专利名称：平面显示器用基板输送装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种平面显示器用基板输送装置，尤其涉及一种能够适用于平面显示器基板制造工序的显影工序，且通过使基板显影装置的安装空间最小化而获得最高的空间利用率并能够有效地排出处理室内部气体的平板显示器用基板输送装置。
背景技术：
平面显示装置的制造工序中，在玻璃基板上形成电路图案的过程，一般包括基板清洗工序、在已清洗的基板表面涂敷感光性树脂而形成感光膜的工序、通过预定图案曝光所述感光膜而进行显影(developing)的工序。
上述显示装置的制造工序中，显影工序利用一般的显影液供给装置对基板涂敷显影液。即，该工序可通过使基板经由盛装有显影液的腔室，或者通过喷射装置向基板喷射显影液的方式来完成。上述显影工序需经过一段时间才能完成基板的显影，之后通过辊轮等输送装置向清洗装置输送基板。
这种以往的显影装置，为了完成显影，需等待一段时间，因此显影工序所消耗的时间较长。另外，以往的显影装置具备排气装置，而在基板的显影过程中由处理室内显影液所产生的气体，由于其聚集在特定空间，可能会导致基板的不良并损伤由PVC等材料制成的处理室。
发明内容
本发明鉴于上述问题而作，其目的在于提供一种平面显示器用基板输送装置。该装置能够减少基板显影工序的处理时间，且可通过使显影装置的安装空间最小化来减少基板制造费用。本发明还在显影过程中，可在使处理室内部的气体环境维持均匀的状态下迅速排出气体，从而保护处理室，减少不良基板，进而提高产量。
为了达到上述目的，本发明提供一种平板显示器用基板输送装置，其包括多个处理室，其提供用于处理基板的空间，且以上下方向予以配置；多个输送装置，其设置于上述多个处理室内部，用于输送基板；以及驱动装置，其沿上下方向移动所述处理室。所述处理室内设有内部空间相通的多个中空支架，所述多个支架相互连接并形成一骨架。所述支架上设有多个孔，并结合有用于排出处理室内部空间气体的排气装置。
所述处理室最好用于显影工序。
所述孔最好以规定间隔设置在所述支架上。
本发明可通过上下移动的多个腔室，缩短基板显影工序所需时间，提高生产效率，同时还能在处理室内各部分气体保持均匀的状态下将其排出，因此可防止由PVC材料制成的处理室变形，减少不良基板的产生，从而提高产量。
图1是本发明实施例装置的结构示意图。
图2是用于说明本发明实施例装置作用的结构示意图。
图3是图1中处理室结构示意图，其用于具体说明本发明实施例。
图4是用于说明本发明实施例装置的结构及作用的结构示意图。
具体实施例方式
下面，参照附图详细说明本发明的优选实施例。
图1是用于说明本发明实施例的整体结构图，其显示的是平板显示器用基板输送装置。平板显示器用基板输送装置，可包括供给部1，其用于供给基板G；第一处理室3和第二处理室5，其用于接收来自供给部1的基板G，并进行显影工序；输出部7，其用于输出第一处理室3、第二处理室5内的基板G。
本发明实施例中，在供给部1和处理室之间，可增设具有用于显影基板的显影液喷射装置的另一处理室。即，虽然本发明实施例以在显影过程中暂时保管基板G的处理室的结构为主进行了说明，但本发明并不限于此，可采用在所述第一处理室3、第二处理室5中均设置显影装置以实施显影工序的结构，也可以采用将已进行预处理的显影用基板G输入到上述处理室内部的结构。
所述第一处理室3、第二处理室5，以上下方向予以配置，且具有用于输入及输出基板的第一输入口3a、第二输入口5a及第一输出口3b、第二输出口5b。这些输入口及输出口最好相互对置。
所述处理室内部分别设有用于输送基板G的输送装置9。输送装置9不仅可采用连续配置输送辊的一般的结构，而且只要是能够连续移动基板G并向处理室供给基板G的结构均可采用。
所述供给部1及输出部7中输送基板的结构，可采用与如前所述的设置在处理室内部的输送装置相同的结构。但是，供给部1及输出部7也可以采用如机械臂等其他装置来输送基板G的结构。
所述第一处理室3、第二处理室5上下配置，且可通过升降装置11升降。即第一处理室3、第二处理室5滑接于另行设置的底座13上，并可通过升降装置11升降。升降装置11可包括电机M和由驱动齿轮15、从动齿轮17、螺旋杆19等构成的动力传递部件，且所述升降装置11与用于支撑处理室的托架21相螺接，其用于升降处理室。本发明的升降装置并不限于上述说明，只要是能够升降处理室的结构均可采用。
