专利名称：晶片盒底盘锁固装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种晶片盒底盘锁固装置，尤指一种储置、密封晶片以供搬运、贮存的晶片盒中用来将盒罩与底盘紧密锁固的一种锁固装置。
在晶片(Wafer)的生产过程中，为了使晶片在贮存或搬运的过程中，不致受到因外界气体的质子的流动所造成的影响及污染，因此皆采用一种完全密封的晶片盒来存放晶片。
习用的晶片盒如美国专利NO.4,995,430中所揭示的，主要包括一盒罩及一底盖，藉由一设于底盖的锁固装置将盒罩与底盖紧密锁固在一起，而达到密封、固定晶片的目的。此种习用的锁固装置，其锁固的过程是藉由转动一凸轮装置来推动一闩锁板作线性的移动，使闩锁板的前端突伸出底盖的边缘外侧，并卡伸入一设于盒罩上相对应位置的凹口后，藉由继续转动凸轮装置，使凸轮装置下方所设的倾斜竖板能将闩锁板的后端略微提高，产生一类似杠杆的作用，使闩锁板的前端略微下压，而能将盒罩紧密结合于底盖上。然而，此种类似杠杆原理的扣压动作，若是凸轮装置未具有适当的防逆转定位装置，或是凸轮装置并未被旋转到一定位时(例如，只旋转到预定转动角度的一半量)，则晶片盒在提起、搬运的动作中，常易因震动或是因闩锁板前端受到盒罩凹口上提的拉力，而在闩锁板尾端因杠杆原理产生一下压力压迫该竖板的斜面，并促使凸轮装置发生逆转现象，导致闩锁板前端因此被凸轮装置拉回底盖中而造成盒罩的松脱。此外，于美国专利NO.4,995,430中所公开的凸轮装置包含了导槽、栓、倾斜竖板、滚轮、弹簧等多项元件，其结构的复杂化亦造成制造成本的相对增加。
本实用新型的目的，在于提供一种晶片盒底盘锁固装置，可紧密锁固晶片盒的盒罩于底盘上，即使锁固装置的凸轮装置未被旋转至定位，该锁固装置依然能提供一可靠的结合作用，且不会产生凸轮装置逆转的现象。并且，该凸轮装置的结构简单，搭配元件的数量较少且易于生产，而具有成本较为低廉的优点。
本实用新型的技术方案在于提供一种晶片盒底盘锁固装置，可紧密锁固晶片盒的盒罩于底盘上，该锁固装置设置于底盘上，其包括有一U型闩锁板及一凸轮装置。于该U型闩锁板的两前端部分各设有一板爪装置，该板爪装置包括有一呈一“7”型结构的钩块，于该钩块的近中央部分枢接于闩锁板前端，且钩块的底端则枢设于底盘边缘。该凸轮装置包括一凸轮及一连杆。该连杆的一端固接于该闩锁板的中央部分，且连杆的另一端以一可配合该凸轮外形轮廓移动的方式连结该凸轮。藉由转动该凸轮，可带动闩锁板作直线移动于一第一位置及一第二位置之间。当闩锁板位于该第一位置时，该闩锁板及钩块的前端内缩于底盘边缘内侧，使盒罩与底盘可被分离。当闩锁板位于该第二位置时，闩锁板的前端突出于底盘边缘外侧而卡入该位于盒罩下端内缘的凹口中，且同时推动该钩块使钩块的前端突伸出底盘边缘外侧并钩扣住盒罩下端的另一凹口，而可将盒罩与底盘紧密扣合，即使锁固装置的凸轮装置未被旋转至定位，也不会产生凸轮装置逆转的现象。
附图简要说明
图1为本实用新型设置于一晶片盒的概略示意图。
图2为本实用新型的锁固装置10当闩锁板20处于第二位置时的平面示意图。
图3为本实用新型的锁固装置10当闩锁板20处于第一位置时的平面示意图。
图4为本实用新型的凸轮装置40的局部放大剖面视图。
图5为本实用新型的板爪装置30部分的局部放大视图。
图6为本实用新型的板爪装置30的钩块32的动作示意图。
图7为本实用新型的凸轮装置40a的另一实施例的局部放大视图。
请参阅
图1，为本实用新型的晶片盒底盘锁固装置10设置于一晶片盒1上的概略示意图。该晶片盒1主要包括一盒罩2及一底盘3，于底盘3上承放有多个晶片4的晶舟，于盒罩2的下端内缘与底盘3边缘接触的部分设有多个凹口6以供底盘锁固装置10的扣合，藉由盒罩2与底盘3的紧密盖合并压迫一密封垫片5，以达到完全密封、防止外界空气进入的目的。
