基板搬运装置以及利用该基板搬运装置的基板搬运方法

基板搬运装置以及利用该基板搬运装置的基板搬运方法【专利摘要】本发明涉及基板搬运装置以及利用该基板搬运装置的基板搬运方法，基板搬运装置包括：支撑部，用于支撑基板；臂单元，所述支撑部可旋转地结合于所述臂单元；臂底座，所述臂单元可旋转地结合于所述臂底座；以及驱动部，旋转所述臂单元以及所述支撑部以移动所述支撑部，其中，在所述驱动部移动所述支撑部的过程中，朝向所述支撑部的蛇行方向的反方向移动支撑部。【专利说明】【
技术领域：
】[0001]本发明涉及在电子部件的制造过程中用于搬运基板的基板搬运装置以及基板搬运方法。基板搬运装置以及利用该基板搬运装置的基板搬运方法【
背景技术：
】[0002]显示装置、太阳能电池、半导体元件等（以下称"电子部件")通过各种工序制造。这种工序中使用用于制造所述电子部件的基板（substrate)。例如，所述制造工序可以包括在基板上沉积导体、半导体、电介质等薄膜的沉积工序以及用沉积后的薄膜形成规定图案的蚀刻工序等。这种制造工序是在进行相关工序的工艺腔室内完成。基板搬运装置用于在所述腔室之间搬运基板。[0003]图1是现有技术涉及的基板搬运装置的俯视图。[0004]参照图1，现有技术涉及的基板搬运装置10包括：臂底座11;第一臂机构12,与所述臂底座11结合；第二臂机构13,与所述第一臂机构12结合；以及支撑部14,与所述第二臂机构13结合。[0005]所述臂底座11通过支撑所述第一臂机构12,从而支撑所述第二臂机构13、所述支撑部14以及被所述支撑部14支撑的基板100。[0006]所述第一臂机构12可旋转地结合在所述臂底座11上。所述第一臂机构12以结合在所述臂底座11上的部位为旋转轴12a旋转。[0007]所述第二臂机构13可旋转地结合在所述第一臂机构12上。所述第二臂机构13以结合在所述第一臂机构12上的部位为旋转轴13a旋转。[0008]所述支撑部14支撑基板100的底面。所述支撑部14可旋转地结合在所述第二臂机构13上。所述支撑部14以结合在所述第二臂机构13上的部位为旋转轴14a旋转。[0009]虽然未图示，所述臂底座11上设有用于移动所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑部14的动力源(未图示)。所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑部14上分别设有滑轮(未图示)。所述动力源通过传动带(未图示）与所述滑轮连接。由此，当所述动力源以旋转轴12a为中心旋转所述第一臂机构12时，通过这种13联动作用，所述第二臂机构13和所述支撑部14分别以旋转轴13a、14a为中心旋转。由此，现有技术涉及的基板搬运装置10以相互重叠或展开所述第一臂机构12以及所述第二臂机构13的方式移动所述第一臂机构12以及所述第二臂机构13,从而能够移动所述支撑部14,通过这种方式，进行在所述工艺腔室之间搬运所述基板100的工序。[0010]其中，现有技术涉及的基板搬运装置1〇调节所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑部14的旋转方向以及旋转程度，以便所述支撑部14能够沿着直线轨迹20移动。但是，由于分别发生在所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑部14上的变形、所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑部14各自旋转的速度以及旋转时产生的反作用力、传动带的刚性等各种原因，如图1中的点划线所示，所述支撑部14无法沿着所述直线轨迹20移动，而是进行蛇行（Meandering)。[0011]由此，现有技术涉及的基板搬运装置10存在如下问题。[0012]第一，现有技术涉及的基板搬运装置10,由于所述支撑部14无法沿着所述直线轨迹20移动，而是蛇行，因此所述支撑部14有可能被所述工艺腔室、储存盒等器具撞击。因此，现有技术涉及的基板搬运装置10具有因所述支撑部14以及所述基板100被损坏或破损而导致工艺费用上升的问题。[0013]第二，对于现有技术涉及的基板搬运装置10,曾提出如下方案：通过降低所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑部14的旋转速度，以降低所述支撑部14脱离所述直线轨迹20蛇行的程度。但是，根据这种方案，现有技术涉及的基板搬运装置10由于增加搬运基板100所需的时间，导致降低所述电子部件的生产率以及合格率。【
