专利名称：玻璃基板用输送设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种设置有在使玻璃基板从对玻璃基板进行处理的多个处理装置中通过的状态下输送所说玻璃基板的输送装置的玻璃基板用输送设备。
背景技术：
如上所述的玻璃基板用输送设备中，包括清洗装置、成膜装置、曝光装置、蚀刻装置等处理装置。通过向这些处理装置中输送玻璃基板而对玻璃基板进行所需要的处理，并将该处理装置处理完了的玻璃基板向下一个处理装置输送。
过去，这种玻璃基板用输送设备是这样构成的，即，各处理装置在输送装置的输送方向上隔开间隔设置，输送装置将玻璃基板以排成一列的状态进行输送。在输送装置的输送路径上设置有可存放玻璃基板的存放架(例如可参照特开2002-308422号公报)。
但是，上述现有的玻璃基板用输送设备中，其存放架是设置在输送装置的输送路径上的，因此，虽然处理装置发生故障时能够将玻璃基板存放在存放架中，但是输送装置发生故障时，则无法通过输送装置将玻璃基板输送到存放架中。
而且，在输送装置发生故障时，如果各处理装置处理完了的玻璃基板不从该处理装置中退出，将无法对玻璃基板进行适当的处理，有导致玻璃基板成为废品的可能性。
发明内容
本发明是着眼于这一问题而提出的，其目的是提供一种能够在可靠地进行玻璃基板的存放的状态下进行玻璃基板的输送的玻璃基板用输送设备。
为实现上述目的，根据技术方案1的特征，本发明所提供的玻璃基板用输送设备是一种设置有在使玻璃基板从对玻璃基板进行处理的多个处理装置中通过的状态下输送所说玻璃基板的输送装置的玻璃基板用输送设备，设置有在所说输送装置与所说处理装置之间进行所说玻璃基板的移载的移载装置，以及能够在所说输送装置与所说处理装置之间存放所说玻璃基板的存放架，所说移载装置以能够在所说输送装置与所说存放架之间以及所说处理装置与所说存放架之间进行所说玻璃基板的移载的方式构成，所说移载装置和所说存放架相对所说多个处理装置之中的某几个处理装置的每一个至少各设置有一个。
即，移载装置可在输送装置与处理装置之间进行玻璃基板的移载，因此，能够将输送装置输送来的玻璃基板通过移载装置向处理装置供给，或者将处理装置处理完了的玻璃基板通过移载装置向输送装置回送。
此外，移载装置还能够在输送装置与存放架之间以及处理装置与存放架之间进行玻璃基板的移载，因此，能够将向输送装置供给的玻璃基板通过移载装置送入存放架中进行存放，或者将处理装置处理完了的玻璃基板通过移载装置送入存放架进行存放。
并且，移载装置与存放架相对多个处理装置之中的某几个处理装置的每一个至少各设置有一个，因此，当如上所述设置有移载装置和存放架的处理装置发生故障时，能够将向该处理装置供给的玻璃基板放入与该处理装置相对应地设置的存放架中进行存放，即便是输送装置发生故障，也能够将处理装置处理完了的玻璃基板放入与该处理装置相对应地设置的存放架中进行存放。
因此，就具有存放架的处理装置而言，在任一装置发生故障时，均能够将玻璃基板存放在存放架中，能够防止玻璃基板成为废品等所不希望的情况发生。
就具有存放架的处理装置而言，在所供给的玻璃基板的片数多于处理装置所能够处理的片数、以及向输送装置回送的玻璃基板的片数较多等场合，存放架还能够用来在输送装置与各处理装置之间临时进行存放。
因此，不仅在处理装置发生故障和输送装置发生故障等某一装置发生故障的场合，就是在输送装置与各处理装置之间临时进行存放的场合，也能够将玻璃基板存放在存放架中，因此，能够提供一种能够在可靠地进行玻璃基板的存放的状态下进行玻璃基板的输送的玻璃基板用输送设备。
根据技术方案2的特征，所说移载装置在可上下移动的台板上具有承载部，所述承载部可在承载有所说玻璃基板的状态下围绕垂直轴心回旋且能够相对于所说台板进行进退移动，所说台板支承在所说存放架的框架上。
