专利名称：充气设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种充气设备，特别是有关于一种用以将气体导入至少 一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中的充气设备。
背景技术：
近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术扮演重要的角色，只 要是关于图形定义，皆需仰赖光学微影技术。光学微影技术在半导体的 应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩。利用曝 光原理，则光源通过光罩投影至硅晶片可曝光显示特定图案。由于任何 附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质 量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，而被投射的硅晶片或 者其它半导体投射体亦必须保持绝对清静，因此在一般的晶片制作工艺 中，都提供无尘室的环境以避免空气中的颗粒污染。然而，目前的无尘 室也无法达到绝对无尘的状态。
因此，现代的半导体制作工艺皆利用抗污染的存放装置进行光罩与 半导体组件的保存与运输，以使光罩与半导体组件保持洁净。存放装置 是在半导体制作工艺中用于存放光罩或半导体组件，以利光罩与半导体 组件在机台之间的搬运与传送，并隔绝光罩与半导体组件与大气的接触， 避免光罩或半导体组件被杂质污染而产生变化。因此，在先进的半导体
厂中，通常会要求该等存放装置的洁净度要符合机械标准接口(Standard Mechanical Interface; SMIF)，也就是说保持洁净度在Class 1以下。所以，
在该等存放装置中充入气体便是目前解决的手段之一。因此，以往的技 术乃将该等存放装置外接一个充气设备，使气体通过充气设备导入该等 存放装置。
以往的充气设备，不论是使用何种充气方式或手段，均会在入气端 口装置，也就是将气体充填进入存放装置的部分，增设气密装置，多半是一种「软塑料零件」(o-ring seal),如美国专利公告第5879458号专利、 美国专利公告第6042651号专利、美国专利公告第6221163号专利、美 国专利公告第6368411号专利所示，其目的在于防止充气时气体的流失， 造成成本的增加。该等气密装置为了达到使入气端口装置与存放装置密 合的效果，使用软塑料零件是最好的选择，因其具有弹性，可轻易调整， 因此不会因入气端口装置与存放装置入气端口的接触点不同而造成气体 流失；然而气密装置若是一种额外增加的零件，势必得再增加其它零件 用以固定之，亦或是需要增设一个位置以致放此种额外增加的零件，又 若采用软塑料材质作为气密装置，则因其材质本身易消耗的特性，不但 易增加备品、替换的成本且会产生碎屑微粒导致污染；又虽然其具有弹 性可轻易调整，然而若存放装置的入气部份与入气端口装置没有完整的 面接触，依然会造成气体流失之虞，仍然会增加成本。另外，此等软塑 料材质容易有挥发物质从内部不断逸出，也是另一个产生污染的重要因 素。
发明内容
本发明的目的是公开一种充气设备，为解决现有技术的问题，其所 提供的具有弧面承接部入气端口装置，是针对先前技术的不足加以改良。
为达到上述目的，本发明的技术解决方案是提供一种具有弧面承接 部的入气端口装置的充气设备，此充气设备，与一供气装置连接，用以 将气体导入至少一个具有入气部分用以存放半导体组件或光罩的存放装 置中，包含有至少一个承座，用以承载存放装置；至少一个入气端口装 置，设于承座上，该入气端口装置包含有承接部，其顶部与该存放装置 的入气部分成弧面与弧面的线接触；包含有通孔贯穿该该入气端口装置， 供气体通过；以及包含有接合部，与该供气部分连接。
本发明的优点在于
所述的充气设备，不需要再增设气密装置，即可达到防止气体流失 的效果。
所述的充气设备，不需增设其它固定气密装置的零件，以达到节省 成本的效果。所述的充气设备，不需增设软塑料零件作为气密装置，不需负担备 品、替换零件的成本。
所述的充气设备，不用软塑料零件作为气密装置，可减少碎屑以及 挥发物质对存放装置的污染。
