技术编号：4250722
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是有关于一种具有气体导引装置的光罩盒，其装设有一气体导引装置，气体导引装置连通光罩盒的至少一进气孔，并具有对应光罩盒的一第一气体流动空间的一第一出气开口及对应光罩盒的一第二气体流动空间的一第二出气开口。当进气孔供应一高洁净气体至气体导引装置，高洁净气体流经气体导引装置，并由第一出气开口及第二出气开口分别流至第一气体流动空间及第二气体流动空间，以使高洁净气体均匀分布于第一气体流动空间及第二气体流动空间，并提升对光罩的清洁效率及有效保护光罩并避免光罩与空...
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