吸引卡盘、以及具备该吸引卡盘的工件的移载装置制造方法

吸引卡盘、以及具备该吸引卡盘的工件的移载装置制造方法
【专利摘要】本发明提供一种轻型并且在吸附时与放下时薄板工件不与卡盘的边缘接触的吸引卡盘。本发明的一个实施方式的吸引卡盘（10）具备平板状的主体（11）和对置面（31）。在主体（11）的内部形成有压缩空气的流路。对置面（31）是主体（11）在与工件（90）对置的一侧所具备的面，且形成有多个通过喷出压缩空气而产生负压的作为吸引元件的凹部（41）。在与对置面（31）垂直的方向观察时，该对置面（31）构成为与工件（90）相似的形状（或者比工件（90）的形状向外侧偏移的形状），以便能够完全包含工件（90）的形状。在与对置面（31）垂直的方向观察时，全部的凹部（41）以能够包含于工件（90）的形状的方式配置。
【专利说明】吸引卡盘、以及具备该吸引卡盘的工件的移载装置
【技术领域】
[0001]本发明主要涉及吸引薄的平板状的工件并对其以非接触的状态进行保持的吸引卡盘。
【背景技术】
[0002]为了移载太阳能电池晶片、燃料电池单元或二次电池的电极或者隔离物等薄的平板状的工件(薄板工件)，以往提出了作为末端执行器而采用利用了伯努利效应的伯努利卡盘的移载装置(例如，参照专利文献I)。
[0003]本申请的 申请人:提出例如专利文献2所公开的并联机构机器人作为移载装置的移载机构，并且，提出专利文献3所公开的伯努利卡盘作为吸引卡盘。
[0004]对于伯努利卡盘而言，在其构造上无法避免所吸引的薄板工件上下振动，但在薄板工件的吸附动作时或放下时，如果伯努利卡盘的尺寸比工件小，则振动的薄板工件与伯努利卡盘的外边缘(边缘)接触，有时会导致工件的损伤、性能劣化。
[0005]特别是上述的并联机构是使用三条臂来使末端执行器高速地移动的结构，为了发挥其特征，作为末端执行器而被采用的伯努利卡盘也必须是轻型的卡盘。作为用于实现这样的轻型化的伯努利卡盘的构造，以专利文献4?6为代表提出了多种构造。
[0006]专利文献1:日本特许第3981241号公报
[0007]专利文献2:日本再表2008-59659号公报
[0008]专利文献3:日本特许第4538849号公报
[0009]专利文献4:日本特开2007-324442号公报
[0010]专利文献5:日本特开2008-119758号公报
[0011]专利文献6:日本特开2005-74606号公报

【发明内容】

[0012]本发明是鉴于以上的情况而完成的，其主要目的在于提供轻型并且在吸附时与放开时薄板工件不与卡盘的边缘接触的吸引卡盘。
[0013]本发明要解决的课题如上所述，以下对用于解决该课题的方法和其效果进行说明。
[0014]根据本发明的第一观点，提供以下结构的吸引卡盘。即，该吸引卡盘吸引薄的平板状的工件并以非接触状态保持该工件。该吸引卡盘具备平板状的主体和对置面。在上述主体的内部形成有压缩气体的流路。上述对置面是上述主体在与上述工件对置的一侧具备的面，且形成有多个通过喷出上述压缩气体而产生负压的作为吸引元件的凹部。在与上述对置面垂直的方向观察时，该对置面以能够完全地包含上述工件的形状的方式构成为与上述工件相似的形状或者比上述工件的形状向外侧偏移的形状。在与上述对置面垂直的方向观察时，全部的上述凹部都以能够包含于上述工件的形状的方式配置。
[0015]由此，能够很好地防止工件与对置面的外缘、凹部的边缘碰触而破损的情况。另夕卜，能够高效地发挥凹部的吸引作用，稳定地保持工件。而且，由于通过形成于对置面的凹部进行吸引作用，所以容易实现轻型化以及小型化。
[0016]在上述的吸引卡盘中，优选在与上述对置面垂直的方向观察时，该对置面的形状以及上述工件的形状是直角四边形。
[0017]由此，能够无破损且平稳地保持广泛使用的形状即直角四边形的工件。
[0018]在上述的吸引卡盘中，优选以下的结构。即，在上述凹部的周围，在上述对置面上开设有用于将从该凹部喷出的压缩气体排出的排气孔。在与上述对置面垂直的方向观察时，全部的上述排气孔都以能够包含于上述工件的形状的方式配置。
[0019]由此，能够高效地发挥凹部的吸引作用。另外，能够以更少的流量实现同等的吸引力，从而也适用于在必须抑制流量的净化室环境下的使用。而且，能够很好地防止工件与排气孔的缘碰触而破损的情况。
[0020]在上述的吸引卡盘中，优选在与上述对置面垂直的方向观察时，多个上述凹部以与上述对置面的形状所具有的边平行的方式排列。
[0021]由此，能够相对于工件均匀地发挥凹部的吸引作用，所以能够实现工件的稳定的保持。
[0022]在上述的吸引卡盘中，优选以下的结构。即，上述凹部形成为圆筒状。上述主体具备喷出流路，其使压缩气体以沿着该凹部的内壁的方向喷出。
[0023]由此，能够通过简单的结构在凹部的内部形成良好的回旋流。
[0024]在上述的吸引卡盘中，优选上述喷出流路沿着与上述对置面平行的方向形成。
[0025]由此，能够实现流路构造的简单化以及小型化。
[0026]在上述的吸引卡盘中，优选相对于一个上述凹部形成有多条上述喷出流路。
[0027]由此，能够在凹部中形成强力且稳定的回旋流。
[0028]在上述的吸引卡盘中，优选以下的结构。即，上述主体通过将包括形成有上述对置面的第一板和连接于上述压缩气体的供给源即压缩气体源的第二板在内的多张板在厚度方向上接合而构成。在上述第一板的上述对置面开设形成上述凹部的至少一部分的开口孔。上述喷出流路配置于上述对置面与上述第二板之间的位置。在上述第二板，在与上述第一板相反的一侧配置与上述压缩气体源连接的连接口，并且，在朝向上述第一板侧的面形成构成供给流路的供给槽，该供给流路用于将被导入上述连接口的压缩气体向上述喷出流路引导。
[0029]由此，能够实现结构简单的流路构造。
[0030]在上述的吸引卡盘中，优选以下的结构。即，在上述第一板与上述第二板之间配置中间板。在上述中间板以沿厚度方向贯通该中间板的方式形成构成上述喷出流路的狭缝。
