基板移送装置及基板移送方法与流程

文档序号:11136468阅读:659来源:国知局
基板移送装置及基板移送方法与制造工艺

本发明涉及基板移送装置及基板移送方法,尤其涉及一种将基板浮起移送的基板移送装置及利用该基板移送装置的基板移送方法。



背景技术:

通常,平板显示(Flat Panel Display:FPD)装置由面积相对大的基板制成。制造这种平板显示装置的工序期间,所述基板在腔体等制造装备之间频繁发生移送。尤其,在制造所述平板显示装置的工序中向所述基板上涂布光致抗蚀剂溶液的涂布工序期间,以浮起所述基板的状态移送所述基板。

以浮起所述基板的状态移送所述基板的装置通常包括浮起所述基板的浮起工作台、配置在所述浮起工作台的两侧部的导轨、把持所述基板的两侧部且沿所述导轨移动的基板把持部等。

根据现有的基板移送装置,基板把持部在移送所述基板时同时整体把持所述基板的两侧部。例如,所述基板把持部具有在所述基板移送期间能够整体覆盖所述基板的两侧部的长度,同时分别把持所述基板的两侧部。

但所述基板把持部同时整体把持所述基板的两侧部的情况下,所述基板把持部致使所述基板整体弯曲。尤其,在向所述基板上涂布光致抗蚀剂溶液的涂布工序期间,当所述基板把持部致使所述基板整体弯曲的情况下,所述基板的上部有可能与喷射所述光致抗蚀剂溶液的喷嘴发生碰撞导致所述基板受损。并且,由于所述光致抗蚀剂溶液无法均匀地涂布到所述基板上,因此可能会引起所述显示装置不良。



技术实现要素:

技术问题

本发明的一个目的在于提供一种包括能够防止所述基板在基板浮起移送期间发生弯曲的基板把持部件的基板移送装置。

本发明的另一目的在于提供一种能够防止所述基板在利用所述基板移送装置移送所述基板期间发生弯曲的基板移送方法。

技术方案

为达成上述目的,根据本发明实施例的基板移送装置可包括:基板浮起工作台,其向基板的底面上喷射气体浮起所述基板;导轨,其配置在所述基板浮起工作台的两侧部;基板把持部件,其把持所述基板的第一侧部及第二侧部且沿所述导轨移动,并且所述基板把持部件具有将所述基板的第一侧部及第二侧部分为两个以上部分把持的多个基板把持部分;真空提供部件,其向所述基板把持部件提供真空;以及,控制部,其使所述基板把持部件的基板把持部分以预定的时间间隔把持所述基板的第一侧部及第二侧部的部分。

根据实施例,所述基板把持部件能够以真空吸附所述基板的底面的方式把持所述基板。

根据实施例,所述基板把持部件的基板把持部分可以彼此相对,相同个数的基板把持部分可以分别配置在相邻所述基板的第一侧部及第二侧部的位置。

根据实施例,所述基板把持部件的基板把持部分沿所述基板的移送方向依次把持所述基板的第一侧部的部分,所述基板把持部件的基板把持部分沿所述基板的移送方向依次把持所述基板的第二侧部的部分。

为达成本发明的另一目的,根据利用包括通过喷射气体浮起基板的基板浮起工作台、配置于所述基板浮起工作台的两侧部的导轨及把持所述基板的第一侧部及第二侧部且沿所述导轨移动的基板把持部件的基板移送装置的移送方法,所述基板把持部件具有能够将所述基板的第一侧部及第二侧部分别分为两个以上部分把持的多个基板把持部分,所述多个基板把持部分可以以预定的时间间隔把持所述基板的第一侧部及第二侧部的部分。

根据实施例,根据以预定时间间隔把持所述基板的第一侧部及第二侧部的部分的过程,向所述基板的移送方向依次把持所述基板的第一侧部的部分后,向所述基板的移送方向依次把持所述基板的第二侧部的部分的步骤。

