薄件清洗后的干燥装置及其滚动传送机构的制作方法技术资料下载

技术编号:4195217

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本实用新型涉及一种干燥装置,且特别是关于一种薄件清洗后的干燥装置及其滚动传送机构。背景技术薄型玻璃应用于各种各样的产品,尤其是作为玻璃基板在电子显示装置领域中得到广泛的应用。在制造过程中,玻璃基板在关键制程(如蚀刻、镀膜等)前,都需要进行彻底的清洗,但在清洗后玻璃基板表面通常会附有水珠,因此还需要对玻璃基板进行干燥。图1是现有的玻璃基板清洗后的干燥装置的示意图。请参照图1,目前市面上较为常见的玻璃基板清洗后的干燥装置I'包括传送机构10'和风干机构20'。...
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