[0031]由此，能够以简单的结构形成喷出流路。
[0032]在上述的吸引卡盘中，优选以下的结构。即，在上述第一板与上述第二板之间配置第三板。在上述第三板形成用于将上述喷出流路与上述供给槽连接的连接孔。上述第三板的厚度方向一侧的面构成上述喷出流路的内壁的一部分。上述第三板的厚度方向的另一侧的面将上述供给槽的敞开侧封闭从而构成上述供给流路。
[0033]由此，能够以简单的结构形成压缩气体的流路。
[0034]在上述的吸引卡盘中，至少具有一条与多条上述喷出流路连接的上述供给流路。[0035]由此，能够从供给流路向多条喷出流路供给压缩气体，因而能够实现从压缩气体源到连接口的流路的简单化。
[0036]在上述的吸引卡盘中，优选以下的结构。即，该吸引卡盘具备多条上述供给流路。由通过各上述供给流路而连接的上述连接口与上述喷出流路所构成的组合相互独立。
[0037]由此，通过变更供给压缩气体的连接口，能够简单地控制在何处的凹部产生吸引作用。
[0038]在上述的吸引卡盘中，优选上述多张板都是金属制，且通过将该多张板以全部重叠的状态进行扩散接合而构成上述主体。
[0039]由此，能够以简单的工序形成在内部形成有压缩气体的流路的主体。
[0040]在上述的吸引卡盘中，优选上述多张板由从不锈钢、铝合金或者钛合金选择出的材料形成。
[0041]由此，能够提供低成本的吸引卡盘。
[0042]在上述的吸引卡盘中，优选上述多张板全部由相同的金属材料形成。
[0043]由此，能够提供形变小且尺寸精度良好的吸引卡盘。
[0044]在上述的吸引卡盘中，上述凹部以及上述喷出流路中的至少一方能够通过蚀刻而形成。
[0045]在该情况下，能够容易地制成流路构造。
[0046]然而，在上述的吸引卡盘中，上述凹部以及上述喷出流路中的至少一方也能够通过机械加工而形成。
[0047]在该情况下，能够提高流路构造的形状的自由度。
[0048]在上述的吸引卡盘中，优选上述连接口以及上述供给槽中的至少一方通过机械加工而形成。
[0049]由此，能够提高流路构造的形状的自由度。
[0050]根据本发明的第二观点，提供以下结构的工件的移载装置。即，该移载装置具备上述的吸引卡盘和压缩气体源。上述压缩气体源是对上述吸引卡盘供给上述压缩气体的供给源。从位于上述对置面的中央部的凹部喷出的上述压缩气体的喷出量比从位于上述对置面的端部的凹部喷出的上述压缩气体的喷出量大。
[0051]由此，能够以更加接近平坦的形状保持工件。
[0052]根据本发明的第三观点，提供以下结构的工件的移载装置。即，该移载装置具备上述的吸引卡盘和压缩气体源。上述压缩气体源是对上述吸引卡盘供给上述压缩气体的供给源。该移载装置构成为，从多张上述工件层叠而成的工件束分离最上层的一张工件并将其保持于上述吸引卡盘。移载装置向配置于上述吸引卡盘的多个上述凹部中的、位于上述对置面的端部的凹部供给上述压缩气体，然后，向位于上述对置面的中央部的凹部供给上述压缩气体，从而保持位于上述工件束的最上层的上述工件。
[0053]由此，能够以从端部向上翻起的方式吸引并保持工件，从而能够实现稳定的移载作业。
[0054]在上述的工件的移载装置中，优选具备朝向上述工件束的侧面吹送压缩气体的吹
送装置。
[0055]由此，工件从工件束的分离变得容易，从而能够实现稳定的移载作业。[0056]在上述的工件的移载装置中，优选具备用于使由上述吸引卡盘保持的工件移动的并联机构。
[0057]由此，能够将上述的吸引卡盘的结构所产生的效果应用于并联机构式的移载机器人。
[0058]在上述的工件的移载装置中，优选具备用于使由上述吸引卡盘保持的工件移动的SCARA型臂。
[0059]由此，能够将上述的吸引卡盘的结构所产生的效果应用于SCARA型臂式的移载机器人。
【专利附图】

【附图说明】
[0060]图1是表示作为本发明的一个实施方式的移载装置的移载机器人的立体图。
[0061]图2是表示移载机器人所具备的工件供给装置的立体图。
[0062]图3是从上侧观察吸引卡盘的立体图。
[0063]图4是表示构成吸引卡盘的四张板的从下侧观察的分解立体图。
[0064]图5是表示形成于吸引卡盘的主体内部的压缩空气的流路的示意剖视图。
[0065]图6是表示形成于吸引卡盘的主体内部的压缩空气的流路的放大立体图。
[0066]图7的(a)是吸引卡盘的仰视图，(b)是吸引卡盘的侧视图。
[0067]图8是表示从吸引卡盘的凹部喷出的回旋流的方向的放大仰视图。
[0068]图9是表示在吸引卡盘保持工件时从全部的凹部同时开始吸引的情况的参考侧视图。
[0069]图10是表示在吸引卡盘保持工件时从位于该工件的端部的凹部依次开始吸引的侧视图。
[0070]图11是表示从位于工件的端部的凹部开始吸引的例子的仰视图。
[0071]图12是表示对工件束的侧面吹送空气的情况的侧视图。
[0072]图13是表示本实施方式与参考例的吸引卡盘中的流量与吸引力的关系的坐标图。
[0073]图14是表示在将工件保持于吸引卡盘的状态下测量该工件的变形的结果的坐标图。
[0074]图15是表示在将工件保持于吸引卡盘的状态下测量该工件的振动加速度的结果的坐标图。
[0075]图16是表示将吸弓I卡盘应用于具有SCARA型臂的移载机器人的变形例的俯视图。【具体实施方式】
[0076]接下来，参照附图对本发明的实施方式进行说明。图1是表示作为本发明的一个实施方式的移载装置的移载机器人I的立体图。图2是表示移载机器人I所具备的工件供给装置5的立体图。
[0077]如图1所示，本实施方式的移载机器人(移载装置)I具备安装了吸引卡盘(伯努利卡盘)10的并联机构(parallelmechanism) 2。该并联机构2作为主要的结构而具备基座部件101、支承部件103、电动马达104、臂支承部件105、臂主体106以及端板114。另外，如图2所示，移载机器人I具备工件供给装置5，该工件供给装置5能够对并联机构2供给作为移载的对象的平板状的工件90。此外，在图2中，为了易于表示出部件的位置关系而图示出了从并联机构2卸下后的状态的吸引卡盘10。
