意图。图2所示为本实用新型第二较佳实施例的结构示意图。
具体实施方式
为了更了解本实用新型的技术内容，特举具体实施例并配合所附图说明如下。本实用新型提出一种半导体工艺中洁净室用推车，其使用电力驱动推车，减轻了 作业员的劳动强度并且提高了作业效率。请参考图1，图1所示为本实用新型第一较佳实施例的结构示意图。本实用新型提 出一种半导体工艺中洁净室用推车100，包括车身主体，所述车身主体设置有电机110、电 源120、主动轮130和可调控开关140，所述电机110和电源120电性连接，所述主动轮130 通过传动装置131连接于所述电机110，所述可调控开关140电性连接所述电机110和电源 120。本实施例的主动轮130设置于所述推车100前进方向的后侧。电机110可以驱动推 车100节省人力；传动装置131把电机110的动力传递给推车100的主动轮130，所述传动 装置131可为传动链条、传动皮带或者齿轮；可调控开关140可以调节和控制电源120和电 机110的输出功率以调节推车100的速度。其中，可调控开关140上面有几个选档并接线 在电源120和电机110之间，并且安装在推车手柄150上方便控制。在本实用新型较佳实施例中，假设推车100在封装室里面做勻速运动且最大速度 为lm/s最小速度为0. 5m/s，推车100的总重量约为250kg，根据上述定量关系，摩擦力=推 力=0. 4*2500 = 1000N，其中推车100和地板的摩擦系数为0. 4。根据能量守恒定律电源 的输出功率(Wp)=推车的动量(Fv) +额外功率(We)，其中500 < Fv < 1000W,因此所述电 源120的输出功率为1. 5 2kw (假设额外功率为1000W)。所述电源120可为可充电电源， 可充电点源可以反复使用并为推车100提供能量而且不会污染封装室里面的环境。再请参考图2，图2所示为本实用新型第二较佳实施例的结构示意图。本实施例 中，所述主动轮230设置于所述推车200前进方向的前侧，其他结构与第一较佳实施例相 同，因此这里不再重复叙述。本实用新型提出一种半导体工艺中洁净室用推车，采用可充电电源和电机的配 合，通过传动装置驱动推车的主动轮，从而驱动推车前进，减轻了作业员的劳动强度并且提 高了作业效率。该半导体工艺中洁净室用推车还包括具有多个选档的可调控开关，可以调 节控制推车的前进速度，使得其操作更加灵活方便。本实用新型提出的半导体工艺中洁净 室用推车，可用于装载粒子计数器或者晶圆盒等装置，便于进行检测或者搬运。虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型。本实 用新型所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各 种的更动与润饰。因此，本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
权利要求一种半导体工艺中洁净室用推车，包括车身主体，其特征在于，所述车身主体设置有电机、电源、主动轮和可调控开关，所述电机和电源电性连接，所述主动轮通过传动装置连接于所述电机，所述可调控开关电性连接所述电机和电源。
2.根据权利要求1所述的半导体工艺中洁净室用推车，其特征在于，所述电源为可充电电源 O
3.根据权利要求1所述的半导体工艺中洁净室用推车，其特征在于，所述主动轮设置 于所述推车主体前进方向的前侧或者后侧。
4.根据权利要求1所述的半导体工艺中洁净室用推车，其特征在于，所述传动装置为 传动链条、传动皮带或者齿轮。
5.根据权利要求1所述的半导体工艺中洁净室用推车，其特征在于，所述推车具有手 柄，其中所述可调控开关设置于所述推车的手柄上。
6.根据权利要求1所述的半导体工艺中洁净室用推车，其特征在于，所述可调控开关 具有多个选档连接于所述电源和电机之间。
专利摘要本实用新型提出一种半导体工艺中洁净室用推车，包括车身主体，所述车身主体设置有电机、电源、主动轮和可调控开关，所述电机和电源电性连接，所述主动轮通过传动装置连接于所述电机，所述可调控开关电性连接所述电机和电源。本实用新型提出的半导体工艺中洁净室用推车，其使用电力驱动推车，减轻了作业员的劳动强度并且提高了作业效率。
文档编号B62B3/00GK201677904SQ20102018075
公开日2010年12月22日 申请日期2010年4月29日 优先权日2010年4月29日
发明者吴静銮, 张士仁, 张子军, 方明海, 欧玉兰 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;武汉新芯集成电路制造有限公司