发明内容】[0014]本发明是为了解决上述问题而提出，其目的在于提供一种基板搬运装置以及利用该基板搬运装置的基板搬运方法，其能够降低支撑部脱离直线轨迹蛇行的程度。[0015]本发明的目的在于提供一种基板搬运装置以及利用该基板搬运装置的基板搬运方法，在电子部件制造过程中能够缩短搬运基板所需的时间。[0016]为了解决如上问题，本发明可以包括如下结构。[0017]本发明涉及的基板搬运装置可以包括：支撑部，用于支撑基板；臂单元，所述支撑部可旋转地结合于所述臂单元；臂底座，所述臂单元可旋转地结合于所述臂底座；驱动部，旋转所述臂单元以及所述支撑部以移动所述支撑部；以及旋转部，旋转所述臂底座，以变更所述支撑部的朝向，其中，在所述驱动部移动所述支撑部的过程中，所述旋转部朝向所述支撑部的蛇行方向的反方向旋转所述臂底座。[0018]本发明涉及的基板搬运装置可以包括：支撑部，用于支撑基板；臂单元，所述支撑部可旋转地结合于所述臂单元；臂底座，所述臂单元可旋转地结合于所述臂底座；驱动部，旋转所述臂单元以及所述支撑部以移动所述支撑部；以及升降部，用于升降所述臂底座，以变更所述支撑部的高度，在所述驱动部移动所述支撑部的过程中，所述升降部可以朝向所述支撑部的垂直方向上的蛇行方向的反方向升降所述臂底座。[0019]本发明涉及的基板搬运装置可以包括：支撑部，用于支撑基板；臂单元，所述支撑部可旋转地结合于所述臂单元；臂底座，所述臂单元可旋转地结合于所述臂底座；驱动部，旋转所述臂单元以及所述支撑部以移动所述支撑部；旋转部，旋转所述臂底座，以变更所述支撑部的朝向；以及修正部，在所述驱动部移动所述支撑部的过程中，朝向所述支撑部的垂直方向或水平方向中的至少一个方向上的蛇行方向的反方向移动所述臂底座或所述臂单JLi〇[0020]本发明涉及的基板搬运方法可以包括：使结合有支撑部的臂单元以及所述支撑部旋转，移动所述支撑部的步骤；以及在移动所述支撑部的过程中，朝向所述支撑部的蛇行方向的反方向移动所述支撑部，以修正所述支撑部的移动的步骤。[0021]本发明具有如下效果。[0022]本发明通过降低支撑部脱离直线轨迹蛇行的程度，从而能够防止支撑部或被支撑部支撑的基板被破损而导致工艺费用上升的现象，由此能够降低制造电子部件所需的工艺费用以及电子部件的制造单价。[0023]由于本发明能够降低支撑部移动过程中的蛇行的程度，并且能够提高搬运支撑部时的速度，因此缩短搬运基板所需的时间，从而能够提高电子部件的生产率以及合格率。【专利附图】【附图说明】[0024]图1是现有技术涉及的基板搬运装置的概略俯视图。[0025]图2是本发明涉及的基板搬运装置的概略框图。[0026]图3是本发明涉及的基板搬运装置的概略立体图。[0027]图4以及图5是用于说明本发明涉及的基板搬运装置以水平方向为基准修正支撑部的蛇行动作的概略俯视图。[0028]图6是用于说明本发明涉及的基板搬运装置以垂直方向为基准修正支撑部的蛇行动作的概略俯视图。[0029]图7是表示本发明涉及的基板搬运装置的支撑部的移动速度和时间之间关系的图表。[0030]图8是本发明的变形实施例涉及的基板搬运装置的概略框图。[0031]图9是本发明的变形实施例涉及的基板搬运装置的概略立体图。[0032]图10是本发明涉及的基板搬运方法的概略顺序图。[0033]附图标记[0034]1:基板搬运装置[0035]2:支撑部[0036]3:臂单元[0037]4:臂底座[0038]5:驱动部[0039]6:旋转部[0040]7:升降部[0041]8:移动部[0042]9:修正部[0043]100:基板【具体实施方式】[0044]以下参照附图详细说明本发明涉及的基板搬运装置的实施例。[0045]参照图2至图5,本发明涉及的基板搬运装置1用于搬运基板100。所述基板100用于制造显示装置、太阳能电池、半导体元件等电子部件。例如，本发明涉及的基板搬运装置1能够在对所述基板100进行沉积装置、蚀刻装置等制造工序的腔室之间搬运所述基板100。