[0078]作为本实施方式的移载机器人I所处理的工件90，假定其形成为薄的平板状。作为工件90的例子，能够列举出太阳能电池晶片、燃料电池的单元、二次电池的电极、隔离物、硅晶片等，但并不局限于这些。
[0079]图1所示的上述并联机构2能够使配置于该基座部件101的下方的作为输出部件的端板114在以基座部件101为基准的规定的作业区域内移动。上述吸引卡盘10是能够通过供给压缩空气(压缩气体)来吸附工件90从而对其非接触地保持的装置，且安装为能够相对于上述端板114旋转。
[0080]基座部件101是用于支承并联机构2的部件，俯视观察时，配置于端板114的移动范围的大致中央。另外，在该基座部件101上形成有水平的安装面102。
[0081]在移载机器人I所具备的未图示的框架上形成有水平的被安装面P1。通过该结构而经由上述安装面102将基座部件101固定于被安装面P1，从而能够将并联机构2设置为悬挂状。
[0082]在基座部件101的下表面侧固定有三个支承部件103。这些支承部件103以基座部件101的俯视观察下的中央部为中心，在周向上以形成等间隔的方式排列并安装有三个。在该支承部件103上分别支承有带减速器的电动马达104。这些电动马达104以使输出轴(即、减速器的输出轴)的轴线Cl成为水平的方式配置。另外，俯视观察时，并联机构2所具有的三个电动马达104的上述轴线Cl配置为呈以基座部件101的中央部为中心的正三角形。
[0083]在各电动马达104的输出轴上固定有臂支承部件105。该臂支承部件105以使轴线与电动马达104的输出轴一致的方式配置，通过驱动电动马达104而以轴线Cl为中心旋转。
[0084]在臂支承部件105上分别固定有能够弯曲的臂主体106。该臂主体106具备第一臂107以及第二臂108。
[0085]第一臂107构成为细长的部件，且其长度方向一端固定于臂支承部件105。第一臂107以其长度方向与臂支承部件105的轴线(电动马达104的轴线Cl)相互正交、且在俯视观察时从与上述臂支承部件105的连接部分向外侧延伸的方式配置。
[0086]第二臂108具备一对相互平行地配置的细长的杆109。第二臂108的一端(B卩、上述各杆109的一端)被第一臂107的端部支承。
[0087]构成第二臂108的一对杆109分别经由球窝接头110而与第一臂107连结，因此能够向任意方向旋转。以将一对球窝接头110彼此连结的线(作为臂主体106的弯曲伸展的基准的轴线C2)相对于电动马达104的轴线Cl平行的方式配置。
[0088]此外，作为第一臂107以及第二臂108，能够采用例如由碳纤维强化塑料构成为中空的圆筒状的结构。
[0089]在第二臂108的一端，一对杆109彼此通过连结部件111而相互连结，同样，在另一端，一对杆109彼此通过连结部件112而相互连结。这些连结部件111、112具备未图示的例如弹簧等施力部件，从而对一对杆109彼此以互相拉拽的方式施力。这些连结部件111、112防止各杆109以该杆109的中心轴为中心旋转。
[0090]端板114是在俯视观察下形成为近似正三角形状的平板状的部件，且能够将吸引卡盘10安装为能够旋转。该端板114安装于三个臂主体106的前端，且以该端板114的下表面成为水平的姿势被保持。
[0091]对于三角形形状的端板114而言，其三条边的部分经由球窝接头116而与三个第二臂108 (三对杆109)各自的端部连结。构成第二臂108的一对杆109长度相等，所以连结一对球窝接头116的轴线C3总是与对应的臂主体106的上述轴线C2平行。因此，臂主体106的前端侧的轴线C3也相对于电动马达104的轴线Cl平行。
[0092]这意味着三角形形状的端板114所具有的三条边总是相对于对应的电动马达104的轴线Cl平行。因此，无论三个第一臂107分别以轴线Cl为中心怎样转动，端板114也总是能够维持其下表面(安装吸引卡盘10的表面)为水平的姿势。
[0093]在俯视观察下的上述基座部件101的中央部固定有带减速器的电动马达121。电动马达121的输出轴(即、减速器的输出轴)朝向铅垂下方，沿上下方向配置的旋转轴杆120的上端经由万向接头122而与该输出轴的下端连结。
[0094]在端板114的中心部以能够旋转的方式支承有旋转输出轴117。该旋转输出轴117的旋转轴线相对于端板114垂直地配置。另外，旋转轴杆120的下端经由万向接头123而与上述旋转输出轴117连结。
[0095]该旋转轴杆120具备未图示的花键机构，能够与端板114的移动对应地伸缩，另一方面，能够将电动马达121的旋转传递到旋转输出轴117。因此，通过电动马达121的驱动，能够使吸引卡盘10相对于端板114旋转。
[0096]接下来，对吸引卡盘10的详细结构进行说明。图3是从上侧观察的吸引卡盘10的立体图。图4是表示构成吸引卡盘10的四张板25?28的从下侧观察的分解立体图。图5是表示形成于吸引卡盘10的主体11内部的压缩空气的流路的示意剖视图。图6是表示形成于吸引卡盘10的主体11内部的压缩空气的流路的放大立体图。图7的(a)是吸引卡盘的仰视图，图7的(b)是吸引卡盘的侧视图。图8是表示从吸引卡盘10的凹部41喷出的回旋流的方向的放大仰视图。
[0097]如图2以及图3所示，吸引卡盘10具备平板状的主体11，该主体11由将多张板以层叠的状态接合而成的板层叠体12所构成。该板层叠体12从靠近工件90 —侧(下侧)依次具备表面板(第一板)25、喷嘴板(中间板)26、连接板(第三板)27以及分配板(第二板)28。
[0098]在上述主体11 (板层叠体12)的上表面固定有安装轴13。通过将该安装轴13连结于上述旋转输出轴117，从而能够将吸引卡盘10安装于并联机构2。