即，通过台板的上下移动以及承载部的回旋移动和进退移动，移载装置可进行玻璃基板的移载，因此，作为移载装置，只要具有台板以及设置在该台板上的承载部即可，有利于减小移载装置的安装空间。
而且，由于以存放架的框架对移载装置的台板进行支承，因此，存放架的框架兼作对移载装置的台板进行支承的部件，不仅能够进一步减小移载装置的安装空间，而且还能够降低成本。
根据技术方案3的特征，所说移载装置这样构成，即，在使所说台板位于上下方向上的下限位置且使所说承载部退居后的状态下，使所说台板和所说承载部从该承载部的进退方向指向所说存放架这一基本位置起开始移动。
即，作为移载装置，由于台板和承载部从基本位置起开始移动，因此能够在输送装置与处理装置之间、输送装置与存放架之间、以及处理装置与存放架之间进行玻璃基板的移载，当该玻璃基板的移载结束时，台板和承载部回到基本位置。
并且，处于基本位置时，在台板位于上下方向上的下限位置、且承载部退居后的状态下，其进退方向指向存放架，因此，台板和承载部不会与其它部件产生干涉，而且能够很容易确认台板和承载部是否位于基本位置。
根据技术方案4的特征，所说存放架具有清洁空气吹送机构，所述清洁空气吹送机构朝向被存放的所说玻璃基板，经除尘过滤器吹送清洁空气，所说清洁空气吹送机构这样设置，即，使得清洁空气的吹送方向为在吹到被存放在所说存放架中的所说玻璃基板上之后、吹到所说移载装置的所说承载部上所承载的所说玻璃基板上。
即，清洁空气吹送机构可使得从除尘过滤器中通过的清洁空气首先吹到被存放在存放架内的玻璃基板上，之后吹到移载装置的承载部所承载的玻璃基板上，因此，不仅可防止存放架所存放的玻璃基板上附着尘埃。还能够防止移载装置的承载部所承载的玻璃基板上附着尘埃。
因此，无论是存放在存放架内时还是由移载装置进行移载时，均能够防止玻璃基板上附着尘埃，可使玻璃基板用输送设备成为具有实用性的设备。
根据技术方案5的特征，使所说移载装置的所说台板上下移动的上下驱动部设置在避开所说清洁空气吹送机构的清洁空气吹送区域的位置上。
即，清洁空气吹送机构所吹送的清洁空气不会受到上下驱动部的阻碍，可在吹到被存放在存放架内的玻璃基板上之后，吹到移载装置的承载部所承载的玻璃基板上。
因此，能够切实向被存放在存放架内的玻璃基板、以及移载装置的承载部所承载的玻璃基板吹送清洁空气，因而能够切实防止玻璃基板上附着尘埃。
根据技术方案6的特征，所说移载装置具有向所说承载部所承载的所说玻璃基板吹风的送风机构。
即，由于承载部所承载的玻璃基板随着台板和承载部的移动而移动，因而要向承载部所承载的玻璃基板吹送清洁空气较为困难，但当移载装置具有送风机构时，该送风机构可将清洁空气向承载部所承载的玻璃基板吹送。
因此，即使对于承载部所承载的玻璃基板，也能够可靠地吹送清洁空气，能够更为可靠地防止承载部所承载的玻璃基板上附着尘埃。
根据技术方案7的特征，所说清洁空气吹送机构设置成从上方向所说承载部所承载的所说玻璃基板吹送清洁空气，所说移载装置具有挡风板在使所说台板上升移动时防止所说清洁空气吹送机构送来的清洁空气吹到所说承载部所承载的所说玻璃基板上。
即，由于清洁空气吹送机构能够从上方对承载部所承载的玻璃基板吹送清洁空气，因此，能够防止容易附着尘埃的玻璃基板的上表面附着尘埃。
此外，在台板上下移动时，承载部所承载的玻璃基板是顶着吹来的清洁空气进行移动的，因此玻璃基板要承受风力，特别是当玻璃基板较薄时，有可能导致玻璃基板破裂，但由于移载装置具有挡风板，因而在台板上下移动时，挡风板能够防止清洁空气吹到承载部所承载的玻璃基板上。
因此，能够防止玻璃基板承受风力，既能够防止玻璃基板上附着尘埃，又能够防止玻璃基板受损。
根据技术方案8的特征，所说处理装置能够对所说多片玻璃基板进行处理，所说存放架以可容纳的所说玻璃基板的片数大于所说处理装置所能够处理的片数的方式构成。
