技术编号：4298893
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种充气设备，特别是有关于一种用以将气体导入至少 一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中的充气设备。背景技术近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术扮演重要的角色，只 要是关于图形定义，皆需仰赖光学微影技术。光学微影技术在半导体的 应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩。利用曝 光原理，则光源通过光罩投影至硅晶片可曝光显示特定图案。由于任何 附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质 量劣化，用于产生图形...
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