一种转动插片装置制造方法技术资料下载

技术编号:4307116

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本实用新型公开一种转动插片装置,用于将若干基片插入至工件篮中,工件篮的一侧为敞口结构,工件篮内设置有若干个自上而下分布的置物格,一个置物格对应一个基片,该装置包括基片输送单元、接插片单元、卸货单元及工件篮供给单元,基片输送单元包括具有第一端部和第二端部的输送带;接插片单元与第二端部相邻近设置,接插片单元包括设置在一根横梁的两端部的第一、第二机械手,横梁的中部支撑在一个能够绕竖直轴心线转动至少180°的转动架上,第一机械手和第二机械手的下端部均具有用于抓取工...
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