即，处理装置能够对多片玻璃基板进行处理，因此，可提高处理能力。
此外，存放架能够容纳多于处理装置所能够处理的片数的玻璃基板，能够将所有由处理装置进行处理的玻璃基板存放在存放架中，因此，不仅能够提高处理装置的处理能力，而且在处理装置发生故障时能够可靠地进行玻璃基板的存放。
根据技术方案9的特征，所说输送装置是以在上下方向上排列多层的状态设置的，所说移载装置能够在设置在不同层上的所说输送装置之间进行所说玻璃基板的移载。即，由于移载装置能够在设置在上下方向上的不同层上的输送装置之间进行玻璃基板的移载，因此，仅设置移载装置，便能够在输送装置与处理装置之间进行玻璃基板的移载，而且还能够在设置在上下方向上的不同层上的输送装置之间进行玻璃基板的转移。
因此，不必为了在设置在上下方向上的不同层上的输送装置之间进行玻璃基板的转移而设置转移装置，可降低成本并简化结构。
根据技术方案10的特征，所说移载装置这样构成，即，所说承载部以在上下方向上排列的状态设置有多个，并且，使这些多个承载部以同步状态进行进退移动。
即，移载装置使在上下方向上排列的状态设置的多个承载部以同步状态进行进退移动，因此，能够以多个承载部同时进行多个玻璃基板的移载，可提高以移载装置进行玻璃基板的移载的效率。
根据技术方案11的特征，所说台板具有所说多个承载部，所说多个承载部以同步状态进行上下移动。
即，移载装置使在上下方向上排列的状态设置的多个承载部以同步状态进行上下移动，因此，只需设置将多个承载部连接成能够成一体上下移动的、对连接成一体的所说多个承载部进行驱动的驱动部，便能够使多个承载部上下移动，可使结构得以简化。
根据技术方案12的特征，在所说输送装置的输送方向上的上游端部设置有将所说玻璃基板一片片移载到所说输送装置上的输入装置，在所说输送装置的输送方向上的下游端部设置有将所说输送装置送来的所说玻璃基板收放在所说能够容纳多个玻璃基板的存放装置中的输出装置。
即，输入装置能够从容纳有多个玻璃基板的存放装置中将玻璃基板一片片送出移载到输送装置上，输出装置能够将由输送装置成一列一片片送来的玻璃基板依次收放到存放装置中。
因此，就玻璃基板相对于输送装置的输入与输出而言，能够通过容纳有多个玻璃基板的存放装置进行，因此，与玻璃基板相对于输送装置一片一片地输入与输出相比，在相对于输送装置进行玻璃基板的输入与输出时对玻璃基板的操作要容易。
根据技术方案13的特征，所说移载装置与所说存放架相对所说多个处理装置的每一个至少各设置有一个。
因此，即使任一装置发生故障，也能够将玻璃基板存放到存放架中，可防止玻璃基板成为废品等不良现象的发生。
图1是玻璃基板用输送设备的立体图。
图2是玻璃基板用输送设备的俯视图。
图3是移载装置及存放架的俯视图。
图4是移载装置及存放架的俯视图。
图5是移载装置及存放架的俯视图。
图6是移载装置及存放架的纵向剖视图。
图7是对移载装置及存放架进行展示的立体图。
图8是玻璃基板用输送设备的控制框图。
图9是另一个实施方式的输送设备的立体图。
具体实施例方式
下面，对本发明玻璃基板用输送设备的实施方式结合附图进行说明。
如图1和图2所示，该玻璃基板用输送设备具有输送玻璃基板1的输送装置2；对玻璃基板1进行处理的处理装置3；对输送装置2及处理装置3的动作状态进行控制的管理装置H。
所说输送装置2是以在上下方向上排列两层的状态设置的。该分两层设置的各个输送装置2，是以使得玻璃基板1从多个处理装置3中经过的状态进行玻璃基板1的输送的。
虽未图示，但输送装置2是在朝向玻璃基板1吹送空气而以非接触状态对玻璃基板1进行支承使之保持水平姿态的情况下，对玻璃基板1向输送方向施加推进力而进行玻璃基板1的输送的。