[0099]如图4所示，在表面板25的下表面形成有能够与工件90直接对置的对置面31。该对置面31构成为与主体11的厚度方向垂直的矩形形状(直角四边形形状)的平坦的面。另夕卜，在表面板25上以在厚度方向贯通的方式形成有用于喷出回旋流的圆形孔(开口孔)32。
[0100]如图4?图6所示，在喷嘴板26上，以在厚度方向上贯通的方式形成有位置及大小与表面板25的圆形孔32 —致的圆形孔33、沿该圆形孔33的切线方向形成的细长的直线形的狭缝34、以及用于向狭缝34供给压缩空气的圆形的流入孔35。如图6等所示，狭缝34以及流入孔35相对于一个圆形孔33而设置有两个。狭缝34的长度方向的一端与圆形孔33连接，另一方面，另一端与流入孔35连接。
[0101]在连接板27上以在厚度方向上贯通的方式形成有圆形的小连接孔36。该连接孔36配置于与形成于上述喷嘴板26的流入孔35所对应的位置。
[0102]如图3所示，在分配板28上且在朝向与上述表面板25相反的一侧的面(朝向与对置面31相反的一侧的面)上，开口有多个圆形的连接口 37。该连接口 37经由接头部件71、配管72以及未图示的电磁阀与适当的压缩空气源(例如压缩机)连接。另外，如图4所示，在分配板28的上述表面板25侧的面(对置面31侧的面)上形成有多个分配槽(供给槽)38。此外，压缩空气源能够与输送的工件90的种类等对应地适当变更为其他压缩气体源，例如能够由液氮罐等代替。
[0103]另外，在表面板25、喷嘴板26、连接板27以及分配板28上分别以贯通状的方式形成有排出孔39。这些排出孔39以使位置相互对应的方式配置。
[0104]在以上的结构中，通过层叠四张板25?28而使表面板25的圆形孔32与喷嘴板26的圆形孔33对齐，并且使喷嘴板26的圆形孔33的一侧被连接板27关闭，其结果是，形成在上述对置面31上开口的圆形的凹部41 (参照图6)。
[0105]另外，由于分配槽38的敞开部分被连接板27关闭，所以该分配槽38的部分形成有将连接口 37与连接孔36连接的分配流路(供给流路)43。
[0106]而且,形成于喷嘴板26的狭缝34的厚度方向一侧被表面板25关闭，厚度方向另一侧被连接板27关闭，因此在该狭缝34的部分形成有用于向凹部41内喷射压缩空气的喷嘴流路(喷出流路)44。该喷嘴流路44配置于表面板25与分配板28之间(对置面31与分配板28之间)的位置，并且以与主体11所具有的对置面31平行的方式配置。
[0107]综上所述，凹部41经由分配流路43 (分配槽38)、连接孔36、流入孔35以及喷嘴流路44 (狭缝34)而与形成于分配板28的连接口 37连接。
[0108]另外，如图5所示，通过使四张板25?28的排出孔39对齐，从而形成在厚度方向上贯通整个板层叠体12的排气孔42。该排气孔42用于将从上述凹部41朝向下方喷出的空气朝上方释放。
[0109]从成本等观点考虑，优选使用金属作为上述四张板25?28的材料。作为板25?28的材料的具体例子，能够列举出从不锈钢、铝合金或者钛合金中选择出的材料。而且，通过将四张板25?28以全部重叠的状态扩散接合，从而构成板层叠体12 (主体11)，且在其内部构成压缩空气的流路。
[0110]为了提供形变小且尺寸精度良好的吸引卡盘10，优选使用全部相同材料作为四张板25?28的材料。这是因为，假设在对不同种类金属进行扩散接合的情况下，有可能由于接合后的残余应变而产生弯曲等变形。在本实施方式中，均使用不锈钢作为四张板25?28的材料。
[0111]此外，对于形成于四张板25?28的圆形孔32、圆形孔33、狭缝34、流入孔35、连接孔36、连接口 37、分配槽38以及排出孔39，例如可以通过蚀刻形成，也可以通过冲孔以及钻孔等机械加工而形成。这样,作为流路的加工方法,能够考虑质量、成本等来适当地选择适于制作所希望的形状的加工方法。
[0112]对于上述的构成的主体11而言，如果以靠近对置面31的状态对工件束91的最上层的工件90向连接口 37供给压缩空气，则空气从喷嘴流路44 (狭缝34)以沿着圆筒状的凹部41的内壁的方向被喷射。喷射出的空气沿着圆形的凹部41的内壁面回旋而前进，从凹部41的开口端排出。
[0113]如图5所示，向对置面31与工件90之间的空间喷出的空气流经过排气孔42后向上方排出。由此，沿着凹部41的内壁面前进的空气流在朝向上述对置面31排出时流速增大，所以凹部41的内部压力降低。由于因此时形成的负压而产生的对工件90的吸引力和由凹部41排出的空气层的存在，所以工件90以与吸引卡盘10非接触的方式被保持。这样，凹部41作为吸引卡盘10的吸引部件而发挥作用。
[0114]如图7的(a)所示，吸引卡盘10的主体11所具备的对置面31具有矩形(直角四边形)、更具体而言是正方形的轮廓。该对置面31的形状与作为移载的对象的工件90(图7的点划线)相似。另外，在从与对置面31垂直的方向观察时，该对置面31形成为比工件90稍大，其结果是，对置面31能够完全地包含工件90的形状。换言之，对置面31形成为从工件90朝向外侧偏移规定距离的形状。
[0115]由此，能够有效地防止工件90的损伤。S卩，在将工件90以非接触状态保持于吸引卡盘10并且使其与端板114共同移动的情况下，例如由于惯性对工件90产生作用等情况，从而可能会导致该工件90与吸引卡盘10的对置面31接触。然而，在本实施方式中，由于对置面31构成为比工件90大，所以即使工件90与对置面31的平坦的部分接触，也能够防止其与对置面31的外边缘的部分(尖的边缘的部分)接触而受到损伤。
[0116]在本实施方式中，上述凹部41以在纵向以及横向(也就是说，与对置面31的轮廓、即直角四边形的各边平行的方向)上以等间隔规则地排列的方式配置于对置面31。而且，配置于对置面31的全部的凹部41配置于工件90的形状所能够包含的区域(即、图7的(a)的点划线所示的工件90的形状的内侧)。
