技术编号:4282004
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,基板搬运装置包括支撑部,用于支撑基板;臂单元,所述支撑部可旋转地结合于所述臂单元;臂底座,所述臂单元可旋转地结合于所述臂底座;以及驱动部,旋转所述臂单元以及所述支撑部以移动所述支撑部,其中,在所述驱动部移动所述支撑部的过程中,朝向所述支撑部的蛇行方向的反方向移动支撑部。专利说明 [0001] 本发明涉及在电子部件的制造过程中用于搬运基板的基板搬运装置以及基板搬 运方法。 背景技术 [0002] 显示装置、太阳能电池、半导体元件等(以...
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