请参阅图2，该锁固装置10设置于底盘3上，其包括有一闩锁板20及一凸轮装置40。该闩锁板20大致上呈一U型结构，于闩锁板20的两旁侧各设有一导轨22，以导引闩锁板20作直线平移运动，于该U型闩锁板20的两前端部分各设有一板爪装置30。如图5所示，并参照图2，该板爪装置30包括有一钩块32、一凸块31、一第一枢轴33、及一第二枢轴34。该钩块32呈一“7”型结构，钩块32的前端321突出于闩锁板20的前端一适当长度。于该钩块32的近中央部分藉由该第二枢轴34枢接于闩锁板20前端，且钩块32的底端则藉由该第一枢轴33枢设于底盘3边缘，并且该凸块31突出于闩锁板20的最前端而大致与钩块32的前端321齐平。
请参阅图2及图4，该凸轮装置40包括有一凸轮41、一弧形导槽412、一滚轮421、一栓422、及一连杆42。该弧形导槽412设于该凸轮41上且配合对应凸轮41的外形轮廓而延伸，使导槽412各部分与对应凸轮41外形轮廓间的距离始终保持定值。该栓422设于该连杆42的一端且以一可相互滑动的方式啮合于该导槽412中。该滚轮421枢设于连杆42的一适当位置使滚轮421的滚动面恰接触于该凸轮41的外形轮廓上。所以，连杆42的一端藉由该栓422及滚轮421分别与导槽412及凸轮41外形轮廓的相互配合，而形成一可配合该凸轮41外形轮廓作相对移动的方式连结于该凸轮41的结构，并且，连杆42的另一端固接于该闩锁板20的中央部分。藉由这种结构，当以一轴心411为轴转动该凸轮41时，该栓422及滚轮421将分别配合导槽412及凸轮41外形轮廓作相对的滑动及滚动动作，使连杆42及固接于连杆42一端的该闩锁板20被带动而可沿着连杆42延伸的方向(即，导轨22的方向)作直线移动。此外，于该凸轮41上可设置有多个定位块413及多个定位凸点414，以作为转动凸轮41时的定位及防逆转的结构。
请参阅图2及图3，并参照图6，当转动该凸轮41时，可带动闩锁板20作直线移动于一第一位置(如图3所示的闩锁板20的位置)及一第二位置(如图2所示的闩锁板20的位置)之间。当闩锁板20位于该第一位置时，该闩锁板20及钩块32的前端321内缩于底盘3边缘内，使盒罩2与底盘3可被分离。当转动该凸轮41而推动闩锁板20直线移动至该第二位置时，闩锁板20的前端凸块31突出于底盘3边缘外侧，而恰卡入该位于盒罩2下端内缘的一对应的凹口中。同时，如图6所示，该钩块32将因闩锁板20的前进而被推动，使钩块32以第一枢轴33为轴而枢转，使钩块32的前端321突伸出底盘3边缘外侧并钩扣住盒罩2下端的另一与其对应的凹口。由于钩块32的前端321在突伸钩扣入凹口的过程中具有一“向下扣压”效果，因此可将盒罩2与底盘3紧密扣合，而达到确实紧扣、气密的效果。且亦由于本实用新型的锁固装置10是以该板爪装置30来扣压凹口，因此，即使本实用新型的凸轮41未被转至定点，不仅锁固装置10完全不会发生凸轮41逆转的现象，且闩锁板20的前端凸块31亦依然能卡固盒罩2不会松脱，而可完全避免如使用美国专利NO.4,995,430中所公开的运用杠杆原理，在进行扣压动作时，其凸轮装置在未被旋转到一定位时，容易发生逆转现象，而导致盒罩松脱。此外，该凸轮装置的整体结构和习用技术相比更为简单，搭配元件的数量较少且易于生产，而兼具有成本较为低廉的优点。
于该凸轮41上还可设置有该多个定位块413及多个定位凸点414。当转动凸轮41驱动闩锁板20移动至该第一位置时，该连杆42的一侧边将恰抵顶住一定位块413；当转动凸轮41驱动闩锁板20移动至该第二位置时，连杆42的另一侧边恰抵顶住另一定位块413，而可以避免凸轮41被过度转动。并且，当滚轮421配合凸轮41外形轮廓相对滚动时，滚轮421在滚经该定位凸点414的位置时将会受到些许阻力，可让使用者了解凸轮41是否已被旋转至定位，且该定位凸点414亦同时兼具定位滚轮421位置使其不会发生逆转的功效。
以下所述本实用新型的其他较佳实施例中，如果述及元件的结构或功能类似于前述元件，皆使用相同的标号及名称。