所述的充气设备，其与存放装置的入气部分是成弧面(与弧面)的线接 触，可达到完整的面接触，防止气体流失。
图l，是本发明充气设备的示意图2，是本发明中入气端口装置的示意图3，是本发明中入气端口装置顶部与存放装置入气部分的关是图； 图4A与图4B，是本发明中入气端口装置与承座的关是图； 图5，是本发明中入气端口装置与输气管及连接装置的示意图； 图6，是本发明中开关装置于充气设备的位置关是与示意图； 图7，是本发明中第二感应装置于充气设备的位置关是与示意图； 图8，是本发明中流量调节器示意图； 图9，是本发明中充气设备所连接的供气装置的示意图； 图10，是本发明中稳压装置、第一感应装置于充气设备的位置关是 与示意图ll，是本发明中导正装置于充气设备的位置关是与示意图。 主要组件符号说明 充气设备1 承座11 导正装置111 入气端口装置12 承接部121 顶部1211 通孔122 接合部123 输气管124连接装置125 固定装置128 弹性装置129 开关装置13 流量调节器131 第二感应装置14 稳压装置18 第一感应装置19 供气装置2 供气源21 . 供气线路22 进气部分221 供气部分222 存放装置3 入气部分3具体实施例方式
由于本发明是揭露一种具有弧面承接部的入气端口装置的充气设 备，其中所利用到的一些关于光罩、半导体组件、存放装置或充气装置 的详细制造或处理过程，是利用现有技术来达成，故在下述说明中，并 不作完整描述。而且下述文中的附图，亦并未依据实际的相关尺寸完整 绘制，其作用仅在表达与本发明特征有关的示意图。
请先参阅图1，是本发明充气设备的示意图。充气设备1的目的是用 以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置3中，存 放装置具有至少一个入气部分31。充气设备1是与供气装置2连接，由 供气装置2提供气体至充气设备1后，再由充气设备1将气体导入存放装 置3中。充气设备1是由承座11与入气端口装置12组合而成。承座11 目的在承载存放装置3;入气端口装置12，是用以将供气装置2提供的 气体输送至存放装置3入气部分31 ，使气体进入存放装置3 。
接着，请参阅图2，入气端口装置12是设于承座11上且位于与存放装置3入气部分31对应的位置，入气端口装置12包含有承接部121、通 孔122与接合部123，其中，承接部121用以与存放装置3的入气部分31 相接，通孔122是用以供气体通过，接合部123与该供气装置2连接。
接着请参阅图3，入气端口装置12的承接部121顶部1211与存放装 置3的入气部分31成弧面与弧面的线接触，也因此，不论如何调整存放 装置3的入气部分31，只要与承接部121的顶部1211保持接触，均能够 呈现弧面与弧面的线接触，而不需要再增设其它气密装置，均能直接达 到气密的效果。
接着，为进而保持入气端口装置12的固定性，可使用固定装置128 将入气端口装置12固定于承座11上，如图4A所示。而为了使入气端口 装置12的承接部121可相对于该承座11上下调整具有可调整性，使入 气端口装置12不随着存放装置3的调整而改变气密效果，可再增设弹性 装置129于固定装置128上，该弹性装置129可以是弹簧，如图4B所示， 或是其它可保持弹性的组件。
请继续参阅图5，充气设备1可再增设输气管124，使之连接于入气 端口装置12的接合部123与供气装置2之间，使气体得以顺着输气管124 通过入气端口装置12的通孔122进入存放装置3。进而，充气设备1可 再增设连接装置125，连接输气管124与入气端口装置12的接合部123， 连接的方式有许多种，本说明书并无限制，只要可以达到使输气管124 与接合部123相互连接，甚至紧密的状态的装置，均属于连接装置125 的一种，但在最佳实施态样下，可于接合部123与连接装置125互相接 合处设置螺纹，以螺旋的方式接合。
接着本发明充气设备1可再设置一个开关装置13，用以开启或关闭 气体进入存放装置3，如图6所示。此种开关装置13可以是电磁阀。当 存放装置3放置于充气设备1的承座11上，且其入气部分31与入气端口 装置12正确对位时，该开关装置13即开启，则于供气装置2的气体即通 过入气端口装置12进入存放装置3中。