[0046]本发明涉及的基板搬运装置1包括：支撑部2,用于支撑所述基板100;臂单元3，供所述支撑部2可旋转地结合；臂底座4,供所述臂单元3可旋转地结合；驱动部5,为了移动所述支撑部2而旋转所述臂单元3以及所述支撑部2;旋转部6,旋转所述臂底座4,以变更所述支撑部的朝向；以及升降部7,升降所述臂底座4,以变更所述支撑部2所处的高度。[0047]其中，所述支撑部2在通过所述驱动部5移动的过程中有可能无法沿着直线轨迹20移动。例如，如图4所示，所述支撑部2在第一位置P1和第二位置P2互相朝向相同的基准方向，而在通过所述驱动部5从所述第一位置P1向所述第二位置P2移动的过程中，相对于所述基准方向，所述支撑部2有可能朝向不同的方向旋转，从而进行蛇行。[0048]为了防止这种现象，本发明涉及的基板搬运装置1，在通过所述驱动部5移动所述支撑部2的过程中，所述旋转部6可以使所述臂底座2朝向所述支撑部2的蛇行方向的反方向旋转。由此，本发明涉及的基板搬运装置1通过降低所述支撑部2在移动过程中相对于所述基准方向，朝向不同的方向旋转的程度，从而降低所述支撑部2蛇行的程度。[0049]例如，如图4所示，当所述支撑部2在所述第一位置P1和所述第二位置P2之间以所述基准方向作为基准向右旋转蛇行时，如图5所示，所述旋转部6通过逆时针方向旋转所述臂底座4,从而能够降低所述手柄2的蛇行程度。[0050]由此，本发明涉及的基板搬运装置1能够具有如下作用。[0051]第一，本发明涉及的基板搬运装置1通过降低所述支撑部2脱离所述直线轨迹20蛇行的程度，从而能够防止所述支撑部2或被所述支撑部2支撑的基板100被所述工艺腔室、储存盒等器具撞击的现象。由此，本发明涉及的基板搬运装置1能够防止所述支撑部2以及所述基板100被损坏或破损导致工艺费用上升的现象。由此，相对于现有技术，由于本发明涉及的基板搬运装置1降低了利用所述基板100来制造电子部件的工艺费用，从而能够降低所述电子部件的制造单价。[0052]第二，由于本发明涉及的基板搬运装置1降低了所述手柄2蛇行的程度，因此无需降低使所述臂单元3以及所述支撑部2旋转的所述驱动部5的速度，也能够使所述手柄2沿着所述直线轨迹20或接近直线轨迹20轨迹移动。由此，相对于现有技术，本发明涉及的基板搬运装置1通过缩短搬运基板100所需的时间，从而能够提高所述电子部件的生产率以及合格率。[0053]以下参照附图对所述支撑部2、所述臂单元3、所述臂底座4、所述驱动部5、所述旋转部6以及所述升降部7进行详细说明。[0054]参照图2以及图3,所述支撑部2用于支撑所述基板100。所述支撑部2可旋转地结合在所述臂单元3上。所述支撑部2可以以支撑部旋转轴2a为中心可旋转地结合在所述臂单元3上。[0055]所述支撑部2包括接触所述基板100的叉子21。所述叉子21通过接触所述基板100的底面，从而能够支撑所述基板100。虽然图3示出所述支撑部2包括四个叉子21的结构，但并非限定于此，所述支撑部2可以包括一个、两个、三个、或五个以上的叉子21。[0056]参照图2以及图3,所述臂单元3移动所述支撑部2。所述臂单元3可旋转地结合在所述臂底座4上。所述驱动部5旋转所述臂单元3以重叠或展开所述臂单元3,从而能够使所述支撑部2在所述第一位置P1和所述第二位置P2之间移动。此时，所述驱动部5也能够旋转所述支撑部2。所述臂单元3包括第一臂机构31以及第二臂机构32。[0057]所述第一臂机构31可旋转地结合在所述臂底座4上。所述第一臂机构31可以以所述第一臂旋转轴31a为中心可旋转地结合在所述臂底座4上。[0058]所述第二臂机构32可旋转地结合在所述第一臂机构31上。所述第二臂机构32可以以所述第二臂旋转轴32a为中心可旋转地结合在所述第一臂机构31上。所述驱动部5可以重叠或展开所述第一臂机构31以及所述第二臂机构32的方式，从而能够使所述第一臂机构31以及所述第二臂机构32向相反方向旋转。[0059]参照图2以及图3,所述臂底座4结合在所述升降部7上。所述第一臂机构31可旋转地结合在所述臂底座4上。所述臂底座4可以通过所述升降部7升降。随着所述臂底座4通过所述升降部7升降，所述臂单元3以及所述支撑部2也同时升降。由此，所述升降部7能够调节所述支撑部2在垂直方向上所处的高度。