此外，在输送装置2的输送方向上的上游端部设置有将玻璃基板1一片片移载到输送装置2上的输入装置16。在输送装置2的输送方向上的下游端部，设置有输出装置17，该输出装置17将输送装置2输送来的玻璃基板1收放在可容纳多个玻璃基板1的存放装置中。
更具体地说，虽未图示，输入装置16是从作为容纳有多个玻璃基板1的存放装置的基板盒中一片片取出玻璃基板1移载到输送装置2上的。而输出装置17将输送装置2以一列状态一片片输送来的玻璃基板1依次收放到作为存放装置的基板盒中。
作为上述处理装置3的例子，可列举出清洗装置、成膜装置、曝光装置、蚀刻装置。这些处理装置3按照对玻璃基板1进行处理的顺序，从输送装置2的输送方向的上游起依次隔开间隔设置。
上下两层的输送装置2中中每一个设置有在输送装置2与处理装置3之间进行玻璃基板1的移载的移载装置4、以及能够在输送装置2与处理装置3之间进行玻璃基板1的存放的存放架5。该移载装置4和存放架5相对多个的各个处理装置3的每一个至少各设置有一个。此外，移载装置4是以能够在输送装置2与存放架5之间以及处理装置3与存放架5之间进行玻璃基板1的移载的方式构成的。
如图2所示，所说移载装置4位于输送装置2与处理装置3之间。此外，物品存放架5其开口部朝向移载装置4并且是以玻璃基板1出入物品存放架5的方向平行于输送装置2的输送方向的状态相对各处理装置3设置一个。
如图3～图6所示，移载装置4在可上下移动的台板6上具有可围绕垂直轴心X1回旋的、并可相对于台板6进退移动的承载部7。该承载部7上放置玻璃基板1。
此外，台板6和承载部7以在上下方向上排列的状态设置有两个。如图3～图5所示，承载部7由隔开间隔的多个长条形叉爪构成。在本实施例中，由4个叉爪构成承载部7，以这些叉爪的上表面对玻璃基板1进行支承。
图3示出台板6和承载部7位于后述的基本位置时的状态。图4示出台板6和承载部7从输送装置2上铲取玻璃基板1时的状态。图5示出台板6和承载部7将玻璃基板1插入存放架5中时的状态。
如图5所示，使所说台板6上下移动的上下驱动部8得到构成存放架5的框架的两个侧部的支承，台板6得到存放架5的框架的支承。
如图6所示，所说上下驱动部8具有设置在上方和下方的一对链轮(sprocket)9、10、绕挂在它们上的链条11、以及平衡坠(counterweight)12等。上下一对的链轮9、10之中的一个为驱动链轮9，另一个为从动链轮10。
在上下方向上排列的两个台板6连接在通过连接在链条11上而得到支承的连接体23上，通过未图示的驱动马达等对驱动链轮9进行驱动，链条11在驱动链轮9和从动链轮10之间转动，从而使在上下方向上排列的两个台板6成一体上下移动。
此外，台板6具有两个承载部7，由于上下方向上排列的两个台板6以能够成一体上下移动的方式构成，因而使两个承载部7以同步状态上下移动。
下面，对使承载部7进行回旋移动和进退移动的结构进行说明，由于两个承载部7具有相同的结构，因而仅对其中之一进行说明。
在所说台板6上，在可围绕垂直轴心自由回旋的回旋台22上设置有对承载部7进行支承使之能够自由进退移动的连杆机构13，能够通过回旋台22和连杆机构13使承载部7进行回旋移动并且进行进退移动。
如图3～图5所示，所说连杆机构13由其根端连接在回旋台22上而能够围绕垂直轴心(X2)自由转动的一对操作连杆14，以及连接在操作连杆14的前端上而能够围绕垂直轴心(X3)自由转动并且连接在承载部7上而能够围绕垂直轴心自由转动的摇动连杆15构成。
并且，当通过未图示的电动马达驱动一对操作连杆14使之连动而围绕垂直轴心(X2)摇动时，使承载部7相对于台板6进行前进移动和后退移动。此时，操作连杆14在图3所示的位置与图5所示的位置之间移动。即，各操作连杆14可围绕各自的垂直轴心(X2)进行90度以上的摇动。因此，能够在所说台板6与物品存放架5的距离变得尽可小的同时，使承载部7移动到距存放架5足够远的位置上。因此，能够避免移载装置4在输送设备中占据很大的空间。
