专利名称：基板载置台的制作方法
技术领域：
本发明涉及载置基板的基板载置台。
背景技术：
以往，提出了各种取出载置于输送用卡匣内的玻璃基板、液晶面板等基板，搬入工艺流水线的起点的处理部的搬运系统、搬运装置等。例如，特开平8-8322号公报(专利文献1)所记载的搬运装置具备将液晶用的玻璃基板从发泡性树脂制成的输送用卡匣取出的吸附臂。该吸附臂在其顶端具备滑动限位器。该滑动限位器具备阻止玻璃基板向吸附臂的顶端方向移动的突起部。特开2000-351449号公报(专利文献2~)所记载的玻璃基板搬运装置具备垫纸除去装置，其从将多个玻璃基板和夹在玻璃基板间的垫纸斜堆的斜堆托板除去垫纸；卸料装置，其设于垫纸除去装置的附近；以及托板搬运单元，其将取出了玻璃基板和垫纸后的托板搬运到搬出口。此外，作为将玻璃基板和垫纸自动堆积于倾斜托板的装置，特开 2000-351448号公报(专利文献幻提出了玻璃基板堆积装置。现有技术文献专利文献专利文献1 特开平8-8322号公报专利文献2 特开2000-351449号公报专利文献3 特开2000-351448号公报
发明内容
发明要解决的问题在工厂内，例如用如上述特开平8-8322号公报所述的搬运装置等从输送用卡匣取出基板。然后，取出的玻璃基板由搬运台车、输送机等搬运到规定的处理室。因此，当搬运台车、输送机发生故障时，制造工艺的全过程停止。在特开2000-351449号公报记载的玻璃基板搬运装置中也同样，当工厂内的搬运台车、输送机发生故障时，制造工艺的全过程停止，会导致制造效率的降低。即使采用特开 2000-351448号公报记载的玻璃基板堆积装置也会产生同样的问题。另外，这种问题不限于将从工厂外部输送的玻璃基板搬入工厂内的工序，例如在各处理室间将玻璃基板搬运到下一个处理室的过程中也同样会产生。因此，考虑在上述搬运装置、玻璃基板搬运装置的附近配置临时放置基板的基板载置台，作业者来运送载置于基板载置台的基板。由此，即使搬运基板的输送机、搬运台车发生了故障，也能抑制制造工艺的全过程停止。但是，玻璃基板重， 因此需要实现搬运玻璃基板的作业者的负担的减少，而且玻璃基板搬运装置等需要容易载置玻璃基板的结构。本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种对作业者来说容易搬运载置的基板而且对玻璃基板搬运装置来说容易搭载玻璃基板的基板载置台。
用于解决问题的方案本发明的基板载置台具备基座部；支撑部，其从基座部向上方延伸，能用上端部支撑被载置的基板；以及托板，其以位于比支撑部的上端部靠下方的方式配置于基座部，并且设为能向上方位移，能载置被支撑部的上端部支撑的基板。优选还具备引导部，所述引导部向上方延伸，能引导托板。优选隔开间隔设有多个上述支撑部。优选多个上述托板层叠于基座部。发明效果根据本发明的基板载置台，能容易载置基板，而且作业者容易搬运载置的基板。
图1是示意性地是出包括本发明的基板临时放置台的搬运系统的平面图。图2是搬入搬运系统时的密实包装的截面图。图3是基板临时放置台的侧面图。图4是基板临时放置台的平面图。图5是托板的平面图。图6是托板的侧截面图。图7是基板取出装置将玻璃基板载置于基板临时放置台时的基板临时放置台的侧面图。图8是基板取出装置将玻璃基板载置于基板临时放置台时的基板临时放置台的平面图。图9是作业者搬运载置于基板临时放置台的玻璃基板时的样子的基板临时放置台的侧面图。
具体实施例方式用图1至图9说明包括本发明的基板临时放置台(基板载置台)105的搬运系统 100。图1是示意性地示出包括基板临时放置台的搬运系统100的平面图。本实施方式的搬运系统100是用于取出收纳于密实包装(dens pack)内的玻璃基板，将玻璃基板搬运到工厂内的清洁室107的系统。在清洁室107内，设有将从搬运系统100搬入的玻璃基板搬运到规定的处理室的搬运输送机106。图2是搬入搬运系统100时的密实包装115的截面图。如该图2所示，密实包装 115具备箱主体116和盖体117，在搬入搬运系统100内时，盖体117被取下。在箱主体116 上载置有层叠体W0。