[0117]由此，使由凹部41产生的吸引力与排斥力对工件90高效地发挥作用，从而能够以较强的力稳定地以非接触的方式保持该工件90。另外，由于通过形成于对置面31的凹部41进行吸引作用，所以容易实现吸引卡盘10的轻型化以及小型化。而且，即使万一在工件90与对置面31接触的情况下，也能够防止工件90的周缘部与凹部41的开口部周缘接触。
[0118]上述排气孔42以相对于凹部41在图7的(a)的纵向上邻接的方式配置在凹部41与凹部41之间。通过这样在凹部41的周围配置排气孔42，能够经由排气孔42将从上述凹部41向吸引卡盘10与工件90之间喷出的空气平稳地排出，从而能够实现稳定的吸引力。而且，全部的排气孔42配置于工件90的形状所能够包含的区域。因此，与凹部41相同，能够防止工件90的周缘部与排气孔42的开口部周缘接触。
[0119]图8是对从底面观察吸引卡盘10的情况局部放大地表示的图。如上所述，各凹部41具有圆形的内壁，且以与该内壁在切线方向上连接的方式形成喷嘴流路44 (上述的狭缝34)。对于每个凹部41形成有两条喷嘴流路44，各喷嘴流路44的端部以使相位相互错开180°的方式在凹部41的内壁开口。这样，从多个喷嘴流路44同时对一个凹部41喷出空气，从而能够在凹部41内形成稳定的回旋流。
[0120]而且，在本实施方式中，在比较在对置面31上相互邻接地开口的两个凹部41时，上述凹部41以喷嘴流路44连接于凹部41的方向相互相反的方式而构成。具体地说，在配置于图8的左上角的凹部41中，喷嘴流路44以能够在凹部41内形成顺时针的回旋流的方式连接于该凹部41。另一方面，在其右侧或者下侧邻接的凹部41中，喷嘴流路44以能够在凹部41内形成逆时针的回旋流的方式连接于该凹部41。这样，在本实施方式的吸引卡盘10中，使所形成的回旋流的方向相反的凹部41交替排列地配置，所以能够实现不易妨碍相互的流动的结构，并且能够减少吸引力的不均匀。另外，虽然各回旋流产生欲使工件90在水平面内旋转的力，但通过配置数量相同的形成顺时针的回旋流的凹部41和形成逆时针的回旋流的凹部41，能够以使该力相互抵消的方式发挥作用。由此，能够防止工件90的不必要的旋转。
[0121]然而，由上述分配槽38 (图4)构成的分配流路43以与将对置面31分割成2X4后的区域分别对应的方式共计形成有八个。各分配流路43将一个连接口 37与在该区域开口的八个对于凹部41的连接孔36 (共计16个)连接。
[0122]而且，在本实施方式中构成为，在对工件90进行保持时，不是同时对所有的连接口 37供给压缩空气，而是首先对位于对置面31的一端侧的连接口 37供给压缩空气，然后对中央侧的连接口 37供给压缩空气。这样的吸引的时间差能够通过使用上述电磁阀适当地控制对各连接口 37供给压缩空气的时机来实现。
[0123]以下，对其效果进行说明。图9是表示同时对所有的连接口 37供给压缩空气的情况的侧视图。如该图9所示，如果一旦想要吸引工件90的整个表面而将其拉起，则由于在层叠的工件90与工件90之间容易产生负压，所以下侧的工件90也被连带地提起，从而成为相对于吸附的阻力或工件90的位置混乱等的原因。
[0124]在该点上，在本实施方式中，通过对分别连接于连接口 37的电磁阀的开闭进行适当的控制，从而如图10所示首先对一端侧的连接口 37供给压缩空气，然后对邻接的连接口37供给压缩空气，以此类推，边设置时间差边进行压缩空气的供给。通过这样对吸引设置时间差，从而能够从端部向上翻起地保持工件90，进而能够防止下侧的工件90被连带地提起，实现顺畅的移载作业。
[0125]图11是示意地表示在吸引工件90的吸附动作时向凹部41供给压缩空气的顺序的仰视图。图11的(a)与本实施方式(图10)相当，依次向一侧的凹部41、中央侧的凹部41、另一侧的凹部41供给压缩空气。另一方面，如图11的(b)所示，也可以从对置面31的四个角中的一个开始依次向剩余的四个角供给压缩空气。另外，也可以不是向位于置面31的一端的凹部41而是向位于两端的凹部41同时供给压缩空气，然后再对中央侧的凹部41供给压缩空气。
[0126]接下来，对用于限制被保持的工件90的移动的结构进行说明。如图3等所示，在主体11的边缘部固定有多个引导部件17，多个引导部件17以包围该主体11的方式相互空出间隔地配置。引导部件17在形成为矩形的主体11的各边上分别配置两个，并且以夹着主体11而对置的方式配置。另外，引导部件17以与形成为平板状的主体11的厚度方向垂直的方式配置，其下端比主体11的下表面(对置面31)更向下方突出。在输送被保持于吸引卡盘10的工件90时，上述引导部件17限制工件90在与主体11的下表面(对置面31)平行的方向上相对移动。
[0127]接下来，参照图2等对工件供给装置5进行说明。该工件供给装置5作为主要的结构而具备支承台81、升降工作台82、线性致动器83以及空气喷嘴(吹送装置)84。
[0128]在支承台81的上部支承有能够在其上载置盒92的升降工作台82。在该升降工作台82上连结有安装于支承台81的线性致动器83。另外，在升降工作台82上安装有多个线性导向件85，升降工作台82通过该线性导向件85的引导而能够在上下方向上滑动移动。根据该结构，能够通过驱动线性致动器83来使升降工作台82升降。
[0129]在升降工作台82上以通过适当的定位机构而定位的状态载置有收纳层叠状态的多张工件90的盒92。此外，在以下的说明中，将像这样在厚度方向上层叠多张的状态的工件90特别称为工件束91。
[0130]在支承台81的侧部垂直地安装有喷嘴支承部件86，该喷嘴支承部件86的上端部安装有空气喷嘴84。空气喷嘴84具有中空圆筒状的筒体87，且在该筒体87上贯通状地形成有多个吹出孔88。该吹出孔88沿着筒体87的轴线方向以相互隔开相等的间隔地排成一列的方式配置。
[0131]空气喷嘴84的筒体87配置于与盒92几乎相同的高度，并且以其轴线成为水平的方式配置并由喷嘴支承部件86支承。另外，筒体87的长度方向端部经由配管89以及未图示电磁阀而连接于压缩空气源(压缩气体源)。根据该结构，通过打开电磁阀向筒体87的内部供给压缩空气，而能够使空气从吹出孔88喷出并向放置于盒92内的工件束91的侧面吹