如上所述，承载部7是以通过未图示的电动马达使连杆机构13动作而能够相对于台板6进行前进移动和后退移动的方式构成，移载装置4是以通过使与在上下方向上排列的两个承载部7之中的设置在上方的承载部7相对应的马达、以及与设置在下方的承载部7相对应的马达以同步状态工作，使在上下方向上排列的两个承载部7以同步状态进退移动的方式构成。
此外，移载装置4是以在使台板6位于上下方向上的下限位置且使承载部7退居后的状态下，使台板6和承载部7从该承载部7的进退方向指向存放架5这一基本位置起开始移动的方式构成的。
更具体地说，是这样构成的，即，通过使台板6及承载部7从图3所示的基本位置起开始移动，可在输送装置2与处理装置3之间、在输送装置2与存放架5之间、以及在处理装置3与存放架5之间进行玻璃基板1的移载，当该玻璃基板1的移载结束时，使台板6及承载部7返回基本位置。如图3所示，若以移载装置4为中心，则输送装置2在图3中位于上方、即0°方向上，存放架5位于90°方向上，处理装置3位于180°的方向上。
所说基本位置是这样一个位置，即，如图3所示，台板6和承载部7不与其它部分产生干涉，并且能够很容易确认台板6及承载部7是否位于基本位置的位置。
附带说明，对于与在上下方向上排列的两个输送装置2之中的设置在上方的输送装置2相对应的移载装置4来说，台板6可向下方一直移动到设置在下方的输送装置2处，而上下方向上的下限位置是指相对于设置在上方的输送装置2而言的上下方向上的下限位置。
下面，列举从所说输送装置2上将玻璃基板1移载到存放架5中的例子进行说明。首先，移载装置4在使台板6从图3所示的基本位置上升后，使承载部7进行回旋移动并进行前进移动，从而如图4所示铲取输送装置2上的玻璃基板1。
从输送装置2上铲取玻璃基板1后，承载部7进行后退移动并进行回旋移动，在承载部7的进退方向指向存放架5的状态下，承载部7如图5所示进行前进移动，从而将玻璃基板1移载到存放架5中，当玻璃基板1向存放架5中的移载结束时，回到图3所示的基本位置上。
所说移载装置4能够如图7所示地在上下方向排列的两个输送装置2之间进行玻璃基板1的移载。即，与在上下方向上排列的两个输送装置2之中的设置在上方的输送装置2相对应地设置的移载装置4，使台板6在上下驱动部8的驱动下一直下降移动到设置在下方的输送装置2处，可将玻璃基板1移载到设置在下方的输送装置2上。同样地，对应于设置在下方的输送装置2设置的移载装置4使台板6能够在上下驱动部8的驱动下一直上升移动到设置在上方的输送装置2处，可将玻璃基板1移载到设置在上方的输送装置2上。
由于是以台板6能够在上下驱动部8的驱动下在上下方向上排列的两个输送装置2之间上下移动的方式构成的，因此，如图1所示，移载装置4、处理装置3、以及存放架5的设置部位设置成在输送装置2的输送方向上、在上下方向上排列的两个输送装置2之间位于不同的位置。
下面就所说存放架5进行说明。存放架5如图3～图6所示，呈正面部分开口的箱形形成，为了能够容纳多个玻璃基板1，在上下方向上隔开间隔设置有多个对玻璃基板1进行支撑的支承部5a。
此外，处理装置3能够对多片玻璃基板1进行处理，而存放架5所能够容纳的玻璃基板1的片数大于处理装置3可处理的片数，例如能够容纳100片玻璃基板1。
另外，如图3和图5所示，支承部5a呈长条状形成，能够隔开间隔对玻璃基板1的横宽方向上的两端以及横宽方向上的中间部位进行支撑。支撑部5a要这样设置，即，存放架5的支撑部5a所在部位与移载装置4的承载部7所在部位错开，以使得在移载装置4将玻璃基板1移载到存放架5中时，移载装置4的承载部7能够在存放架5中自由出入。
如图6所示，所说存放架5具有，朝向被存放的玻璃基板1，经除尘过滤器18吹送清洁空气的清洁空气吹送风扇19(清洁空气吹送机构)。
