技术编号：4187808
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种平面显示器用基板输送装置，尤其涉及一种能够适用于平面显示器基板制造工序的显影工序，且通过使基板显影装置的安装空间最小化而获得最高的空间利用率并能够有效地排出处理室内部气体的平板显示器用基板输送装置。背景技术 平面显示装置的制造工序中，在玻璃基板上形成电路图案的过程，一般包括基板清洗工序、在已清洗的基板表面涂敷感光性树脂而形成感光膜的工序、通过预定图案曝光所述感光膜而进行显影(developing)的工序。上述显示装置的制造工序中，显影工序利用...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。