送空气。
[0132]此外，空气喷嘴84的筒体87被喷嘴支承部件86支承为能够以其轴线为中心而旋转。因此，通过使筒体87旋转，能够调整吹出孔88的方向以使空气流良好地作用于工件束91的侧面。
[0133]该吹出孔88对空气的吹出通过与吸引卡盘IO的具有时间差的吸引并用而发挥特别优异的效果。即，如图12所示，在将空气流从吹出孔88吹出而与工件束91的端部接触的前后，首先只对靠近该空气流所接触的一侧的端部侧的凹部41供给压缩空气，然后，以使吸引区域向相反一侧的端部扩展的方式依次向凹部41供给压缩空气。由此，能够容易地将工件90的端部向上翻起，从而相对于吸引卡盘10顺利地保持该工件90。
[0134]接下来，对使用了本实施方式的吸引卡盘10的实验进行说明。该实验是对于各种结构的吸引卡盘调查供给的压缩空气的流量与吸引力的关系的实验。
[0135]在本实验中，作为吸引卡盘准备了图7所示的本实施方式的吸引卡盘10、未形成有排气孔42的吸引卡盘以及参考例的吸引卡盘这三种吸引卡盘。参考例的吸引卡盘将2X2的四个如上述专利文献I所公开的圆筒状的大伯努利元件排列配置于具有正方形的对置面的主体。参考例的吸引卡盘的大小与本实施方式的吸引卡盘几乎相同。
[0136]图13中示出了上述的实验结果。如该图所示，本实施方式的吸引卡盘10低于参考例的吸引卡盘，但是可确定其能够发挥充分大的吸引力。另外，可知与不形成排气孔42的吸引卡盘相比，形成有排气孔42的吸引卡盘10能够得到更强的吸引力。
[0137]在下一个实验中，对通过本实施方式的吸引卡盘10 (形成有排气孔42的吸引卡盘)与参考例的吸引卡盘来保持工件90的情况下的该工件90的变形量以及振动加速度进行调查。具体而言，在XY工作台的上方配置吸引卡盘，在该吸引卡盘实际地保持工件90之后，用安装于XY工作台的激光测距仪从下侧测量工件90。一边使激光测距仪在XY工作台上沿吸引卡盘所具有的对置面的对角线方向移动，一边在多个位置上进行该测定。另外，以使本实施方式的吸引卡盘10与参考例的吸引卡盘所产生的吸引力大致相同的方式对向各吸引卡盘供给的压缩空气的流量进行调整。
[0138]图14中用以吸引卡盘(对置面)的中心部为基准的相对位移来表示工件90的变形量的测定结果。这样，可知与参考例的吸引卡盘相比，本实施方式的吸引卡盘10能够抑制工件90的变形来保持工件90。
[0139]但是，如图14所示，在本实施方式的吸引卡盘10中，表示出被保持的工件90的中央部以稍向下凸出的方式变形的趋势。为了进行矫正，只要相对于对置面31的中央部分的凹部41供给比端部的凹部41稍多的流量的压缩空气来增强中央侧的吸引力即可。由此，工件90的中央部向下凸出的现象减轻，能够将工件90保持为更加水平且平坦的形状。
[0140]另外，图15中示出了振动加速度的测定结果，可知本实施方式的吸引卡盘10与参考例的卡盘相比，能够极为良好地抑制工件90的振动(高频振动)。通过像这样抑制工件90的变形与振动，能极力减小工件90与对置面31接触的可能性，明显地提高非接触性。
[0141]如以上说明的那样，在本实施方式中吸引薄的平板状的工件90并以非接触状态对其进行保持的吸引卡盘10具备平板状的主体11和对置面31。在主体11的内部形成压缩空气的流路。对置面31是主体11在与工件90对置的一侧所具备的面，且形成多个通过喷出压缩空气而产生负压的作为吸引元件的凹部41。在从与对置面31垂直的方向观察时，该对置面31以能够完全包含工件90的形状的方式构成为与工件90相似的形状(或者是比工件90的形状向外侧偏移的形状)。在从与对置面31垂直的方向观察时，全部凹部41都以能够包含在工件90的形状内的方式配置。
[0142]由此，能够很好地防止工件90与对置面31的边缘碰触而破损。另外，能够高效地发挥凹部41的吸引作用，稳定地保持工件90。
[0143]另外，在本实施方式的吸引卡盘10中，在从与对置面31垂直的方向观察时，该对置面31的形状以及工件90的形状呈直角四边形。
[0144]因此，能够无破损地平稳地保持作为被广泛使用的形状的直角四边形的工件90。
[0145]另外，在本实施方式的吸引卡盘10中，在凹部41的周围，在对置面31上开口用于排出从该凹部41喷出的压缩空气的排气孔42。在从与对置面31垂直的方向观察时，全部的排气孔42都以能够包含在工件90的形状内的方式配置。
[0146]因此，能够高效地发挥凹部41的吸引作用。另外，由于能够以更少的流量实现同等的吸引力，所以也适于在必须抑制流量的净化室的环境下的运用。而且，能够很好地防止工件90与排气孔42的开口的边缘碰触而破损的情况。
[0147]另外，在本实施方式的吸引卡盘10中，在从与对置面31垂直的方向观察时，多个凹部41以与对置面31的形状所具有的边平行的方式整列地排列。
[0148]因此，能够均匀地对工件90发挥凹部41的吸引作用，所以能够实现对工件90的
稳定的保持。
[0149]另外，在本实施方式的吸引卡盘10中，凹部41形成为圆筒状。另外，主体11具备喷嘴流路44，喷嘴流路44在沿着凹部41的内壁的方向喷出压缩空气。
[0150]因此，能够通过简单的结构在凹部41的内部形成良好的回旋流。
[0151]另外，在本实施方式的吸引卡盘10中，喷嘴流路44形成在与对置面31平行的方向上。
[0152]因此，能够实现流路构造的简单化以及小型化。
[0153]另外，在本实施方式的吸引卡盘10中，相对于一个凹部41形成有两条喷嘴流路44。[0154]由此，在凹部41中，能够形成强力且稳定的回旋流。
[0155]另外，本实施方式的吸引卡盘10的主体11是将包括形成有对置面31的表面板25和连接于压缩空气的供给源即压缩空气源的分配板28在内的四张板25?28在厚度方向上接合而构成的。在表面板25上，在对置面31上开设形成凹部41的一部分的圆形孔32。喷嘴流路44配置于对置面31与分配板28之间的位置。在分配板28上，对于压缩空气源的连接口 37配置于与表面板25相反的一侧，并且，构成用于将被导入连接口 37的压缩空气朝向喷嘴流路44引导的分配流路的分配槽38形成于朝向表面板25 —侧的面。