[0060]参照图2以及图3,所述驱动部5(图2中示出）通过旋转所述臂单元3以及所述支撑部2,从而移动所述支撑部2。所述驱动部5使所述臂单元3以及所述支撑部2分别向顺时针方向和逆时针方向旋转。由此，所述驱动部5能够从所述第一位置P1向所述第二位置P2移动所述支撑部2,并且能够从所述第二位置P2向所述第一位置P1移动所述支撑部2。当所述支撑部2位于所述第二位置P2时，可以位于所述工艺腔室或所述储存盒的内部。当所述支撑部2位于所述第一位置P1时，可以位于所述工艺腔室或所述储存盒的外部。本发明涉及的基板搬运装置1通过使所述支撑部2在所述第一位置P1和所述第二位置P2移动，从而进行将所述基板100搬运至所述工艺腔室或储存盒的搬入工序以及将所述基板100从所述工艺腔室或储存盒搬出的搬出工序。[0061]所述驱动部5可以包括设置在所述臂底座4内部的驱动单元51(图2中示出）。所述驱动单元51产生用于旋转所述臂单元3以及所述支撑部2的驱动力，以使所述支撑部2在所述第一位置P1和所述第二位置P2之间移动。所述驱动单元51可以包括用于产生驱动力的驱动电机(未图示)。所述驱动单元51还可以包括：减速器(未图示)，分别设置在所述第一臂旋转轴31a、第二臂旋转轴32a以及支撑部旋转轴2a上；以及传动带(未图示)，用于连接所述减速器和所述驱动单元51。所述驱动电机通过所述传动带来驱动减速器，从而能够旋转所述臂单元3以及所述支撑部2。[0062]虽然未图示，所述驱动部5还可以包括多个所述驱动单元51。此时，所述驱动部5可以包括用于旋转所述第一臂机构31的第一驱动单元以及用于旋转所述第二臂机构32的第二驱动单元。所述第二驱动单元通过减速器以及传动带，使所述第二臂机构32以及所述支撑部2同时旋转。[0063]参照图2至图5,所述旋转部6可以旋转所述臂底座4,以变更所述支撑部2的朝向。所述旋转部6通过旋转所述升降部7,从而能够旋转所述臂底座4。所述旋转部6可以以旋转轴6a为中心可旋转地结合在移动部8上。由于所述旋转部6以所述旋转轴6a为中心旋转，从而能够使所述升降部7以及所述臂底座4以所述旋转轴6a为中心旋转。所述移动部8用于向运行方向移动所述旋转部6。[0064]所述旋转部6可以旋转所述臂底座4,以变更所述支撑部2的朝向。例如，所述旋转部6可以旋转所述臂底座4,以使所述支撑部2朝向将要进行所述搬入工序和所述搬出工序的工艺腔室或储存盒。[0065]在所述驱动部5移动所述支撑部2的过程中，所述旋转部6能够朝向所述支撑部2的水平方向上的蛇行方向的反方向旋转所述臂底座4。[0066]例如，如图4所示，在移动所述支撑部2的过程中，以所述基准方向为基准向右旋转蛇行时，如图5所述，所述旋转部6向逆时针方向旋转所述臂底座4,从而能够降低所述支撑部2的所述水平方向上的蛇行的程度。此时，所述旋转部6也可以使所述臂底座4向逆时针方向旋转至所述支撑部2不会在所述基准方向上向右蛇行的角度。[0067]例如，所述支撑部2在移动过程中以所述基准方向为基准向左旋转蛇行时，所述旋转部6向顺时针方向旋转所述臂底座4,从而能够降低所述支撑部2的水平方向上的蛇行的程度。此时，所述旋转部6也可以使所述臂底座4向顺时针方向旋转至所述支撑部2不会在所述基准方向上向左蛇行的角度。[0068]在所述支撑部2开始蛇行的时间点或接近所述支撑部2开始蛇行的时间点，所述旋转部6可以朝向所述支撑部2的蛇行的反方向旋转所述臂底座4。[0069]所述旋转部6可以根据规定的控制信号，朝向所述支撑部2的蛇行方向的反方向旋转所述臂底座4。所述控制信号可以由查询表（look-uptable)生成，该查询表中，按照所述支撑部2在所述第一位置P1和所述第二位置P2之间移动时经过的每个位置坐标，匹配有所述支撑部2的蛇行方向以及所述支撑部2的蛇行程度。所述查询表可以通过模拟、动作实验等预先生成，并保存在控制部la(图2中示出）中。[0070]所述控制部la可以根据所述查询表所具有的信息以及所述支撑部2的位置坐标生成所述控制信号。当确定所述第一位置P1以及所述第二位置P2时，所述控制部la也可以根据所述第一位置P1的位置坐标、所述第二位置P2的位置坐标以及所述第一位置P1和所述第二位置P2相互隔开的间距等，通过所述查询表预先生成包含所述支撑部2在所述第一位置P1、所述第二位置P2之间移动的过程中所述旋转部6旋转所述臂底座4的时间点、地点、旋转角度等的所有控制信号。