技术效果

根据本发明的实施例,基板把持部件可具有能够将基板的第一侧部及第二侧部分为两个以上部分把持的多个基板把持部分,所述基板把持部分能够 以预定时间间隔把持所述基板的第一侧部及第二侧部的部分。因此能够防止所述基板在所述基板浮起移送期间发生弯曲。利用实施例所示的装置及方法制造显示装置的情况下,能够提高制造所述显示装置的工序的稳定性,并且能够提高所述显示装置的可靠性。

附图说明

图1为简要显示根据本发明实施例的基板移送装置的平面图。

具体实施方式

以下说明根据本发明实施例的基板移送装置及基板移送方法。本发明可进行多种变形,可具有多种形态,以下对实施例进行具体说明。但其目的并非使本发明限定于特定的公开形态,因此应理解为包括属于本发明的思想及技术范围的所有变更、等同物及替代物。在说明各附图方面,对类似的构成要素添加类似的附图标记。第一、第二等术语可用于说明多种构成要素,但上述构成要素不受所述术语限制。使用所述术语的目的在于区分一个构成要素与其他构成要素。本申请中使用的术语只是用于说明特定实施例,目的并非对本发明进行限定。若记载内容中无另行定义,则单数的表现形式应理解为还包括复数的表现形式。本申请中的术语“包括”或“具有”等术语用于说明存在说明书中记载的特征、数字、步骤、工作、构成要素、构件或其组合,而并非预先排除一个或一个以上的其他特征、数字、步骤、动作、构成要素、构件或其组合的存在或附加可能性。

若无另行定义,本说明书中使用的包括技术术语或科学术语在内的所有术语均表示与本发明所属技术领域的普通技术人员的一般理解相同的含义。通常使用的词典定义过的术语应解释为与相关技术的文章脉络相一致的含义,本申请中无明确定义的前提下不得解释为理想或过度形式性的含义。

图1为简要显示根据本发明实施例的基板移送装置的构成图。

参照图1,根据实施例的基板移送装置100可用于移送用于平板显示装置的面积相对大的基板11。所述基板移送装置100可以向执行制造所述平板显示装置的工序中的预定工序的腔体(未示出)内及从所述腔体浮起所述基板11进行移送。例如,在执行向所述基板11上涂布光致抗蚀剂溶液的涂布 工序的情况下,所述基板移送装置100可以浮起移送所述基板11。

根据实施例,所述基板移送装置100可包括基板浮起工作台13、导轨15、基板把持部件17、真空提供部件19、控制部21等。

所述基板浮起工作台13可通过喷射气体浮起所述基板11。所述基板浮起工作台13可连接于气体供应部件(未示出)。所述基板浮起工作台13可包括向所述基板11上喷射所述气体的多个喷射孔14。根据实施例,所述基板11可装载于所述基板浮起工作台13上,所述基板浮起工作台13可通过所述喷射孔14向所述基板11的底面上喷射所述气体。因此,所述基板11能够从所述基板浮起工作台13浮起。例如,所述气体可包括氮气、氩气等惰性气体。

根据实施例,所述基板移送装置100用于执行所述涂布工序的涂布装置的情况下,所述基板浮起工作台13可包括三个区域。例如,所述基板浮起工作台13可包括装载所述基板11的装载区域、向所述基板11上涂布光致抗蚀剂溶液的涂布区域、卸载所述基板11的卸载区域。这种情况下,所述基板浮起工作台13的所述装载区域及所述卸载区域可具有用于向所述基板11的底面上喷射所述气体的所述喷射孔14。并且,为了精确控制所述基板11的移送,所述基板浮起工作台13的所述涂布区域可具有能够吸入从所述喷射孔14喷射到所述基板11的底面上的所述气体的结构。例如,所述基板浮起工作台13的所述涂布区域可具有能够吸入从所述喷射孔14喷射的所述气体的多个吸入孔。因此,通过所述装载区域及所述卸载区域的喷射孔14向所述基板11的底面上喷射所述气体的同时通过所述涂布区域的所述吸入孔吸入所述气体,能够精确控制所述基板11在所述基板浮起工作台13上部的移送。