[0156]因此，能够实现简单的结构的流路构造。
[0157]另外，在本实施方式的吸引卡盘10中，在表面板25与分配板28之间配置喷嘴板
26。构成喷嘴流路44的狭缝34以在厚度方向上贯通的方式形成于喷嘴板26。
[0158]因此，能够以简单的结构形成喷嘴流路44。
[0159]另外，在本实施方式的吸引卡盘10中，在表面板25与分配板28之间配置连接板
27。在连接板27上形成用于连接喷嘴流路44与分配槽38的连接孔36。连接板27的厚度方向一侧的面构成喷嘴流路44的内壁的一部分。连接板27的厚度方向另一侧的面关闭分配槽38的敞开侧，从而构成分配流路43。
[0160]因此，能够以简单的结构形成压缩空气的流路。
[0161]另外，本实施方式的吸引卡盘10具有八条与多个喷嘴流路44连接的分配流路43。
[0162]因此，由于能够从分配流路43向多个喷嘴流路44供给压缩空气，所以能够实现从压缩空气源到连接口 37的流路的简单化。
[0163]另外，本实施方式的吸引卡盘10具备多条分配流路43。由通过各分配流路43而连接的连接口 37与喷嘴流路44所构成的组合相互独立。
[0164]由此，通过变更供给压缩空气的连接口 37，能够简单地控制使何处的凹部41产生吸引作用。
[0165]另外，在本实施方式的吸引卡盘10中，多张板25?28都是金属制，且通过使该多张板25?28以全部重叠的状态进行扩散接合来构成主体11。
[0166]因此，能够通过简单的工序来形成在内部形成有压缩空气的流路的主体11。
[0167]另外，在本实施方式的吸引卡盘10中，多张板25?28由从不锈钢、铝合金或者钛合金中选择出的材料形成。
[0168]因此，能够提供低成本的吸引卡盘10。
[0169]另外，在本实施方式的吸引卡盘10中，多张板25?28全部由相同的金属材料形成。
[0170]因此，能够提供形变小、尺寸精度的良好的吸引卡盘。
[0171]另外，在本实施方式的吸引卡盘10中，凹部41以及喷嘴流路44通过蚀刻而形成。
[0172]因此，能够各易地制作流路构造。
[0173]但是，在本实施方式的吸引卡盘10中，凹部41以及喷嘴流路44也可以通过机械加工而形成。
[0174]由此，由于加工形状的自由度变高，所以即使是复杂的流路构造也能够容易地制成。
[0175]另外，在本实施方式的吸引卡盘10中，连接口 37以及分配槽38通过机械加工而形成。
[0176]由此，由于加工形状的自由度变高，所以即使是复杂的流路构造也能够容易地制成。
[0177]另外，本实施方式所公开的移载机器人I具备吸引卡盘10和压缩空气源。压缩空气源是对于吸引卡盘10的压缩空气的供给源。从位于对置面31的中央部的凹部41喷出的压缩空气的喷出量，比从位于对置面31的端部的凹部41喷出的压缩空气的喷出量大。
[0178]因此，能够将工件90保持为更加接近平坦的形状。
[0179]另外，本实施方式的移载机器人I构成为，从多张工件90层叠而成的工件束91分离出最上层的一张并将其保持于吸引卡盘10。向配置于吸引卡盘10的多个凹部41中的、位于对置面31的端部的凹部41供给压缩空气，然后向位于对置面31的中央部的凹部41供给压缩空气，从而对位于工件束91的最上层的工件90进行保持。
[0180]因此，能够以从端部向上翻起的方式吸引保持工件90，从而能够实现顺畅的移载作业。
[0181]另外，本实施方式的移载机器人I具备朝向工件束91的侧面吹送压缩空气的空气喷嘴84。
[0182]因此，工件90从工件束91的分离变容易，从而能够实现顺畅的移载作业。
[0183]另外，本实施方式的移载机器人I具备用于使由吸引卡盘10保持的工件90移动的并联机构2。
[0184]因此，能够将上述的吸引卡盘10的结构所产生的效果应用于并联机构式的移载机器人。
[0185]此外，吸引卡盘10能够搭载于上述那样的并联机构2，但也能够用于图16所示那样的SCARA型臂(选择顺应性装配机器手臂)式的移载机器人lx。图16是表示在具有SCARA型臂62的移载机器人Ix上安装吸引卡盘10的变形例的俯视图。
[0186]移载机器人Ix作为主要的构成而具备机器人主体61和SCARA型臂62。在机器人主体61上安装有能够弯曲的SCARA型臂62的基部，通过驱动未图示的马达，从而能够将SCARA型臂62的前端部维持为水平状态地移动至上下左右的任意位置。
[0187]在SCARA型臂62的前端部的下表面安装有吸引卡盘10，能够以非接触的状态保持工件90。而且，通过以用吸引卡盘10保持工件90的状态驱动SCARA型臂62，从而能够使工件90向适当的位置移动。
[0188]对于该移载机器人Ix而言，由于能够将吸引卡盘10主体构成为薄型，所以例如能够实现下述的随机存取，即:即使在使多张工件90沿上下方向上分离而将它们以层叠状态收纳的盒中，也能够使安装了吸引卡盘10的SCARA型臂62的前端进入盒内而取出、收纳任意位置的工件90。
[0189]如以上所示，图16所示的移载机器人Ix具备用于使被吸引卡盘10保持的工件90移动的SCARA型臂62。
[0190]因此，能够将上述的吸引卡盘10的结构所产生的效果应用于SCARA型臂式的移载机器人。
[0191]以上，对本发明优选的实施方式以及变形例进行了说明，但上述的结构也能够进行如下变更。[0192]在上述的实施方式中，工件90以及对置面31的形状是正方形，但也可以构成为相邻的边的长度不同的直角四边形。
[0193]形成于对置面31的凹部41以及排气孔42的数量以及配置也能够根据工件90的重量以及大小等适当地进行变更。
[0194]在上述的实施方式中，是两条喷嘴流路44 (狭缝34)连接于凹部41的结构，但喷嘴流路的数量也可以是一条或三条以上。