如欲使该充气设备1更加自动化，则可再于该充气设备1中增设第 二感应装置14，如图7所示。第二感应装置14可设在承座11上，设置 目的在于感应存放装置3的入气部分31与充气设备1的入气端口装置12是否正确对位，当入气部分31与入气端口装置12的放置位置正确时，
第二感应装置14可以传送讯号至开关装置13，并使该开关装置13开启， 此时，于供气装置2的气体即可通过入气端口装置12进入存放装置3中。
又，为了防止进入存放装置3的气体在开关装置13开启的瞬间爆冲， 可再增设一个防止爆冲的流量调节器131，如图8所示，用以在开关装置 13开启时，调节导入存放装置3的气体的流量。
再者，如图9所示，此种充气设备1所连接的供气装置2是包含供气 源21以及供气线路22，供气线路22由进气部分221与供气部分222组 成，进气部分221用以与该供气源21连接；供气部分222，用以将气体 导入存放装置3中。
接着，如图10所示，本发明可再设置一个稳压装置18，设置于供气 线路22上，用以调节该供气线路22内气体的压力与流量，充气设备的 供气线路22平时保持一定的流量，但是随着导入存放装置3的气体流量 的增加或减少，将会影响供气线路22整体气压与气体流量，该稳压装置 18可以随气体的增减调整在供气线路22内的气体流量，保持整个供气线 路22气压的稳定，进而保持导入存放装置3的气体具有稳定的气压。同 时，可再增设第一感应装置19，设于供气线路的进气部分221中，用以 感测供气线路22内气体的压力与流量。第一感应装置19与稳压装置18 连接，将第一感应装置19所感测的气压与流量的结果传输至稳压装置 18，使稳压装置18得以调节在供气线路22内气体的压力与流量，借以 保持供气线路22中气体流量与压力的稳定。
此外，为了使存放装置3更易正确置于正确的充气位置，可以在承 座11上设置至少一对导正装置111，用以引导并协助存放装置3置入承 座11上，如图11所示。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并非用以限定本发明的申 请专利权利；同时以上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明 了及实施，因此其它未脱离本发明所揭示的精神下所完成的等效改变或 修饰，均应包含在权利要求的保护范围中。
权利要求
1、一种充气设备，用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，该存放装置具有至少一入气部分；该充气设备系与一供气装置连接，其中该供气装置包含一供气源以及一供气线路，该供气线路包含有一进气部分用以与该供气源连接，以及至少一供气部分，用以将气体导入至少一个存放装置中；其特征在于，该充气设备包含至少一承座，用以承载该存放装置；以及至少一入气端口装置，设于该承座上且与该存放装置入气部分对应的位置，该入气端口装置包含有一承接部，具有一顶部与该存放装置的入气部分成弧面的线接触；一通孔贯穿该入气端口装置，供气体通过；以及一接合部，用以与该供气部分连接。
2、 依据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，另包含有至少一 对导正装置，设于该承座上，用以引导该存放装置置入该承座。
3、 依据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，另包含有一输气 管，连接于该入气端口装置的接合部与该供气线路的供气部分间。
4、 依据权利要求3所述的充气设备，其特征在于，另包含有一连接 装置，用以连接于该入气端口装置的接合部与该输气管。
5、 依据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，另包含有一开关 装置，与该供气线路的供气部分连接，用以容许或阻止气体进入该存放 装置。
6、 依据权利要求5所述的充气设备，其特征在于，所述开关装置为一电磁阀。
7、 根据权利要求5所述的充气设备，其特征在于，当该存放装置的 入气部分与该充气设备的入气端口装置正确对位，该开关装置即开启， 气体即进入该存放装置中。
