一种陶瓷基板真空搬运装置的制作方法

本实用新型涉及陶瓷基板生产设备技术领域，具体涉及一种陶瓷基板真空搬运装置。

背景技术：
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随着科技进步，目前电子产品以小型化及轻薄化为导向。以无线通讯产业中的手机为例，短短几年内，手机的体积由最早的黑金刚缩小至不及一手掌大小。同时，手机的功能由最简单的语音传送，发展到能够传输数据、图文。由此可见，轻、薄、短、小是电子产品目前设计的重点及趋势，而低温共烧陶瓷技术可以完成此需求的技术。

低温共烧陶瓷技术具有有源元件、模块及无源元件的整合能力。其堆叠多个低温共烧陶瓷基板，并且嵌埋无源元件或集成电路(IC) 于这些低温共烧陶瓷基板中。此外，低温共烧陶瓷基板可与低阻抗、低介电损失的金属共烧，以及不受层数限制、能将电感电容等无源元件埋入等优点，因此非常适合应用于整合元件。另外，低温共烧陶瓷技术可以缩小电子产品的体积及降低成本，并实现将电子产品轻、薄、短、小化的目标。

然而，低温共烧陶瓷基板具有高硬度及易脆等特性，使得加工、搬运、包装过程易出现损毁，以致于工艺良率降低。因此，如何实现陶瓷基板的安全高效搬运、堆垛实属当前重要课题之一。

技术实现要素：
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本实用新型的目的就是针对现有技术的不足，提供一种陶瓷基板真空搬运装置。

本实用新型的技术解决措施如下：

陶瓷基板真空搬运装置包括机架，机架上设置有滑动轨道，滑行小车在滑动轨道内往复滑行，滑行小车上设置有伸缩臂，伸缩臂包括位于上部的固定臂以及与固定臂伸缩套接的活动臂，活动臂的伸缩通过升降驱动实现；滑行小车上还设置有控制器，控制器对滑行小车的行走速度、行走方向以及启动停止动作进行控制；活动臂下部连接有摆动臂，摆动臂末端与吸盘组件固定连接；吸盘组件包括固定板，固定板上端通过连接件与摆动臂连接，固定板的两端部分别设置有一组吸盘部，两个吸盘部结构相同，均包括升降气缸，升降气缸上端设置有升降位置感应器，升降气缸下端通过旋转轴连接有安装架，安装架的两侧各设置有一组伸缩吸盘机构，伸缩吸盘机构包括微调气缸，微调气缸通过气缸座固定在安装架上，微调气缸下端设置有真空泵，真空泵与真空吸盘连接。

机架包括立柱以及设置在立柱上端的横梁，滑动轨道设置在横梁上。

连接件上设置有多个位置感应器，机架下方设置有升降承载机构，升降承载机构上部设置有被驱动电机驱动的滚筒线；升降承载机构两侧还设置有加工操作台，加工操作台能够完成蚀刻、切割以及点胶工艺。

真空吸盘包括主体部、连接部以及吸盘部,主体部与连接部通过紧固螺钉固定连接，吸盘部紧密套设在连接部上，主体部外部还连接有真空管路；主体部为中空结构，其内部设置有固定件，固定件下部具有托举件，固定件包括球头和设置在球头上部的管状部，球头和管状部均设置有通路，管状部穿出主体部与真空管路通过卡箍密闭连接，球头内部的通路向外延伸并与穿过连接部的真空吸管连接，真空吸管的末端位于吸盘部内。

吸盘部的内表面为波浪状，吸盘部的外部为喇叭状，其由橡胶制成；吸盘部的边缘还设置有除静电网。

紧固螺钉的数量为多个，其呈圆周均匀分布。

托举件包括半圆形托举座和位于托举座下部的支撑板，支撑板与连接部相抵设置。

本实用新型的有益效果在于：该装置通过真空吸盘对陶瓷基板进行搬运，能够有效避免陶瓷基板的损坏、破碎，提高了安全性。

附图说明：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为吸盘组件的结构示意图；

图3为真空吸盘的结构示意图。

具体实施方式：

为了使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做出详细的说明。

如图1-3所示，陶瓷基板真空搬运装置包括机架，机架上设置有滑动轨道，滑行小车13在滑动轨道内往复滑行，滑行小车13上设置有伸缩臂，伸缩臂包括位于上部的固定臂14以及与固定臂14伸缩套接的活动臂17，活动臂17的伸缩通过升降驱动15实现；滑行小车 13上还设置有控制器16，控制器16对滑行小车13的行走速度、行走方向以及启动停止动作进行控制；活动臂17下部连接有摆动臂20，摆动臂末端与吸盘组件2固定连接；吸盘组件2包括固定板202，固定板202上端通过连接件201与摆动臂20连接，固定板202的两端部分别设置有一组吸盘部，两个吸盘部结构相同，均包括升降气缸 21，升降气缸21上端设置有升降位置感应器211，升降气缸21下端通过旋转轴222连接有安装架232，安装架232的两侧各设置有一组伸缩吸盘机构，伸缩吸盘机构包括微调气缸24，微调气缸通过气缸座241固定在安装架232上，微调气缸24下端设置有真空泵242，真空泵242与真空吸盘4连接。

机架包括立柱12以及设置在立柱12上端的横梁11，滑动轨道设置在横梁11上。

连接件201上设置有多个位置感应器203，机架下方设置有升降承载机构31，升降承载机构31上部设置有被驱动电机30驱动的滚筒线33。

升降承载机构31两侧还设置有加工操作台111，加工操作台111 能够完成蚀刻、切割以及点胶工艺。

如图3所示，真空吸盘4包括主体部43、连接部46以及吸盘部 47,主体部43与连接部46通过紧固螺钉49固定连接，吸盘部47紧密套设在连接部46上，主体部43外部还连接有真空管路41；主体部43为中空结构，其内部设置有固定件44，固定件44下部具有托举件45，固定件44包括球头和设置在球头上部的管状部，球头和管状部均设置有通路，管状部穿出主体部43与真空管路41通过卡箍 42密闭连接，球头内部的通路向外延伸并与穿过连接部46的真空吸管40连接，真空吸管40的末端位于吸盘部47内。

吸盘部47的内表面为波浪状，吸盘部47的外部为喇叭状，其由橡胶制成；吸盘部47的边缘还设置有除静电网48。

紧固螺钉49的数量为多个，其呈圆周均匀分布。

托举件45包括半圆形托举座和位于托举座下部的支撑板，支撑板与连接部46相抵设置。

所述实施例用以例示性说明本实用新型，而非用于限制本实用新型。任何本领域技术人员均可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对所述实施例进行修改，因此本实用新型的权利保护范围，应如本实用新型的权利要求所列。