本发明涉及的基板搬运装置1可以独立于所述控制部la构成,或者也可以包括所述控制部la。[0071]所述旋转部6可以包括旋转单元61(图2中示出）。所述旋转单位61产生用于旋转所述臂底座4的驱动力。所述旋转单元61可以产生用于旋转所述臂底座4的驱动力，以变更所述支撑部2的朝向。在所述驱动部5移动所述支撑部2的过程中，所述旋转单元61产生驱动力使所述臂底座4朝向所述支撑部2的水平方向上的蛇行方向的反方向旋转。所述旋转单元61可以包括用于产生驱动力的旋转电机(未图示)。所述旋转单元61还可以进一步包括与所述旋转电机连接的减速器、传动带等。[0072]参照图2以及图3,所述升降部7可以升降所述臂底座4,以变更所述支撑部2所处的高度。所述升降部7可以结合在所述旋转部6上。所述臂底座4在所述垂直方向上可升降地结合在所述升降部7上。[0073]参照图2、图3以及图6,在所述驱动部5移动所述支撑部2的过程中，所述升降部7能够朝向所述支撑部2的垂直方向上的蛇行方向的反方向升降所述臂底座4。[0074]例如，如图6所示，在移动过程中所述支撑部2向下蛇行时，所述升降部7通过上升所述臂底座4,能够降低所述支撑部2向所述垂直方向上蛇行的程度。此时，所述升降部7也可以使所述臂底座4上升至所述支撑部2不会向下蛇行的高度。[0075]例如，在移动过程中所述支撑部2向上蛇行时，所述升降部7下降所述臂底座4,从而能够降低所述支撑部2向所述垂直方向蛇行的程度。此时，所述升降部7也可以使所述臂底座4下降至所述支撑部2不会向上蛇行的高度。[0076]所述升降部7可以包括升降单元7a(图2中示出）。所述升降单元7a产生用于升降所述臂底座4的驱动力。所述升降单元7a可以产生用于升降所述臂底座4的驱动力，以变更所述支撑部2所处的高度。在所述驱动部5移动所述支撑部2的过程中，所述升降单元7a产生驱动力使所述臂底座4朝向所述支撑部2的垂直方向上的蛇行方向的反方向升降。所述升降单元7a也可以进一步包括与所述升降电机连接的齿条和小齿轮。所述升降单元7a也可以进一步包括与所述升降电机连接的滚珠螺杆以及球状螺母。[0077]参照图2以及图3,所述升降部7可以包括第一升降机构71以及第二升降机构72。[0078]所述第一升降机构71结合在所述旋转部6上。随着所述旋转部6以所述旋转轴6a为中心旋转，所述第一升降机构71可以以所述旋转轴6a为中心同时旋转。所述第一升降机构71可以升降所述第二升降机构72。[0079]所述第二升降机构72可升降地结合在所述第一升降机构71上。所述臂底座4结合在所述第二升降机构72上。由此，当所述第二升降机构72通过所述第一升降机构71升降时，所述臂底座4随着所述第二升降机构72的升降而同时升降。所述第二升降机构72可以升降所述臂底座4。此时，所述臂底座4可升降地结合在所述第二升降机构72上。由此，根据所述第一升降机构71升降所述第二升降机构72的距离以及所述第二升降机构72升降所述第一升降机构71的距离，所述支撑部2的高度可能变更。[0080]虽然未图示，当所述升降部7可以包括第一升降机构71以及第二升降机构72时，所述升降部7可以包括：第一升降单元，产生用于升降所述第二升降机构72的驱动力；第二升降单元，产生用于升降所述臂底座4的驱动力。所述升降部7通过使所述第一升降单元以及所述第二升降单元单独地动作，从而能够更加精确地调整所述支撑部2所处的高度。此外，所述升降部7通过使所述第一升降单元以及所述第二升降单元单独地动作，从而能够进一步降低所述支撑部2向所述垂直方向蛇行的程度。[0081]在所述支撑部2开始在所述垂直方向上蛇行的时间点或接近所述支撑部2开始蛇行的时间点，所述升降部7可以朝向所述支撑部2的蛇行方向的反方向升降所述臂底座4。[0082]所述升降部7可以根据规定的控制信号，朝向所述支撑部2的所述垂直方向上的蛇行的反方向升降所述臂底座4。所述控制信号可以由查询表（look-uptable)生成，该查询表中，按照所述支撑部2在所述第一位置P1和所述第二位置P2之间移动时经过的每个位置坐标，匹配有所述支撑部2的蛇行方向以及所述支撑部2的蛇行程度。所述查询表可以通过模拟、动作实验等预先生成，并保存在控制部la(图2中示出）中。