8、 根据权利要求5所述的充气设备，其特征在于，另包含一第二感 应装置，设于该承座上，用以感应该存放装置的入气部分与该充气设备 的入气端口装置是否正确对位。
9、 根据权利要求8所述的充气设备，其特征在于，当该存放装置的 入气部分与该充气设备的入气端口装置正确对位时，该第二感应装置即 传送一讯号至该开关装置，使该开关装置开启，气体即进入该存放装置 中。
10、 根据权利要求5所述的充气设备，其特征在于，所述开关装置 另包含一流量调节器，用以调节导入该存放装置的气体的流量。
11、 根据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，另包含至少一 固定装置，用以将该入气端口装置固定于该承座上。
12、 根据权利要求11所述的充气设备，其特征在于，所述固定装置 另包含一弹性装置，用以使该入气端口装置的承接部可相对于该承座为 可调整性。
13、 根据权利要求1所述的充气设备，其特征在于，另包含一稳压 装置，设于该供气线路的进气部分，用以调节该供气线路内气体的压力 与流量。
14、 根据权利要求13所述的充气设备，其特征在于，另包含一第一 感应装置，设于该供气线路的进气部分，用以感测该供气线路内气体的 压力与流量。
15、 根据权利要求14所述的充气设备，其特征在于，所述第一感应 装置将感测结果传输至该稳压装置，使该稳压装置得以调节该供气线路 内气体的压力与流量。
16、 一种充气设备，用以将气体导入至少一个用以存放半导体组件 或光罩的存放装置中，该存放装置具有至少一入气部分；该充气设备是 与一供气装置连接；其特征在于，该充气设备包含至少一承座，用以承载该存放装置；以及至少一入气端口装置，设于该承座上且与该存放装置入气部分对应 的位置，该入气端口装置包含有一承接部，具有一顶部与该存放装置的入气部分成弧面的线接触； 一通孔贯穿该该入气端口装置，供气体通过；以及 一接合部，与该供气装置连接。
17、 依据权利要求16所述的充气设备，其特征在于，另包含有至少一对导正装置，设于该承座上，用以引导该存放装置置入该承座。
18、 依据权利要求16所述的充气设备，其特征在于，另包含有一输 气管，连接于该入气端口装置的接合部与该供气装置。
19、 依据权利要求18所述的充气设备，其特征在于，另包含有一连 接装置，连接于该入气端口装置的接合部与该输气管间。
20、 依据权利要求16所述的充气设备，其特征在于，另包含有一开 关装置，用以开启或关闭气体进入该存放装置。
21、 依据权利要求20所述的充气设备，其特征在于，所述开关装置 为一电磁阀。
22、 根据权利要求20所述的充气设备，其特征在于，当该存放装置 的入气部分与该充气设备的入气端口装置正确对位，该开关装置即开启， 气体即进入该存放装置中。
23、根据权利要求20所述的充气设备，其特征在于，另包含一第二 感应装置，设于该承座上，用以感应该存放装置的入气部分与该充气设 备的入气端口装置是否正确对位。
24、 根据权利要求23所述的充气设备，其特征在于，当该存放装置 的入气部分与该充气设备的入气端口装置正确对位时，该第二感应装置 即传送讯号至该开关装置，使该开关装置开启，气体即进入该存放装置 中。
25、 根据权利要求20所述的充气设备，其特征在于，所述开关装置 另包含一流量调节器，用以调节导入该存放装置的气体的流量。
26、 根据权利要求16所述的充气设备，其特征在于，另包含至少一 固定装置，用以将该入气端口装置固定于该承座上。
27、 根据权利要求26所述的充气设备，其特征在于，所述固定装置 另包含一弹性装置，用以使该入气端口装置的承接部可相对于该承座为 可调整性。
全文摘要
本发明一种充气设备，与一供气装置连接，用以将气体导入至少一个具有入气部分用以存放半导体组件或光罩的存放装置中，包含有至少一个承座，用以承载存放装置；至少一个入气端口装置，设于承座上。该入气端口装置包含有承接部，其顶部与该存放装置的入气部分成弧面与弧面的线接触；通孔，供气体通过；以及接合部，与该供气部分连接。
文档编号B65B31/04GK101587823SQ200810107918
公开日2009年11月25日 申请日期2008年5月21日 优先权日2008年5月21日
发明者王胜弘, 邱铭隆 申请人:家登精密工业股份有限公司