技术编号:4249223
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供一种轻型并且在吸附时与放下时薄板工件不与卡盘的边缘接触的吸引卡盘。本发明的一个实施方式的吸引卡盘(10)具备平板状的主体(11)和对置面(31)。在主体(11)的内部形成有压缩空气的流路。对置面(31)是主体(11)在与工件(90)对置的一侧所具备的面,且形成有多个通过喷出压缩空气而产生负压的作为吸引元件的凹部(41)。在与对置面(31)垂直的方向观察时,该对置面(31)构成为与工件(90)相似的形状(或者比工件(90)的形状向外侧偏移的形状),...
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