请参阅图7，本实用新型的凸轮装置40a的另一实施例。其中，该弧形导槽412a可不必环绕凸轮41a一整圈，而是具有一适当长度(例如，凸轮41a圆周的四分之一圈)，因此，当凸轮41a旋转至定点(例如，该第一位置或第二位置)时，该栓422将会受制于该弧形导槽412a的尽头而不会被过度旋转。并且，该滚轮421a可枢设于连杆42的一适当长度的槽424中而可适量地在该槽424中滑动，藉由一弹簧423扣接于该滚轮412a的轴及栓422之间，提供一拉扯弹力使滚轮421a可趋靠接触于凸轮41a的外形轮廓上，而可对凸轮41a与滚轮421间的配合更为顺畅。
综上所述，本实用新型的晶片盒底盘锁固装置藉由闩锁板前端的凸块及板爪装置来扣压盒罩的凹口，因此，即使本实用新型的凸轮未被旋转至定点，该锁固装置依然能提供一可靠的结合作用，不会产生凸轮装置逆转的现象。并且，该凸轮装置的结构简单，搭配元件的数量较少且易于生产，而兼具有成本较为低廉的优点。
权利要求1．一种晶片盒底盘锁固装置，设置于晶片盒底盘上，其特征在于，它包括有一闩锁板，于该闩锁板的前端部分设有至少一个板爪装置，该板爪装置包括有一钩块，该钩块的近中央部分枢接于闩锁板前端，且钩块的底端枢设于底盘边缘；及一凸轮装置，包括有一凸轮及一连杆，该连杆的一端固接于该闩锁板的中央部分，且连杆的另一端以一可配合该凸轮外形轮廓移动的方式连结该凸轮；藉由转动该凸轮，可带动闩锁板作直线移动于一第一位置及一第二位置之间，当闩锁板位于该第一位置时，该闩锁板及钩块的前端内缩于底盘边缘内侧；当闩锁板位于该第二位置时，闩锁板的前端及钩块的前端突伸出于底盘边缘外侧。
2．如权利要求1所述的晶片盒底盘锁固装置，其特征在于，于底盘上闩锁板的两旁侧各设有一用以导引闩锁板作直线平移运动的导轨。
3．如权利要求1所述的晶片盒底盘锁固装置，其特征在于，该晶片盒还包括有一设有多个凹口的盒罩，该闩锁板呈一U型结构，并于该U型闩锁板的两前端各设有一突出的凸块，该凸块突伸出的长度恰在闩锁板位于第二位置卡扣入盒罩的凹口中。
4．如权利要求1所述的晶片盒底盘锁固装置，其特征在于，该凸轮装置还包括有一弧形导槽、一滚轮及一栓，该弧形导槽设于该凸轮上且配合对应凸轮的外形轮廓延伸，使导槽各部分与对应凸轮外形轮廓间的距离始终保持定值，该栓设于该连杆的一端且以一可相互滑动的方式啮合于该导槽中，该滚轮枢设于连杆的一适当位置使滚轮的滚动面恰接触于该凸轮的外形轮廓上，藉由这种结构，当凸轮转动时，该栓及滚轮将分别配合导槽及凸轮外形轮廓作相对的滑动及滚动动作，使连杆及固接于连杆一端的该闩锁板被带动而沿着连杆延伸的方向作直线移动。
5．如权利要求4所述的晶片盒底盘锁固装置，其特征在于，于该凸轮上设置有多个定位块；当转动凸轮驱动闩锁板移动至该第一位置时，该连杆的一侧边恰抵顶住一定位块以避免过度转动；当转动凸轮驱动闩锁板移动至该第二位置时，连杆的另一侧边恰抵顶住另一定位块。
6．如权利要求4所述的晶片盒底盘锁固装置，其特征在于，于该凸轮外形轮廓面上设有多个定位凸点；当滚轮配合凸轮外形轮廓相对滚动时，滚轮在滚经该定位凸点的位置时将会受到些许阻力，可让使用者了解凸轮是否已被旋转至定位，且该定位凸点可定位滚轮位置使其不会发生逆转。
7．如权利要求4所述的晶片盒底盘锁固装置，其特征在于，该弧形导槽具有两尽头；当凸轮旋转至第一位置时，该栓恰抵靠住一尽头，而当凸轮旋转至第二位置时，该栓恰可抵靠住另一尽头。
8．如权利要求4所述的晶片盒底盘锁固装置，其特征在于，于该连杆上还设有一弹簧及一槽，该滚轮枢设于该槽中而适量地在该槽中滑动，该弹簧扣接于该滚轮的轴及栓之间，提供一拉扯弹力使滚轮可趋靠接触于凸轮的外形轮廓上。
专利摘要晶片盒底盘锁固装置,包括:U型闩锁板及凸轮装置。于U型闩锁板的两前端部分各设有一板爪装置,该板爪装置包括呈“7”型结构的钩块,其中央部分枢接于闩锁板前端,底端则枢设于底盘边缘。凸轮装置包括凸轮及连杆。连杆的一端固接于闩锁板的中间部分,连杆的另一端以可配合凸轮外形轮廓移动的方式连结凸轮。转动凸轮,可带动闩锁板作直线移动,使闩锁板及钩块的前端突伸并卡扣入盒罩的凹口中,将盒罩与底盘紧密扣合,防止凸轮装置逆转。
文档编号B65D55/02GK2308571SQ9722074
公开日1999年2月24日 申请日期1997年8月4日 优先权日1997年8月4日
发明者范宏光, 李志中, 黄国洲 申请人:财团法人工业技术研究院