[0083]所述控制部la可以根据所述查询表所具有的信息以及所述支撑部2的位置坐标生成所述控制信号。当确定了所述第一位置P1以及所述第二位置P2时，所述控制部la也可以根据所述第一位置P1的位置坐标、所述第二位置P2的位置坐标以及所述第一位置P1和所述第二位置P2相互隔开的间距等，通过所述查询表预先生成包含所述支撑部2在所述第一位置P1和所述第二位置P2之间移动的过程中所述旋转部6使所述臂底座4旋转的时间点、地点、旋转角度等的所有控制信号。[0084]如上所述，本发明涉及的基板搬运装置1，由于所述旋转部6以所述水平方向为基准旋转所述臂底座4,从而能够降低移动过程中所述支撑部2在所述水平方向上蛇行的程度。本发明涉及的基板搬运装置1，由于所述升降部7在所述垂直方向上旋转所述臂底座4,从而能够降低移动过程中所述支撑部2在所述垂直方向上蛇行的程度。[0085]由此，本发明涉及的基板搬运装置1能够进一步降低所述支撑部2在移动过程中的蛇行程度，由此进一步降低所述支撑部2在移动过程中的振动、晃动等程度，从而能够使支撑部2沿着所述直线轨迹20或更加接近所述直线轨迹20的轨迹移动。[0086]由此，本发明涉及的基板搬运装置1防止所述支撑部2或所述基板100被损坏或而破损导致工艺费用上升的现象。[0087]此外，本发明涉及的基板搬运装置1通过提高用于搬运基板100的所述支撑部2的移动速度，从而能够提高电子部件的生产率以及合格率。对此进行详细的说明。[0088]首先，与所述支撑部2的蛇行无关地，当所述驱动部5旋转所述臂单元3以及所述支撑部2时，所述支撑部2以图7中用实线表示的第一速度曲线G1的速度移动。由此，所述支撑部2从所述第一位置P1向所述第二位置P2移动时需要第一动作时间T1。[0089]其次，当为了降低所述支撑部2蛇行的程度，所述驱动部5降低所述臂单元3以及所述支撑部2的旋转速度时，所述支撑部2以图7中用点线表示的第二速度曲线G2的速度移动。由此，所述支撑部2从所述第一位置P1向所述第二位置P2移动时需要第二动作时间T2,该第二动作时间T1长于所述第一动作时间T1。[0090]其次，当所述旋转部6和所述升降部7中的至少一个降低所述支撑部2蛇行的程度时，所述驱动部5能够提高所述臂单元3以及所述支撑部2的旋转速度。由此，所述支撑部2以图7中用点划线表示的第三速度曲线G3的速度移动。因此，所述支撑部2从所述第一位置P1向所述第二位置P2移动时需要第三动作时间T3,该第三动作时间T3短于所述第一动作时间T1以及所述第二动作时间T2。[0091]由此，本发明涉及的基板搬运装置1能够降低所述支撑部2移动过程中的蛇行程度，同时能够提高为了搬运所述基板100而移动所述支撑部2的速度，从而能够防止所述支撑部2和所述基板100被损坏或破损导致工艺费用上升的现象，而且能够提高所述电子部件的生产率以及合格率。[0092]本发明涉及的基板搬运装置1，由于所述旋转部6旋转所述臂底座4,所述升降部7升降所述臂底座4,从而能够降低所述支撑部2在移动过程中所述水平方向以及所述垂直方向上的蛇行程度。因此，本发明涉及的基板搬运装置1能够进一步降低所述支撑部2移动过程中的蛇行程度，从而进一步降低所述支撑部2移动过程中的振动以及晃动等程度，由此，支撑部2能够沿着所述直线轨迹20或更接近所述直线轨迹20的轨迹移动。此外，由于本发明涉及的基板搬运装置1能够进一步提高搬运所述基板100时的所述支撑部2的移动速度，从而能够提高所述电子部件的生产率以及合格率。[0093]参照图8及图9,本发明涉及的基板搬运装置1还可以包括修正部9,该修正部9在所述驱动部5移动所述支撑部2过程中修正所述支撑部2的朝向。[0094]在所述驱动部5移动所述支撑部2的过程中，所述修正部9能够朝向所述支撑部2的所述垂直方向和所述水平方向中的至少一个方向上的蛇行方向的反方向移动所述臂底座4。由此，在所述驱动部5移动所述支撑部2的过程中，所述修正部9能够降低所述垂直方向和所述水平方向中的至少一个方向上的所述支撑部2的蛇行程度。[0095]当所述修正部9降低所述水平方向上的所述支撑部2的蛇行程度时，由于所述修正部9以第一旋转轴4a(图9中示出)为中心旋转所述臂底座4,从而能够朝向所述支撑部2的所述水平方向上的蛇行方向的反方向移动所述臂底座4。此时，所述修正部9可以根据由所述控制部la提供的控制信号，以所述第一旋转轴4a为中心旋转所述臂底座4。