[0195]附图标记说明
[0196]l、lx...移载机器人(移载装置)；10...吸引卡盘；11...主体；25...表面板(第一板)；26...喷嘴板(中间板)；27...连接板(第三板)；28...分配板(第二板)；31...对置面；32...圆形孔(开口孔)；36...连接孔；37...连接口 ；38...分配槽(供给槽)；41...凹部；42...排气孔；43...分配流路(供给流路)；44...喷嘴流路(喷出流路)；84...空气喷嘴(吹送装置)；90...工件；91...工件束。
【权利要求】
1.一种吸引卡盘，其吸引薄的平板状的工件并以非接触状态保持该工件，该吸引卡盘的特征在于，具备: 平板状的主体,在该主体的内部形成有压缩气体的流路；和 对置面，该对置面是所述主体在与所述工件对置的一侧所具备的面，且形成有多个通过喷出所述压缩气体而产生负压的作为吸引元件的凹部， 在与所述对置面垂直的方向观察时，该对置面以能够完全地包含所述工件的形状的方式构成为与所述工件相似的形状或者比所述工件的形状向外侧偏移的形状， 在与所述对置面垂直的方向观察时，全部的所述凹部都以能够包含于所述工件的形状的方式配置。
2.根据权利要求1所述的吸引卡盘，其特征在于， 在与所述对置面垂直的方向观察时，该对置面的形状以及所述工件的形状是直角四边形。
3.根据权利要求1所述的吸引卡盘，其特征在于， 在所述凹部的周围，在所述对置面上开设有用于将从该凹部喷出的压缩气体排出的排气孔， 在与所述对置面垂直的方向观察时，全部的所述排气孔都以能够包含于所述工件的形状的方式配置。
4.根据权利要求1所述的吸引`卡盘，其特征在于， 在与所述对置面垂直的方向观察时，多个所述凹部以与所述对置面的形状所具有的边平行的方式排列。
5.根据权利要求1所述的吸引卡盘，其特征在于， 所述凹部形成为圆筒状， 所述主体具备喷出流路，该喷出流路使压缩气体以沿着该凹部的内壁的方向喷出。
6.根据权利要求5所述的吸引卡盘，其特征在于， 所述喷出流路沿着与所述对置面平行的方向形成。
7.根据权利要求5所述的吸引卡盘，其特征在于， 相对于一个所述凹部形成有多条所述喷出流路。
8.根据权利要求5所述的吸引卡盘，其特征在于， 所述主体通过将包括形成有所述对置面的第一板和连接于所述压缩气体的供给源即压缩气体源的第二板在内的多张板在厚度方向上接合而构成， 在所述第一板的所述对置面开设开口孔，该开口孔形成所述凹部的至少一部分， 所述喷出流路配置于所述对置面与所述第二板之间的位置， 在所述第二板上，在与所述第一板相反的一侧配置与所述压缩气体源连接的连接口，并且，在朝向所述第一板侧的面形成构成供给流路的供给槽，该供给流路用于将被导入所述连接口的压缩气体向所述喷出流路引导。
9.根据权利要求8所述的吸引卡盘，其特征在于， 在所述第一板与所述第二板之间配置中间板， 在所述中间板以沿厚度方向贯通该中间板的方式形成有构成所述喷出流路的狭缝。
10.根据权利要求8所述的吸引卡盘，其特征在于，在所述第一板与所述第二板之间配置第三板， 在所述第三板形成用于将所述喷出流路与所述供给槽连接的连接孔， 所述第三板的厚度方向一侧的面构成所述喷出流路的内壁的一部分， 所述第三板的厚度方向另一侧的面将所述供给槽的敞开侧封闭从而构成所述供给流路。
11.根据权利要求8所述的吸引卡盘，其特征在于， 至少具有一条与多条所述喷出流路连接的所述供给流路。
12.根据权利要求8所述的吸引卡盘，其特征在于， 具备多条所述供给流路， 由通过各所述供给流路而连接的所述连接口与所述喷出流路所构成的组合相互独立。
13.根据权利要求8所述的吸引卡盘，其特征在于， 所述多张板都是金属制，且通过将该多张板以全部重叠的状态进行扩散接合而构成所述主体。
14.根据权利要求13所述的吸引卡盘，其特征在于， 所述多张板由从不锈钢、铝合金或者钛合金选择出的材料形成。
15.根据权利要求13所述的吸引卡盘，其特征在于， 所述多张板全部由相同的金属材料形成。
16.根据权利要求13所述的吸引卡盘，其特征在于， 所述凹部以及所述喷出流路中的至少一方通过蚀刻而形成。
17.根据权利要求13所述的吸引卡盘，其特征在于， 所述凹部以及所述喷出流路中的至少一方通过机械加工而形成。
18.根据权利要求13所述的吸引卡盘，其特征在于， 所述连接口以及所述供给槽中的至少一方通过机械加工而形成。
19.一种工件的移载装置，其特征在于，具备: 权利要求1所述的吸引卡盘；和 对所述吸引卡盘供给所述压缩气体的供给源即压缩气体源， 从位于所述对置面的中央部的凹部喷出的所述压缩气体的喷出量比从位于所述对置面的端部的凹部喷出的所述压缩气体的喷出量大。
20.一种工件的移载装置，其特征在于，具备: 权利要求1所述的吸引卡盘； 对所述吸引卡盘供给所述压缩气体的供给源即压缩气体源， 该工件的移载装置从层叠多张所述工件而成的工件束分离最上层的一张工件并将其保持于所述吸引卡盘， 在该工件的移载装置中， 向配置于所述吸引卡盘的多个所述凹部中的、位于所述对置面的端部的凹部供给所述压缩气体，然后，向位于所述对置面的中央部的凹部供给所述压缩气体，从而保持位于所述工件束的最上层的所述工件。
21.根据权利要求20所述的工件的移载装置，其特征在于， 具备朝向所述工件束的侧面吹送压缩气体的吹送装置。
22.根据权利要求19~21中任一项所述的工件的移载装置，其特征在于，具备用于使由所述吸引卡盘保持的工件移动的并联机构。
23. 根据权利要求19~21中任一项所述的工件的移载装置，其特征在于，具备用于使由所述吸引卡盘保持的工件移动的SCARA型臂。
【文档编号】B65G49/07GK103492135SQ201280019210
【公开日】2014年1月1日 申请日期:2012年2月23日 优先权日:2011年4月20日
【发明者】高嶌弘树, 中西秀明 申请人:村田机械株式会社