清洁空气吹送风扇19和除尘过滤器18是这样设置的，即，使得送风方向为在吹到被存放在存放架5内的玻璃基板1上之后，吹到移载装置4的承载部7支承的玻璃基板1上。即，清洁空气吹送风扇19和除尘过滤器18，设置在存放架5的开口部之相反一侧的后端部上，从存放架5的下方和后方吸入空气，经除尘过滤器18向前方吹送清洁空气。
此外，将清洁空气吹送风扇19和除尘过滤器18设置在存放架5的后端部，从而能够从上方对移载装置4的承载部7上所承载的玻璃基板1吹送清洁空气。
如上所述，清洁空气吹送风扇19送来的清洁空气首先吹到被存放在存放架5中的玻璃基板1上，接下来，在从上方向下吹到移载装置4的承载部7所承载的玻璃基板1上后，再次被清洁空气吹送风扇19吸入，使清洁空气循环。
此外，移载装置4具有将清洁空气吹送风扇19送来的清洁空气向承载部7所承载的玻璃基板1进行吹送的作为送风机构的送风风扇20，以及在台板6上升时防止空气直接吹到所承载的玻璃基板1上的板状的挡风板21。挡风板21上形成有送风风扇20用的孔，能够使送风风扇20送来的空气吹到玻璃基板1上。
更具体地说，通过在移载装置4中设置送风风扇20，能够吹送仅靠清洁空气吹送风扇19无法吹到承载部7所承载的玻璃基板1上的清洁空气，使清洁空气切实吹到承载部7所承载的玻璃基板1上。
如图6所示，送风风扇20位于挡风板21的上方位置上，挡风板21设置成遮挡在上下方向上排列的承载部7之中的位于上方的承载部7。此外，在上下方向上排列的承载部7的下方也设置有送风风扇20。
并且，送风风扇20和挡风板21共同得到台板6的支承，送风风扇20和挡风板21与台板6成一体上下移动。移载装置4的上下驱动部8设置在存放架5的框架的两个侧部上，设置在避开清洁空气吹送风扇19吹送清洁空气的吹送方向的位置上。此外，清洁空气吹送风扇19送来的清洁空气在不受上下驱动部8阻碍地吹到被存放在存放架5中的玻璃基板1上之后，从上向下吹到放置在移载装置4的承载部7上的玻璃基板1上。
如图8所示，所说管理装置H除了对输送装置2和处理装置3的动作状态进行控制之外，还对移载装置4的动作状态进行控制。
此外，管理装置H进行将玻璃基板1向哪一个处理装置3供给的管理，还对存放架5中的玻璃基板1的存放状态等信息进行管理。并且，在输送装置2及处理装置3正常动作的场合，当输送装置2将玻璃基板1输送到与进行处理的处理装置3相对应的位置上时，管理装置H对移载装置4进行控制，使移载装置4将玻璃基板1从输送装置2移载到处理装置3中。当处理装置3的处理结束时，管理装置H对移载装置4进行控制，使移载装置4将该玻璃基板1送回输送装置2。
再有，当处理装置3发生故障时，所说管理装置H对移载装置4进行控制，将原定供给该处理装置3的玻璃基板1移载到与发生故障的处理装置3相对应地设置的存放架5中。即，当输送装置2将玻璃基板1输送到与进行处理的处理装置3相对应的位置上时，管理装置H便对移载装置4进行控制，使移载装置4将玻璃基板1从输送装置2上移载到存放架5中。而当输送装置2发生故障时，管理装置H对移载装置4进行控制，将处理装置3处理完了的玻璃基板1移载到与该处理装置3相对应的存放架5中。
此外，当处理装置3的故障消除时，管理装置H对移载装置4进行控制，将收放在存放架5中的玻璃基板1移载到处理装置3上；而当输送装置2的故障消除时，对移载装置4进行控制，将收放在存放架5中的玻璃基板1移载到输送装置2上。
所说管理装置H是以在处理装置3或输送装置2发生故障时将玻璃基板1存放到存放架5中的方式构成的，但是，在遇到所供给的玻璃基板1的片数多于处理装置3所能够处理的片数、以及有多个需要送回输送装置2的玻璃基板1等需要在输送装置2和各处理装置3之间临时进行存放等情况时，也能够通过移载装置4将玻璃基板1存放到存放架5中。
