技术编号：4298945
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于以立式(standing-up)状态转移基片的基片转移装置。技术背景在平板显示器、半导体晶片、用于光掩模的玻璃等中使用的基片要经历 一系列处理，诸如蚀刻、剥离和冲洗，并最终,皮清洗。在制itt片过程中，用于在生产线之间转移基片的基片转移装置是必需 品。通常，基片转移装置以7jc平状态转移基片。近年来，采用大尺寸基片的需求日益增长以降^f良基片的制造成本。为有 效利用转移这样的大尺寸基片所需的空间，基片倾向于以其直立或倾斜的状 态被传送到设备。...
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