所述导轨15可分别配置在所述基板浮起工作台13的两侧部。所述导轨15实际上可以彼此相对。根据实施例,所述基板11通过所述基板浮起工作台13浮起后,所述基板11可以沿所述导轨11引导到执行预定工序(例如,所述涂布工序)的所述腔体内。

所述基板把持部件17可以沿所述导轨15移动。例如,所述基板把持部件17可把持所述基板11的两侧部。所述基板移送装置100中,所述基板浮起工作台13浮起所述基板11后,所述基板把持部件17在把持所述基板11的状态下沿所述导轨15移动,从而能够将所述基板11移送到目标位置,例 如移送到所述腔体。

根据实施例,所述基板把持部件17可以具有能够分别将所述基板11的两侧部分为两个以上部分把持的结构。例如,所述基板把持部件17可以将所述基板11的第一侧部分为两个以上部分把持,并且可以将所述基板11的第二侧部分为两个以上部分把持。此处,所述基板11的第一侧部实际上可以与所述基板11的第二侧部相对。

根据实施例,所述基板把持部件17可包括将所述基板11的第一侧部及第二侧部分为多个部分把持的多个基板把持部分。例如,相邻所述基板11的第一侧部的所述基板把持部分的个数和相邻所述基板11的第二侧部的所述基板把持部分的个数实际上可以相同。但可以根据所述基板11的形状、尺寸、构成物质等增加或减少与所述基板11的第一侧部及/或第二侧部相邻的所述基板把持部件17的基板把持部分的个数。并且,相邻所述基板11的第一侧部的所述基板把持部分的个数与相邻所述基板11的第二侧部的所述基板把持部分的个数可以互异。

根据实施例,所述基板移送装置100的所述基板把持部件17如图1所示,可包括相邻所述基板11的第一侧部的四个基板把持部分17a、17b、17c、17d及相邻所述基板11的第二侧部的四个基板把持部分17e、17f、17g、17h。因此,可以通过所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、17d将所述基板11的第一侧部分为四个部分把持,可以通过所述基板把持部件17的基板把持部分17e、17f、17g、17h将所述基板11的第二侧部分为四个部分把持。这种情况下,相邻所述基板11的第一侧部的所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、17d可分别与相邻所述基板11的第二侧部的所述基板把持部件17的基板把持部分17e、17f、17g、17h相对。所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h之间的间隔实际上可以相同。但也可以根据所述基板11的形状、尺寸、构成物质等变更所述基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h之间的间隔。并且,所述基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h可根据显示装置的工序需要具有多种形状。

再次参照图1,所述真空提供部件19在所述基板把持部件17把持所述基板11时可分别向所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、1 7d、17e、17f、17g、17h提供真空,以使所述基板把持部件17能够通过真空吸附把持所述基板11。例如,所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h分别从所述真空提供部件19得到真空后,各所述基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h与所述基板11的底面之间形成真空,所述基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h能够稳定地把持所述基板11。

根据实施例的基板移送装置100,能够从所述真空提供部件19向所述基板把持部件17与所述基板11的底面之间提供所述真空,所述基板11通过真空吸附被所述基板把持部件17吸附,所述多个基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h能够分别把持所述基板11的第一侧部及第二侧部的多个部分。

根据实施例,为了能够分别向所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h提供真空,多个真空提供部件19可分别连接在所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h。如图1所示,相邻所述基板11的第一侧部的位置配置四个所述基板把持部分17a、17b、17c、17d,相邻所述基板11的第二侧部的位置配置四个所述基板把持部分17e、17f、17g、17h的情况下,相邻所述基板11的第一侧部的四个所述基板把持部分17a、17b、17c、17d可分别连接四个真空提供部件19。并且,相邻所述基板11的第二侧部的四个所述基板把持部分17e、17f、17g、17h可分别连接四个真空提供部件19。