此外，在需要将设置在上方的输送装置2所正在输送的玻璃基板1转移到设置在下方的输送装置2上，或者反之，需要将设置在下方的输送装置2所正在输送的玻璃基板1转移到设置在上方的输送装置2上的场合，当该玻璃基板1被输送装置2输送到移载装置4所在位置时，管理装置H便对移载装置4进行控制，使移载装置4在上下方向上排列的输送装置2之间进行玻璃基板1的移载。
(1)在上述实施方式中，列举了输送装置2在上下方向上排列两个的例子，但输送装置2在上下方向上排列的个数可酌情决定，可以是一个或三个以上。
(2)在上述实施方式中，是分别对应于在上下方向上排列的两个输送装置2设置移载装置4的，但由于移载装置4是以能够在上下方向上排列的两个输送装置2之间进行玻璃基板1的移载的方式构成的，因此，也可以设计成这样的结构加以实施，即，以一个移载装置4兼作对应于在上下方向上排列的两个输送装置2的移载装置。
(3)在上述实施方式中，作为移载装置4，列举了具有可上下移动的台板6、以及在承载玻璃基板1的状态下可围绕垂直轴心回旋且可相对于台板6进行进退移动的承载部7的例子，但也可以采用各种各样的其它移载装置。
此外，在上述实施方式中，是由存放架5的框架对移载装置4的台板6进行支承的，但也可以相对于存放架5另外设置对台板6进行支承的部件而加以实施。
(4)在上述实施方式中，所有的移载装置4能够在上下方向上排列的两个输送装置2之间进行玻璃基板1的移载，但也可以设计成只有一部分移载装置4能够在上下方向上排列的两个输送装置2之间进行玻璃基板1的移载，通过该移载装置4在上下方向上排列的两个输送装置2之间进行玻璃基板1的转移。
此外，也可以将所有移载装置4不设计成能够在上下方向上排列的两个输送装置2之间进行玻璃基板1的移载的结构。
(5)在上述实施方式中，移载装置4的上下驱动部8是设置在避开清洁空气吹送风扇19的清洁空气的吹送方向的位置上的，但也可酌情改变移载装置4的上下驱动部8的设置位置。
(6)在上述实施方式中，移载装置4具有送风风扇20和挡风板21，但移载装置4并非一定要具有送风风扇20和挡风板21，例如，也可以只具有送风风扇20或只具有挡风板21。
(7)在上述实施方式中，移载装置4的承载部7是以在上下方向上排列两个的状态设置的，但承载部7在上下方向上排列的个数可酌情改变，也可以是一个或三个以上。
多个承载部7并非一定要同时进行进退移动或上下移动，也可以使多个承载部7单独进行进退移动或上下移动。
(8)在上述实施方式中，是以输送装置2将玻璃基板1成水平姿态进行输送的方式构成的，但由输送装置2输送的玻璃基板1的姿态可酌情改变，例如可以成竖立姿态输送。
(9)在上述实施方式中，是通过设置输入装置16和输出装置17，使得玻璃基板1相对于输送装置2的输入与输出能够以作为可容纳多个玻璃基板1的存放装置的基板盒为单位进行的，但也可以不设置输入装置16和输出装置17，而将玻璃基板1一片片送到输送装置2上，或从输送装置2中将玻璃基板1一片片送出来。
(10)在上述实施方式中，在上下方向上排列的承载部7上方和下方两个方位设置有送风风扇20，但也可以仅在上下方向上排列的承载部7上方设置送风风扇20。
(11)对于不重要的处理装置3，并非一定要设置存放架5。位于图9中A所示区域的移载装置4虽然是靠上下驱动部8进行驱动的，但处理装置3中未设置存放架5。上下驱动部8由框架25支承。
权利要求
1.一种玻璃基板用输送设备，设置有在使玻璃基板从对玻璃基板进行处理的多个处理装置中通过的状态下输送所说玻璃基板的输送装置，并设置有在所说输送装置与所说处理装置之间进行所说玻璃基板的移载的移载装置，以及能够在所说输送装置与所说处理装置之间存放所说玻璃基板的存放架，其特征是，所说移载装置以能够在所说输送装置与所说存放架之间以及所说处理装置与所说存放架之间进行所说玻璃基板的移载的方式构成，所说移载装置和所说存放架相对所说多个处理装置之中的某几个处理装置的每一个至少各设置有一个。