层叠体WO是通过将玻璃基板Wl和玻璃基板间用纸W2依次层叠而构成的，在各玻璃基板Wl间插入有玻璃基板间用纸W2。此外，密实包装115以收纳有层叠体 WO的状态从外部工厂等由卡车等输送，在输送时，盖体117安装于箱主体116，层叠体WO被密封在密实包装115内。在图1中，搬运系统100具备层叠体搬入装置101，其搬入载置于密实包装115 的箱主体116上的层叠体WO ；基板取出装置102，其从由层叠体搬入装置101搬入的层叠体 WO取出玻璃基板Wl ；以及纸取出装置103，其从层叠体WO取出玻璃基板间用纸W2。层叠体搬入装置101具备搬入输送机111，其搬入新的层叠体WO ；搬出输送机112，其搬出取出了玻璃基板等的空的箱主体116 ；以及交接输送机113，其将变空的箱主体 116从搬入输送机111交给搬出输送机112。载置有层叠体WO的箱主体116载置于搬入输送机111上，由搬入输送机111搬运到规定的位置。纸取出装置103将位于载置于规定位置的层叠体WO的上表面的玻璃基板间用纸 W2从层叠体WO除去。基板取出装置102取出除去玻璃基板间用纸W2而露出的玻璃基板Wl。基板取出装置102具备多轴的转动臂131 ；以及设于转动臂131的端部的叉130。在叉130的表面设有多个吸附部，叉130以使基板吸附于吸附部的状态搬运玻璃基板Wl。搬运系统100具备基板搬运装置104，其载置由基板取出装置102取出的玻璃基板Wl ；基板临时放置台105，其载置由基板取出装置102取出的玻璃基板W1，并且作业者能搬运所载置的玻璃基板Wl ；控制装置108，其控制基板搬运装置104等的驱动；以及操作部 110，其切换控制装置108的控制。搬运系统100具备划分部120，所述划分部120划分载置层叠体搬入装置101、基板临时放置台105、基板取出装置102、基板搬运装置104的区域。划分部120可以是壁部， 也可以是金属网之类，只要是能抑制人进入所划分的区域内的构件即可。此外，清洁室107由划分壁部121规定，抑制清洁室107外部的空气进入清洁室 107 内。在划分壁部121中形成有基板搬入部109，由基板搬运装置104搬运来的玻璃基板 Wl通过基板搬入部109被搬入清洁室107内。在基板搬运装置104的上表面设有传送带等，基板搬运装置104将利用基板取出装置102载置于传送带上的玻璃基板向基板搬入部109搬运。通过基板搬入部109搬入清洁室107内的玻璃基板载置于搬运输送机106，被搬运到规定的处理室。在正常驱动各装置时，从操作部110对控制装置108发送通常驱动信号，基板取出装置102将载置于搬入输送机111上的玻璃基板载置于基板搬运装置104上。载置于基板搬运装置104上的玻璃基板从基板搬入部109被搬运到清洁室107内，然后由搬运输送机 106搬运。在搬运输送机106的驱动由于故障等而停止时，从操作部110向控制装置108发送手动驱动信号。控制装置108当接收手动驱动信号时，切换基板取出装置102的驱动。然后，控制装置108控制基板取出装置102，以将从密实包装115取出的玻璃基板载置于基板临时放置台105上。在划分部120中形成有将载置于基板临时放置台105上的玻璃基板搬出的作业者能出入的搬出部，搬出部具备形成于划分部120的开口部和使该开口部开闭的门122。在搬运输送机106等产生故障时，作业者拿出载置于基板临时放置台105的玻璃基板，搬运到规定的处理室，由此能防止流水线完全停止。基板临时放置台105与门122相邻地设置，作业者能将载置于基板临时放置台105 的玻璃基板Wl在短时间内拿出到划分部120的外部，能缩短搬出玻璃基板Wl的周期时间。搬出玻璃基板的作业者在划分部120的外侧等待，在玻璃基板被载置于基板临时放置台105，基板取出装置102的转动臂131和叉130从基板临时放置台105退让后，打开门122进入划分部120。然后，作业者将玻璃基板从基板临时放置台105搬出到划分部120的外部。当搬出了玻璃基板的作业者关上门122时，对操作部110进行操作的作业者操作操作部110，由此驱动纸取出装置103驱动，纸取出装置103除去玻璃基板间用纸。