所述控制部21可以控制所述真空提供部件19使得所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h能够分别以预定的时间间隔把持所述基板11的第一侧部及第二侧部。例如,所述控制部21可以控制所述真空提供部件19使得所述多个基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h把持所述基板11的第一侧部及第二侧部的部分时,能够以预定的时间间隔依次把持。

根据实施例,所述控制部21可以控制所述基板把持部件17对所述基板11的把持使得所述基板把持部分17a、17b、17e、17d能够沿所述基板11的移送方向依次把持所述基板11的第一侧部的部分,使得所述基板把持部分17e、17f、17g、17h能够沿所述基板的移送方向依次把持所述基板11的第二 侧部的部分。例如如图1所示,所述控制部21可以控制使得按照附图标记17a所示基板把持部分、附图标记17b所示基板把持部分、附图标记17c所示基板把持部分、附图标记17d所示基板把持部分、附图标记17e所示基板把持部分、附图标记17f所示基板把持部分、附图标记17g所示基板把持部分及附图标记17h所示基板把持部分的顺序依次把持所述基板11的第一侧部及第二侧部的部分。

虽然图1按照附图标记17a所示基板把持部分、附图标记17b所示基板把持部分、附图标记17c所示基板把持部分、附图标记17d所示基板把持部分、附图标记17e所示基板把持部分、附图标记17f所示基板把持部分、附图标记17g所示基板把持部分及附图标记17h所示基板把持部分的顺序把持所述基板11的第一侧部及第二侧部的部分,但所述基板把持部件17的基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h把持所述基板11的第一侧部及第二侧部的部分的顺序不受此限制。基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h把持所述基板11的第一侧部及第二侧部的部分的顺序可根据需要变更。

如上所述,根据实施例的基板移送装置100,可以具有能够使所述基板把持部件17将所述基板11的第一侧部及第二侧部分为两个以上部分把持的多个基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h,所述基板把持部分17a、17b、17c、17d、17e、17f、17g、17h能够以预定的时间间隔把持所述基板11的第一侧部及第二侧部的部分。因此,能够防止所述基板把持部件17为了浮起移送所述基板11而把持所述基板11时所述基板11发生弯曲。

根据利用上述基板移送装置100移送所述基板11的方法,所述基板浮起工作台13能够浮起所述基板11,所述基板把持部件17具有能够将所述基板11的第一侧部及第二侧部分为两个以上部分依次把持的结构,因此能够在防止所述基板11弯曲的同时浮起所述基板11移送到预定的位置。例如,可以在所述基板把持部分17a、17b、17c、17d沿所述基板11的移送方向依次把持所述基板11的第一侧部的部分后,所述基板把持部分17e、17f、17g、17h沿所述基板11的移送方向依次把持所述基板11的第二侧部的部分。因此,能够有效防止所述板把持部件17把持所述基板11时所述基板11发生弯曲。

根据本发明的实施例,能够在防止基板发生弯曲的同时浮起所述基板移送到目标位置。例如,将上述基板移送装置及基板移送方法适用到向所述基板上涂布光致抗蚀剂溶液的涂布工序的情况下,所述基板把持部件把持所述基板时防止所述基板发生弯曲,从而能够防止所述基板的上部与供应所述光致抗蚀剂溶液的喷嘴发生碰撞,能够提高涂布到所述基板上的所述光致抗蚀剂溶液的厚度均匀度。因此,根据实施例的基板移送装置及基板移送方法能够提高平板显示装置等显示装置的制造工序稳定性,提高所述显示装置的可靠性。

以上对本发明的实施例进行了说明,但本领域普通技术人员应理解可以在不脱离本发明的范围及思想的范围内对本发明进行多种修改及变更。

当前第1页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1