技术编号:4227189
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及载置基板的基板载置台。 背景技术以往,提出了各种取出载置于输送用卡匣内的玻璃基板、液晶面板等基板,搬入工艺流水线的起点的处理部的搬运系统、搬运装置等。例如,特开平8-8322号公报(专利文献1)所记载的搬运装置具备将液晶用的玻璃基板从发泡性树脂制成的输送用卡匣取出的吸附臂。该吸附臂在其顶端具备滑动限位器。该滑动限位器具备阻止玻璃基板向吸附臂的顶端方向移动的突起部。特开2000-351449号公报(专利文献2~)所记载的玻璃基板搬运装置具备垫纸除去...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。