进而，作业者操作操作部110来驱动基板取出装置102，基板取出装置102将新的1个玻璃基板载置于基板临时放置台105上。在该图1所示的例子中，说明了通过操作操作部110来将玻璃基板一个个地载置于基板临时放置台105上的例子，但是也可以在控制装置108中预先装入程序等，根据装入控制装置108的程序等驱动基板取出装置102，将玻璃基板一个个地载置于基板临时放置台 105。在这种情况下，将质量传感器设于基板临时放置台105，并且将开闭传感器设于门 122。控制装置108根据基板临时放置台105的质量传感器判断未载置玻璃基板，并且由门 122的开闭传感器判断门122关闭时，控制装置108驱动纸取出装置103和基板取出装置 102。然后将玻璃基板Wl载置于基板临时放置台105。此外，在玻璃基板的搬运中门122打开的情况下，控制装置108使基板取出装置102和纸取出装置103的驱动停止。而且在门 122附近等配置紧急停止按钮，当按下紧急停止按钮时，控制装置108使基板取出装置102 和纸取出装置103的驱动停止。图3是基板临时放置台105的侧面图，图4是基板临时放置台105的平面图。如该图3和图4所示，基板临时放置台105具备基座140 ；支撑部143，其从基座140向上方延伸；以及托板146，其配置在比支撑部143的上端部靠下方。在支撑部143的上端部载置有玻璃基板W1，玻璃基板Wl由支撑部143的上端部支撑。设有多个支撑部143。支撑部143的上端部形成为弯曲面状，抑制载置的玻璃基板Wl 的损伤。此外，支撑部143也可以由挠性材料构成。基座140具备立设的多个柱部141和架设于柱部141间的梁部142，支撑部143隔开间隔设于梁部142的上表面上。此外，在梁部142的上表面配置有通过各梁部142的宽度方向中央部的中央载置部149。在柱部141的上端部设有环状的载置部144，在该载置部 144和上述中央载置部149上配置有托板146。在载置部144的外周缘部隔开间隔设有引导部145。引导部145的上端部的高度与托板146的上端部的高度一致。托板146配置在比支撑部143的上端部靠下方，在托板146中形成有使支撑部143 插通的孔部。并且，使配置在载置部144和托板146上的托板146向上方位移，由此能使由支撑部143支撑的玻璃基板Wl载置于托板146上。此外，在该图3和图4示出的例中，托板146 能由作业者位移到上方，也可以使用油压设备、马达等驱动源来使托板146位移。图5是托板146的平面图，图6是托板146的侧截面图。如该图5和图6所示，在托板146的外周缘部形成有环状延伸的框部147。框部147形成为台阶状，在框部147形成有载置玻璃基板Wl的外周缘部的载置面153。在托板146中形成有多个使图3和图4示出的支撑部143插通的孔部148。图7是基板取出装置102将玻璃基板Wl载置于基板临时放置台105时的基板临时放置台105的侧面图，图8是基板取出装置102将玻璃基板Wl载置于基板临时放置台105 时的基板临时放置台105的平面图。如该图7和图8所示，基板取出装置102的叉130具备连接有转动臂131的根部 152 ；在根部152的长边方向上隔开间隔设置的枝部150 ；以及在枝部150的延伸方向上隔开间隔设置的吸附部151。在图2中，各玻璃基板Wl被层叠为使吸附面位于各玻璃基板Wl的上表面，叉130 吸附位于层叠体WO的上表面的玻璃基板W1。在玻璃基板Wl的搬运中途，叉130翻转，使玻璃基板Wl载于叉130上。然后，如图 7和图8所示，叉130被定位为使各枝部150位于支撑部143间和引导部145间，玻璃基板 Wl被载置于支撑部143的上端部。支撑部143间的间隔远远大于枝部150的宽度，能使枝部150容易地配置在支撑部143间。并且，当玻璃基板Wl由支撑部143的上端部支撑时， 吸附部151的驱动停止，叉130从基板临时放置台105退让。这样，能将玻璃基板Wl容易地载置于基板临时放置台105上。图9是示出作业者搬运载置于基板临时放置台105的玻璃基板Wl时的样子的基板临时放置台105的侧面图。如该图9所示，作业者拿起配置在载置部144上的托板146。然后，将玻璃基板Wl 载置于托板146上。