技术编号：4165434
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种晶片盒底盘锁固装置，尤指一种储置、密封晶片以供搬运、贮存的晶片盒中用来将盒罩与底盘紧密锁固的一种锁固装置。在晶片(Wafer)的生产过程中，为了使晶片在贮存或搬运的过程中，不致受到因外界气体的质子的流动所造成的影响及污染，因此皆采用一种完全密封的晶片盒来存放晶片。习用的晶片盒如美国专利NO.4,995,430中所揭示的，主要包括一盒罩及一底盖，藉由一设于底盖的锁固装置将盒罩与底盖紧密锁固在一起，而达到密封、固定晶片的目的。此种习用的锁固装...
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