技术编号：4339109
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种输送装置，特别涉及一种输送晶片的输送装置。 背景技术公知用于输送晶片的推车，为了防止晶片在输送过程中因为路面的颠簸而碰撞损坏，会在推车的底部设置弹簧以进行减震。然而，由于推车底部的弹簧必需支撑整个推车的重量，因而此弹簧的弹性系数必需较大，以提供充足的刚性，但是相对的，弹簧的减震效果因此降低，特别是，无法对微小震动进行减震。发明内容本发明即为了欲解决公知技术的问题而提供的一种输送装置，包括一本体、至少一滚轮、至少一承载架以及至少一微减震单元。本...
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