作业者将载置部144载置于托板146上之后，将托板146从基板临时放置台105取下，搬出托板146和玻璃基板Wl。在载置部144的外周隔开间隔设有多个引导部145，托板146由引导部145引导。 因此，能准确地定位形成在图6所示的框部147的载置面153和玻璃基板Wl的外周部，能使玻璃基板Wl的外周部载于载置面153上。这样，将质量重的玻璃基板Wl预先配置在上方，由此减小了作业者拿起玻璃基板Wl的距离，实现了作业者的负担的减少。在图3中，支撑部143的上端部的高度Ll为例如Im程度，为成人在运送具有质量的玻璃基板Wl时容易携带玻璃基板Wl和托板146的高度。配置有托板146的高度L2例如为50cm 60cm程度。此外，如图4、图7、图9等所示，优选预先使多个托板146层叠。预先在载置部144上准备多个托板146，由此能实现玻璃基板Wl的搬出周期时间的减少。此外，在上述图1至图9所示的例子中，说明了将基板临时放置台105装入从层叠体WO取出玻璃基板Wl并搬出玻璃基板Wl的搬运系统100中的例子，装入基板临时放置台 105的系统不限于上述搬运系统100这样的系统。例如也能用于在从处理室到处理室之间进行搬运的搬运系统等。一般地，在从玻璃基板到制造液晶面板为止的期间，玻璃基板Wi 被搬入搬出进行清洗工序的处理室、进行曝光工序的处理室、进行蚀刻工序的处理室等多个处理室。在处理室和处理室之间例如设有如下基板交接系统，具备搬运台车，其搭载基板卡匣，在处理室间行驶；以及机器人臂等，其从搬运来的基板卡匣取出玻璃基板，将玻璃基板插入处理室，或者将实施了处理的玻璃基板收纳于卡匣。并且，在该基板交接系统中， 在机器人臂的转动范围内也可以设置基板临时放置台105。由此，在搬运台车出现了故障的情况下，也能将处理完的玻璃基板载置于基板临时放置台105上，作业者将该玻璃基板搬运到下一个处理室，由此能抑制制造工艺完全停止。如上所述说明了本发明的实施方式和实施例，应认为本次公开的实施方式和实施例的所有点均为举例而非限制。本发明的范围由权利要求表示，意在包括与权利要求等同的含义和范围内的全部变更。而且，上述数值等也是例示，不限于上述数值和范围。工业上的可利用件本发明适用于载置玻璃基板的基板载置台。附图标记说明100搬运系统，101层叠体搬运装置，102基板取出装置，103纸取出装置，104基板搬运装置，105基板临时放置台，106搬运输送机，107清洁室，108控制装置，109基板搬入部，110操作部，111搬入输送机，112交接输送机，115密实包装，116箱主体，117盖体，120 划分部，121划分壁部，122门，130叉，131转动臂，140基座，141柱部，142梁部，143支撑部， 144载置部，145引导部，146托板，147框部，148孔部，149中央载置部，150枝部，151吸附部，152根部，WO层叠体，Wl玻璃基板，W2玻璃基板间用纸。
权利要求
1.一种基板载置台，具备 基座部(140)；支撑部(143)，其从上述基座部向上方延伸，能用上端部支撑被载置的基板；以及托板(146)，其以位于比上述支撑部的上述上端部靠下方的方式配置于上述基座部，并且设为能向上方位移，能载置被上述支撑部的上端部支撑的上述基板。
2.根据权利要求1所述的基板载置台，还具备引导部(145)，所述引导部(145)向上方延伸，能引导上述托板。
3.根据权利要求2所述的基板载置台， 隔开间隔设有多个上述支撑部。
4.根据权利要求1至权利要求3中的任一项所述的基板载置台， 多个上述托板层叠于上述基座部。
全文摘要
基板临时放置台(105)具备基座(140)；支撑部(143)，其从基座(140)向上方延伸，能用上端部支撑被载置的基板；以及托板(146)，其以位于比支撑部(143)的上端部靠下方的方式配置于基座(140)，并且设为能向上方位移，能载置被基座(140)的上端部支撑的玻璃基板(W1)。
文档编号B65G49/06GK102498554SQ20108002657
公开日2012年6月13日 申请日期2010年5月31日 优先权日2009年6月15日
发明者大河原淳平 申请人:夏普株式会社