所述修正部9可以包括修正单元91a(图8中示出）。所述修正单元91产生用于旋转所述臂底座4的驱动力。在所述驱动部5移动所述支撑部2的过程中，所述修正单元91可以产生驱动力，该驱动力使所述臂底座4朝向所述支撑部2在所述水平方向上的蛇行方向的反方向旋转。所述修正单元91可以包括用于产生驱动力的修正电机(未图示)。所述修正单元91也可以进一步包括与所述修正电机连接的减速器、传动带等。当所述修正部9降低所述支撑部2在所述垂直方向上的蛇行程度时，所述修正部9可以通过升降所述臂底座4,朝向所述支撑部2在所述垂直方向上的蛇行方向的反方向移动所述臂底座4。此时，所述修正单元91可以产生用于升降所述臂底座4的驱动力。所述修正单元91可以产生驱动力，从而在所述驱动部5移动所述支撑部2的过程中，朝向所述支撑部2的所述水平方向上的蛇行方向的反方向升降所述臂底座4。所述修正部9能够根据由所述控制部la提供的控制信号来升降所述臂底座4。[0096]为了降低所述支撑部2蛇行的程度，所述修正部9可以代替所述旋转部6以及所述升降部7移动所述臂底座4。此时，所述修正部9可以包括：第一修正单元，用于产生旋转所述臂底座4的驱动力；第二修正单元，用于产生升降所述臂底座4的驱动力。所述修正部9也可以进一步包括连接单元，该连接单元用于连接所述修正电机以及所述臂底座4。所述连接单元可以是滑轮、传动带、齿轮以及链条。当所述臂底座4以直线移动时，所述连接单元可以是滑轮、传动带、齿轮、链条、齿条、小齿轮、滚珠螺杆或球状螺母中的任一种。所述修正部9通过移动所述臂单元3,从而能够降低所述支撑部2蛇行的程度。此时，所述修正部9可以移动所述第一臂机构31或所述第二臂机构32中的至少一个。本发明涉及的基板搬运装置1，由于所述旋转部6、所述升降部7以及所述修正部9以相互联动的方式动作，从而能够降低所述支撑部2蛇行的程度。[0097]所述修正部9通过以第二旋转轴4b(图9中示出）为中心旋转所述臂底座4,可以朝向所述支撑部2的所述垂直方向上的蛇行方向的反方向移动所述臂底座4。所述第二旋转轴4b是指，垂直于所述第一旋转轴4a的旋转轴。通过以所述第二旋转轴4b为中心旋转所述臂底座4,所述修正部9可以降低所述支撑部2在移动过程中朝向所述垂直方向倾斜的程度。所述修正部9根据由所述控制部la提供的控制信号，可以以所述第二旋转轴4a为中心旋转所述臂底座4。[0098]以下参照附图详细说明本发明涉及的基板搬运方法的优选实施例。[0099]参照图2至图10,本发明涉及的基板搬运方法可以利用本发明涉及的基板搬运装置来进行。本发明涉及的基板搬运方法可以包括如下结构。[0100]首先，移动所述支撑部2(S10)。这种工序S10可以通过由所述驱动部5旋转所述臂单元3以及所述支撑部2而实现。移动所述支撑部2的工序S10可以通过从所述第一位置P1向所述第二位置P2移动所述支撑部2或者从所述第二位置P2向所述第一位置P1移动所述支撑部而实现。[0101]其次，修正所述支撑部2的移动（S20)。这种工序S20可以在进行移动所述支撑部2的工序S10的过程中进行。修正所述支撑部2的移动的工序S20可以通过在移动所述支撑部2的过程中，通过朝向所述支撑部2的蛇行方向的反方向移动所述支撑部2而实现。修正所述支撑部2的移动的工序S20可以通过所述旋转部6、所述升降部7以及所述修正部9中的任一种进行。[0102]修正所述支撑部2的移动的工序S20可以包括在移动所述支撑部2的过程中，朝向所述支撑部2的所述水平方向上的蛇行方向的反方向旋转所述支撑部2的工序。这种工序可以通过由所述旋转部6旋转所述升降部7,从而旋转所述臂底座4而实现。旋转所述支撑部2的工序，也可以通过由所述修正部9旋转所述臂底座4或所述臂单元3而实现。旋转所述支撑部2的工序也可以通过使所述旋转部6以及所述修正部9联动动作而实现。[0103]修正所述支撑部2的移动的工序S20可以包括在移动所述支撑部2的过程中，朝向所述支撑部2的所述垂直方向上的蛇行方向的反方向升降所述支撑部2的工序。这种工序可以通过由所述升降部7升降所述臂底座4而实现。升降所述支撑部2的工序，也可以通过由所述修正部9升降所述臂底座4或所述臂单元3而实现。升降所述支撑部2的工序也可以通过使所述升降部7以及所述修正部9联动动作而实现。