处理室的内部设有多个支架31，其配置成格子状，形成一骨架。本发明中，第一处理室3及第二处理室5的结构相同，因此从方便起见，本发明中只举例说明第一处理室3的结构。设置在第一处理室3内部的多个支架31相互连接并形成一管路。即，支架31可由内部相通的中空四角管或者中空圆管构成。即，多个支架31的内部形成管道状空间且相互连接，且最好能够维持处理室3的形状。在所述支架31上以一定间距或以适当的间距设有多个孔31a(如图4所示)。而且支架31的一侧与排气装置33相连，因此能够向外排出处理室3内部的气体。排气装置33可采用以往用于排出处理室3内部气体的排气装置。另外，支架31的边缘部分结合有构成处理室3的箱体，而这种箱体可由耐化学性优异的PVC材料制成。
下面，参照图1、图2及图4详细说明本发明实施例所涉及的平面显示器用基板输送装置的工作过程。
图1显示将已经过显影液处理的基板G供给到配置在上侧的第一处理室3，图2显示将已经过显影液处理的基板G供给到配置在下侧的第二处理室5。首先，涂敷有显影液的基板G通过供给部1输送到配置在上侧的第一处理室3后，经过一段时间的显影过程。即，基板G通过供给部1的输送装置移动到配置在上侧的第一处理室3的第一输入口3a后，暂存在第一处理室3中。之后通过升降装置11的动作，提升第一处理室3及第二处理室5。这样位于下侧的第二处理室5就会移动到供给部1所供给的基板G的接收位置上。接着，另一个基板G通过供给部1输送到位于下侧的第二处理室5中。当然，该基板G也可以通过涂敷有显影液的状态输入(如图2所示)。在这种状态下，所述第一处理室3内的基板G，在向位于下侧的第二处理室5输送另一个基板G的过程，和通过升降装置11，所述第一处理室3下降的过程中完成显影处理，并由输出部7输出。其输送过程如下通过设在所述第一处理室3的输送装置9输送基板G，并通过输出部7的输送装置9将基板G输送至清洗装置(未图示)等，以进行后续工序。上述过程中，由于显影液等化学物质，在处理室内形成气体环境，此时有必要均匀且迅速地排出该气体。此时，若驱动排气装置33，支架31内部空间则产生负压，处理室3内的气体则通过支架31上的多个孔31a可获得均匀且迅速的排出。由此能够在化学气体中保护由PVC等材料制成的处理室3的箱体，而且由于通过支架31上的孔31a均匀地排出处理室3内的气体，气体对基板G的作用也就变得均匀，从而能够减少对基板的不良影响。即，处理室内的气体不会聚集在特定空间，而以均匀分散的装态被排出，因此能够防止对基板的不良影响，从而提高产量。
接着，所述第一处理室3通过如上方法再次由供给部1引进需要显影的另一个基板G。本发明如此反复进行上述过程而完成基板的显影。本发明在基板显影过程中可充分保障显影所需时间的同时，还可以实现显影装置安装空间的最小化，而且能够均匀且迅速地排出处理室内的气体，因此能够防止基板的特定部分和化学气体集中进行反应，从而防止不良基板的产生并提高产量。
权利要求
1.一种平面显示器用基板输送装置，其特征在于，包括多个处理室，其提供用于处理基板的空间，且以上下方向予以配置；多个输送装置，其配置在所述多个处理室的内部，且用于输送基板；以及驱动装置，其沿上下方向移动所述处理室；其中，所述处理室内设有内部相通的多个中空支架，所述多个支架相互连接并形成一骨架；所述支架上设有多个孔；在所述支架上结合有用于排出处理室内部气体的排气装置。
2.根据权利要求1所述的平面显示器用基板输送装置，其特征在于所述处理室的两侧设有相对置、并用于输入及输出基板的输入口及输出口。
3.根据权利要求1所述的平面显示器用基板输送装置，其特征在于所述多个孔以规定间隔布设在支架上。
全文摘要
本发明涉及一种平板显示器用基板输送装置，其适用于平面显示器基板制造工序的显影工序，且通过使基板显影装置的安装空间最小化来获得最大的空间利用率并能够有效地排出处理室内部气体。所述处理室内设有内部相通的多个支架，所述多个支架相互连接并形成一骨架，所述支架上设有多个孔，并结合有用于排出处理室内气体的排气装置。
文档编号B65G49/05GK101038390SQ20071008821
公开日2007年9月19日 申请日期2007年3月15日 优先权日2006年3月15日
发明者吴相泽, 李宰一 申请人:显示器生产服务株式会社