2.如权利要求1所说的玻璃基板用输送设备，其特征是，所说移载装置在可上下移动的台板上具有承载部，所述承载部可在承载有所说玻璃基板的状态下围绕垂直轴心回旋且能够相对于所说台板进行进退移动，所说台板支承在所说存放架的框架上。
3.如权利要求2所说的玻璃基板用输送设备，其特征是，所说移载装置这样构成，即，在使所说台板位于上下方向上的下限位置且使所说承载部退居后的状态下，使所说台板和所说承载部从该承载部的进退方向指向所说存放架这一基本位置起开始移动。
4.如权利要求2所说的玻璃基板用输送设备，其特征是，所说存放架具有清洁空气吹送机构，所述清洁空气吹送机构朝向被存放的所说玻璃基板，经除尘过滤器吹送清洁空气，所说清洁空气吹送机构这样设置，即，使得清洁空气的吹送方向为在吹到被存放在所说存放架中的所说玻璃基板上之后、吹到所说移载装置的所说承载部上所承载的所说玻璃基板上。
5.如权利要求4所说的玻璃基板用输送设备，其特征是，使所说移载装置的所说台板上下移动的上下驱动部设置在避开所说清洁空气吹送机构的清洁空气吹送区域的位置上。
6.如权利要求2所说的玻璃基板用输送设备，其特征是，所说移载装置具有向所说承载部所承载的所说玻璃基板吹风的送风机构。
7.如权利要求4所说的玻璃基板用输送设备，其特征是，所说清洁空气吹送机构设置成从上方向所说承载部所承载的所说玻璃基板吹送清洁空气，所说移载装置具有挡风板在使所说台板上升移动时防止所说清洁空气吹送机构送来的清洁空气吹到所说承载部所承载的所说玻璃基板上。
8.如权利要求1所说的玻璃基板用输送设备，其特征是，所说处理装置能够对所说多片玻璃基板进行处理，所说存放架以可容纳的所说玻璃基板的片数大于所说处理装置所能够处理的片数的方式构成。
9.如权利要求1所说的玻璃基板用输送设备，其特征是，所说输送装置是以在上下方向上排列多层的状态设置的，所说移载装置能够在设置在不同层上的所说输送装置之间进行所说玻璃基板的移载。
10.如权利要求2所说的玻璃基板用输送设备，其特征是，所说移载装置这样构成，即，所说承载部以在上下方向上排列的状态设置有多个，并且，使这些多个承载部以同步状态进行进退移动。
11.如权利要求10所说的玻璃基板用输送设备，其特征是，所说台板具有所说多个承载部，使所说多个承载部以同步状态进行上下移动。
12.如权利要求1所说的玻璃基板用输送设备，其特征是，在所说输送装置的输送方向的上游端部设置有将所说玻璃基板一片片移载到所说输送装置上的输入装置，在所说输送装置的输送方向的下游端部设置有将所说输送装置送来的所说玻璃基板收放在所说能够容纳多个玻璃基板的存放装置中的输出装置。
13.如权利要求1所说的玻璃基板用输送设备，其特征是，所说移载装置与所说存放架相对所说多个处理装置的每一个至少各设置有一个。
全文摘要
一种玻璃基板用输送设备，在输送玻璃基板时能够可靠地进行玻璃基板的存放。设置有在使得玻璃基板(1)从多个对玻璃基板(1)进行处理的处理装置(3)中经过的状态下输送该玻璃基板(1)的输送装置(2)，还设置有在输送装置(2)与处理装置(3)之间进行玻璃基板(1)的移载的移载装置(4)、以及在输送装置(2)与处理装置(3)之间进行玻璃基板(1)的存放的存放架(5)，移载装置(4)以能够在输送装置(2)与存放架(5)之间以及处理装置(3)与存放架(5)之间进行玻璃基板(1)的移载的方式构成，移载装置(4)与存放架(5)与多个处理装置(3)的每一个对应地设置有多个。
文档编号B65G49/06GK1623872SQ20041009803
公开日2005年6月8日 申请日期2004年12月3日 优先权日2003年12月4日
发明者森屋进, 上田胜彦 申请人:株式会社大福