[0104]以上说明的本发明并非限定于上述实施例以及附图，在不脱离本发明的技术思想的范围内，本发明可以进行各种替换、变形以及变更，这对于所属领域的技术人员来说是容易想到的。【权利要求】1.一种基板搬运装置，其特征在于，包括：支撑部，用于支撑基板；臂单元，所述支撑部可旋转地结合于所述臂单元；臂底座，所述臂单元可旋转地结合于所述臂底座；驱动部，旋转所述臂单元以及所述支撑部以移动所述支撑部；以及旋转部，旋转所述臂底座，以变更所述支撑部的朝向，其中，在所述驱动部移动所述支撑部的过程中，所述旋转部朝向所述支撑部的蛇行方向的反方向旋转所述臂底座。2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，包括升降部，所述升降部用于升降所述臂底座，以变更所述支撑部所处的高度，所述臂底座结合在所述升降部上，所述升降部结合在所述旋转部上，所述旋转部朝向所述支撑部的蛇行方向的反方向旋转所述升降部，从而旋转所述臂底座。3.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，包括升降部，所述升降部用于升降所述臂底座，以变更所述支撑部所处的高度，所述旋转部朝向所述支撑部的水平方向上的蛇行方向的反方向旋转所述臂底座，所述升降部朝向所述支撑部的垂直方向上的蛇行方向的反方向升降所述臂底座。4.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，所述驱动部包括驱动单元，所述驱动单元产生驱动力来旋转所述臂单元以及所述支撑部，以便使所述支撑部在位于工艺腔室或储存盒的外部的第一位置与位于所述工艺腔室或所述储存盒的内部的第二位置之间移动，所述旋转部包括旋转单元，当由所述驱动部在所述第一位置和所述第二位置之间移动所述支撑部的过程中，所述旋转单元产生驱动力以朝向所述支撑部的蛇行方向的反方向旋转所述臂底座。5.-种基板搬运装置，其特征在于，包括：支撑部，用于支撑基板；臂单元，所述支撑部可旋转地结合于所述臂单元；臂底座，所述臂单元可旋转地结合于所述臂底座；驱动部，旋转所述臂单元以及所述支撑部以移动所述支撑部；以及升降部，用于升降所述臂底座，以变更所述支撑部的高度，在由所述驱动部移动所述支撑部的过程中，所述升降部朝向所述支撑部的垂直方向上的蛇行方向的反方向升降所述臂底座。6.根据权利要求5所述的基板搬运装置，其特征在于，所述驱动部包括驱动单元，所述驱动单元产生驱动力来旋转所述臂单元以及所述支撑部，以便使所述支撑部在位于工艺腔室或储存盒的外部的第一位置与位于所述工艺腔室或所述储存盒的内部的第二位置之间移动，所述升降部包括升降单元，当由所述驱动部在所述第一位置和所述第二位置之间移动所述支撑部的过程中，所述升降单元产生驱动力以朝向所述支撑部的所述垂直方向上的蛇行方向的反方向升降所述臂底座。7.-种基板搬运装置，其特征在于，包括：支撑部，用于支撑基板；臂单元，所述支撑部可旋转地结合于所述臂单元；臂底座，所述臂单元可旋转地结合于所述臂底座；驱动部，旋转所述臂单元以及所述支撑部以移动所述支撑部；旋转部，旋转所述臂底座，以变更所述支撑部的朝向；以及修正部，在由所述驱动部移动所述支撑部的过程中，所述修正部朝向所述支撑部的垂直方向或水平方向中的至少一个方向上的蛇行方向的反方向移动所述臂底座或所述臂单JLi〇8.-种基板搬运方法，其特征在于，包括：使结合有支撑部的臂单元以及所述支撑部进行旋转，以移动所述支撑部的步骤；以及在移动所述支撑部的过程中，朝向所述支撑部的蛇行方向的反方向移动所述支撑部，以修正所述支撑部的移动的步骤。9.根据权利要求8所述的基板搬运方法，其特征在于，修正所述支撑部的移动的步骤包括：在移动所述支撑部的过程中，朝向所述支撑部的水平方向上的蛇行方向的反方向旋转所述支撑部的步骤。10.根据权利要求8所述的基板搬运方法，其特征在于，修正所述支撑部的移动的步骤包括：在移动所述支撑部的过程中，朝向所述支撑部的垂直方向上的蛇行方向的反方向升降所述支撑部的步骤。【文档编号】B65G49/05GK104108606SQ201410160849【公开日】2014年10月22日申请日期:2014年4月21日优先权日:2013年4月19日【发明者】金兑炫,金东赫,金祥铉申请人:现代重工业株式会社