技术编号：4211565
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种设置有在使玻璃基板从对玻璃基板进行处理的多个处理装置中通过的状态下输送所说玻璃基板的输送装置的玻璃基板用输送设备。背景技术 如上所述的玻璃基板用输送设备中，包括清洗装置、成膜装置、曝光装置、蚀刻装置等处理装置。通过向这些处理装置中输送玻璃基板而对玻璃基板进行所需要的处理，并将该处理装置处理完了的玻璃基板向下一个处理装置输送。过去，这种玻璃基板用输送设备是这样构成的，即，各处理装置在输送装置的输送方向上隔开间隔设置，输送装置将玻璃基板以排成一列...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。